WO2018180633A1 - ケルビン検査用治具 - Google Patents

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山本　次男
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株式会社ヨコオ
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    • G01R1/073—Multiple probes

Definitions

  • the present invention relates to a kelvin inspection jig.
  • the Kelvin method is known as a method for inspecting an electronic circuit of an electronic component to be inspected such as a semiconductor integrated circuit.
  • two probes are brought into contact with each terminal of an electronic component to be inspected, one probe is used for supplying current and the other probe is used for monitoring voltage.
  • Patent Document 1 discloses a structure in which a distal end side column portion (a distal end side main body portion) of a plunger included in a probe protrudes through a plunger through hole of a socket. Moreover, patent document 1 is disclosing the structure which formed the both sides
  • the extension portion (tip-side column body portion) of the plunger of the probe is provided in an eccentric position with respect to the base portion.
  • the extension part is a cylinder having a smaller diameter than the base part and slidably penetrates the insertion hole on the socket side.
  • a pair of probes 200 is provided in a socket 210 made of an insulating material per terminal (electrode pad) of an electronic component (IC, LSI, etc.) to be inspected.
  • the probe 200 has a cylindrical tube 201 made of conductive metal, a plunger 202 made of conductive metal fixed to the tube tip side, and a columnar portion 203 of the plunger 202 protruding from the plunger through-hole 211 of the socket 210. It has members and the like (not shown).
  • the distal end side column body portion 203 of the plunger 202 has a cylindrical shape with a smaller diameter than the base portion 204.
  • the columnar tip side column body portion 203 of the plunger 202 comes into contact with the inner peripheral surface of the plunger through hole 211 which is a round hole.
  • the tip side column body portion 203 has no corner portion, so that local wear of the socket side plunger through-hole 211 and the tip side column body portion 203 of the plunger 202 hardly occurs.
  • the embodiment has been made in view of such a situation, and its purpose is that it can be easily manufactured even when the plunger has a small diameter, and the local wear of the socket and the plunger can be prevented. It is to provide a jig for inspecting Kelvin.
  • This Kelvin inspection jig is An insulating socket; A pair of probes attached to the insulating socket; With Each of the pair of probes has a conductive tube, and a conductive plunger provided on one end side of the conductive tube, The conductive plunger has a tip side column body part, The insulative socket has a plunger through-hole through which the tip side column body portion of the conductive plunger passes, Each of the tip side column body portion of the conductive plunger of one of the pair of probes and the tip side column body portion of the other of the pair of probes is the one of the pair of probes.
  • Each of the tip side column body portion of the conductive plunger of one of the pair of probes and the tip side column body portion of the other conductive plunger of the pair of probes has a polygonal column shape having a plurality of ridge lines.
  • This Kelvin inspection jig is An insulating socket; A pair of probes attached to the insulating socket; With Each of the pair of probes has a conductive tube, and a conductive plunger provided on one end side of the conductive tube, The conductive plunger has a tip side column body part, The insulative socket has a plunger through-hole through which the tip side column body portion of the conductive plunger passes, Each of the tip side column body portion of the conductive plunger of one of the pair of probes and the tip side column body portion of the other of the pair of probes is the one of the pair of probes.
  • Each of the tip side column body portion of the conductive plunger of one of the pair of probes and the tip side column body portion of the other conductive plunger of the pair of probes has a polygonal column shape having a plurality of ridge lines.
  • the tip side column body portion is a regular polygonal column, a pair of surfaces having a ridge line portion of the regular polygonal column as a boundary all form an obtuse angle, and the plunger through hole is a round hole.
  • the curved surface portion may be an arc surface having the same curvature as the outer peripheral surface of the base portion of the conductive plunger, and may be formed by an extended surface of the outer peripheral surface.
  • One of the ridge portions of the tip side column body portion of the conductive plunger of the pair of probes or the curved surface portion, and the tip side column body of the other conductive plunger of the pair of probes is preferable that one of the ridge line portions of the portion or the curved surface portion be close to each other.
  • the distal-end-side column body portion has a plurality.
  • the process of forming the polygonal column is easy to process, it can sufficiently cope with a reduction in the diameter of the probe (for example, the probe outer diameter is 0.5 mm or less).
  • FIG. 3 is an enlarged plan view of the first embodiment.
  • 2 is a side view of a probe used in Embodiment 1.
  • FIG. 3 is an enlarged plan view showing a rotational contact simulation when a force in the rotational direction is applied to the probe in the first embodiment.
  • FIG. 4 is an enlarged plan view of a second embodiment. The side view of the probe used in Embodiment 2.
  • Embodiment 3 Comprising: The enlarged plan view in case the front end side column part of the plunger which a probe has exists in the center position of the plunger through-hole by the side of a socket.
  • FIG. 10 is an enlarged plan view showing a rotational contact simulation when a force in the rotational direction is applied to the probe in the third embodiment.
  • Embodiment 4 Comprising: The enlarged plan view in case the front end side column body part of the plunger which a probe has exists in the center position of the plunger through-hole by the side of a socket.
  • FIG. 10 is an enlarged plan view showing a rotational contact simulation when a force in the rotational direction is applied to the probe in the fourth embodiment.
  • Embodiment 5 Comprising: The enlarged plan view in case the front end side column part of the plunger which a probe has exists in the center position of the plunger through-hole by the side of a socket.
  • FIG. 10 is an enlarged plan view showing a rotational contact simulation when a force in the rotational direction is applied to the probe in the fifth embodiment.
  • the longitudinal cross-sectional view of the principal part which shows the prior art example of the jig
  • Embodiment 1 A first embodiment of a Kelvin inspection jig will be described with reference to FIGS.
  • the Kelvin inspection jig 1 has a pair of probes 10 per one terminal (electrode pad) of an electronic component (IC, LSI, etc.) to be inspected provided in a socket 90 made of an insulating material. Although only one pair of probes 10 is shown in FIG. 1, a plurality of pairs of probes 10 are actually provided in the socket 90.
  • the 3 to 5 includes a cylindrical tube 11, a plunger 20, an abutting member 30, and a coil spring 31.
  • the cylindrical tube 11 is made of a conductive metal.
  • the plunger 20 is made of a conductive metal.
  • the plunger 20 is fixed to the distal end side (upper end side) of the tube.
  • the contact member 30 is made of a conductive metal.
  • the contact member 30 is provided on the rear end side (lower end side) of the tube, is slidable in the axial direction of the tube 11, can be protruded and retracted from the tube 11, and is held so as not to come out of the tube 11.
  • the coil spring 31 is provided inside the tube 11 as shown in FIG. 4, and elastically contacts the end surfaces of the plunger 20 and the abutting member 30 on the inner side of the tube to urge the abutting member 30 in a direction protruding from the tube 11. .
  • the plunger 20 integrally includes an inner insertion portion 27, a flange portion 28, and a tip side column body portion 22 (the plunger 20 is integrally formed of a conductive metal. )
  • the inner insertion portion 27 has a substantially cylindrical shape that is inserted inside the distal end portion of the tube 11.
  • the inner insertion portion 27 is formed in a substantially cylindrical shape that is slightly smaller than the inner diameter of the tube 11.
  • a constricted portion 27 a having a small diameter is formed at an intermediate position of the inner insertion portion 27.
  • the flange portion 28 is a disc-shaped base portion that is concentric with the inner insertion portion 27 and is formed on the distal end side of the inner insertion portion 27.
  • the outer peripheral surface of the flange portion 28 coincides with the outer peripheral surface of the distal end portion of the tube 11.
  • the flange portion 28 is a disc having the same diameter as the cylindrical shape of the outer periphery of the tube 11 and is arranged concentrically with the tube 11.
  • the front-end-side column body portion 22 erected on the flange portion 28 is a polygonal columnar body whose outer shape is smaller than the outer diameter of the flange portion 28, and is formed eccentrically from the axial center of the tube 11. Yes. That is, when the pair of probes 10 is disposed in the socket 90, the distal side column bodies 22 of the pair of probes 10 are located between the distal side column bodies with respect to the axial center of the tube 11 as shown in FIG. It is formed at an eccentric position in the direction in which the mutual interval is narrowed.
  • the front end side column body portion 22 of the plunger 20 has a polygonal column shape formed on the front end side of the flange portion 28 at a position eccentric from the center of the flange portion 28.
  • the distal end side column body portion 22 is a polygonal columnar body, and in the illustrated case, the distal end portion of a regular dodecagonal column is formed by two inclined surfaces 23 to form a mountain shape.
  • the ridge line 24 formed by the two inclined surfaces 23 is inclined so as to become higher in the eccentric direction, and the highest point thereof is the apex P of the tip side columnar portion 22 (contact with the terminal of the electronic component to be inspected). Point).
  • the front-end-side column body portion 22 is a polygonal columnar column body, it has a plurality of ridge line portions Q sandwiched between two adjacent surfaces in the longitudinal direction (axial direction of the tube 11) (number of polygonal columnar corners).
  • the apex P of the front end side column body portion 22 is the highest point of the mountain-shaped ridge line 24 and is located at the end of the longest ridge line portion Q, and a pair of front end side columns as shown in FIG.
  • the vertices P of the body part 22 are the shortest distance. That is, each probe 10 is arranged in the socket 90 so that the distance between the apexes P of the paired probes 10 arranged in the socket 90 is the shortest.
  • the ridge line portion Q at the position of the vertex P is located on the outer peripheral surface of the flange portion 28 in the plane orthogonal to the axial direction of the tube 11 as shown in FIG.
  • the interval is the shortest and is most preferable.
  • the ridge line portion Q at the position of the vertex P may be located inside the vicinity of the outer peripheral surface of the flange portion 28.
  • An angle ⁇ formed by two surfaces (two adjacent surfaces sandwiching the ridge line portion Q) having the ridge line portion Q as a boundary in the polygonal columnar tip side column body portion 22 is an obtuse angle ( ⁇ > 90 °).
  • a socket 90 made of an insulating material has a structure in which a front end (upper) retainer 100 and a rear end (lower) pin block 110 are laminated and integrated.
  • the socket 90 is formed with a through hole that accommodates the probe 10 so as to penetrate the retainer 100 and the pin block 110 up and down.
  • the pin block 110 is formed with a tube arrangement hole 111 for arranging the probe 10, that is, the tube 11.
  • the probe 10 is inserted into the tube arrangement hole 111 so as to be slidable in the axial direction.
  • the pin block 110 has a small diameter portion 112 formed therein.
  • the small-diameter portion 112 protrudes the abutting member 30 outwardly at the rear end position of the tube arrangement hole 111 and is smaller than the outer diameter of the abutting member 30 so that the rear end side of the tube 11 does not come out in the rear end direction. It is large and smaller than the outer diameter of the tube 11.
  • the retainer 100 is formed with a tube arrangement hole 111 communicating with the tube arrangement hole 111 of the pin block 110 and a plunger through hole 101.
  • the plunger through-hole 101 has a slightly larger diameter than the outer shape of the distal end side column body portion 22 so as to penetrate the distal end side column body portion 22 of the plunger 20 on the distal end side. Since the tube 11 is formed shorter than the tube arrangement hole 111, a space portion 121 that defines the sliding range in the axial direction of the tube 11 is formed in the tube arrangement hole 111.
  • the bottom substrate (inspection substrate) 130 is disposed in close contact with the rear end surface of the socket 90 as shown in FIG.
  • the contact members 30 of the pair of probes 10 held by the socket 90 are in elastic contact with the electrodes 131 and 132 of the bottom substrate 130, respectively.
  • the distal end side columnar portion 22 of the plunger 20 passes through the plunger through hole 101 of the socket 90 and is biased in the protruding direction by the coil spring 31 in the tube 11.
  • FIG. 2 shows the arrangement of the plunger through-holes 101 on the retainer 100 side through which the distal end side columnar portions 22 of the paired plungers 20 penetrate.
  • the ridge line portions Q having the apexes P of the paired front end side columnar portions 22 are arranged so as to face each other.
  • the interval between the apexes P of the distal end side columnar portion 22 is the shortest distance.
  • the bottom substrate 130 when inspecting the electronic component 200 to be inspected, the bottom substrate 130 is disposed on the rear end surface of the socket 90 of the Kelvin inspection jig 1 as shown in FIG.
  • the contact member 30 of the probe 10 paired with 132 is elastically contacted (standby state).
  • the electronic component 200 to be inspected is pressed toward the inspection object placement surface 91 of the socket 90. That is, the terminal (electrode pad) 201 of the electronic component 200 to be inspected is brought into contact with the distal end side column portion 22 of the plunger 20, and the distal end side column portion 22 is pushed down by continuing the pressing, so that the contact member 30 protrudes. The amount is reduced.
  • the coil spring 31 inside the probe 10 is compressed, so that the apex P of the distal-end column body portion 22 of the paired plunger 20 is provided in the electronic component 200 to be inspected by the urging force of the compression. Elastically contact the terminal (electrode pad) 201 (inspection state).
  • the electrodes 131 and 132 of the bottom substrate 130 are electrically connected to the terminals (electrode pads) 201 of the electronic component 200 to be inspected via the probe 10.
  • the probe 10 connected thereto functions as a current supply probe.
  • the other electrode 132 is a voltage monitoring electrode
  • the probe 10 connected thereto functions as a voltage monitoring probe.
  • the tube 11 and the plunger 20 slide in the axial direction of the tube 11 in the socket 90.
  • a rotational contact simulation when a force in the counterclockwise direction is applied to the probe 10 of FIG.
  • the angle ⁇ formed by the two adjacent surfaces sandwiching the ridge line portion Q is an obtuse angle, it is possible to prevent a wear groove from being deeply formed on the inner peripheral surface of the plunger through-hole 101.
  • a plurality of ridge line portions on the opposite side across the ridge line 24 simultaneously contact the inner peripheral surface of the plunger through-hole 101.
  • the distal end side column body portion 22 of the plunger 20 included in the rod probe 10 is a polygonal columnar column. For this reason, since a plurality of adjacent ridgeline portions Q are in contact with the inner surface of the plunger through-hole 101 on the socket 90 side and are slidable, one of the corners of the tip side columnar portion 22 is formed on the inner surface of the plunger through-hole 101. It can be avoided that only one of them is in continuous contact. Thereby, local abrasion of the inner peripheral surface of the plunger through-hole 101 and the front end side column body portion 22 can be prevented.
  • the front end side column body portion 22 of the rod plunger 20 is a polygonal columnar body, and the angles ⁇ formed by two adjacent surfaces sandwiching the ridge line portion Q are all obtuse angles. For this reason, it can prevent that a wear groove is deeply formed in the inner peripheral surface of the plunger through-hole 101. As a result, it is possible to prevent local wear of the inner peripheral surface of the plunger through-hole 101 and the front end side columnar portion 22.
  • the polygonal column processing of the tip side column body portion 22 forms one surface by a planar cut on the outer periphery of the plunger, and subsequently forms two surfaces by rotating the plunger in the circumferential direction and the next planar cut.
  • an eccentric structure can be formed. For this reason, it is much easier to process the tip side column body part 22 into a polygonal column than to process the tip side column body part 22 into a cylinder.
  • the probe 10 can be sufficiently reduced in diameter (for example, the probe outer diameter is 0.5 mm or less).
  • Embodiment 2 A second embodiment of the Kelvin inspection jig will be described with reference to FIGS.
  • the Kelvin inspection jig 2 is common to the Kelvin inspection jig 1 of the first embodiment in that the tip side column body portion 22A of the plunger 20 included in the probe 10 is a polygonal columnar column body.
  • the tip surface of the tip side columnar portion 22A is a multipoint contact portion 25 in which a large number of apexes P are formed on the outer edge of the polygon. Yes.
  • Other configurations are the same as those of the first embodiment.
  • the same terminal 201A of the electronic component 200A to be inspected has a hemispherical shape such as a solder bump as shown in FIG. That is, since the distal end side columnar portion 22A of the plunger 20 has the multipoint contact portion 25 on the distal end surface, it can reliably contact the terminal 201A that is not a flat surface such as a bump at the time of measurement to ensure electrical conduction. .
  • Other functions and effects are the same as those of the first embodiment.
  • FIG. 12 is an enlarged plan view of the third embodiment in which the distal end side column portion 22B of the plunger 20 of the probe 10 is at the center position of the plunger through hole 101 on the socket side, and FIG. It is an enlarged plan view which shows the rotation contact simulation when the force of a rotation direction is added to.
  • the tip side column body portion 22 of the Kelvin inspection jig 1 of the first embodiment has a regular dodecagonal column shape, whereas in the case of the embodiment 3, the tip side column body portion 22B has a regular 15 prismatic shape. There are some differences. Other configurations are the same as those of the first embodiment.
  • FIG. 14 is an enlarged plan view of the fourth embodiment, in which the distal end side column portion 22C of the plunger 20 of the probe 10 is at the center position of the plunger through hole 101 on the socket side, and FIG. It is an enlarged plan view which shows the rotation contact simulation when the force of a rotation direction is added to.
  • the tip side column body portion 22 of the Kelvin inspection jig 1 of Embodiment 1 has a regular polygonal column shape.
  • the front end side column body portion 22C is a column body in which a part of a polygonal column is replaced with an arc surface 26 as a curved surface portion. The arc faces 26 are close to each other.
  • the vertex P is at the forefront position of the arc surface 26.
  • the pair of surfaces having the ridge line portion Q as a boundary all form an obtuse angle.
  • the angles formed by the pair of surfaces are not necessarily the same. If the curvature of the arc surface 26 is the same as the curvature of the flange portion 28 of the plunger 20 and the arc surface 26 is formed by an extended surface of the outer peripheral surface of the flange portion 28, it can be processed simultaneously with the large-diameter flange portion 28. For this reason, there is no difficulty in processing of the circular arc surface 26.
  • Other configurations are the same as those of the first embodiment.
  • FIG. 16 shows the fifth embodiment, and an enlarged plan view when the distal end side column body portion 22D of the plunger 20 included in the probe 10 is at the center position of the plunger through hole 102 on the socket side
  • FIG. 17 shows the fifth embodiment. It is an enlarged plan view which shows the rotation contact simulation when the force of a rotation direction is added to the probe 10 in FIG.
  • the tip side column body portion 22 of the Kelvin inspection jig 1 of Embodiment 1 has a regular polygonal column shape.
  • the tip side column body portion 22D is a column body in which a part of a deformed polygonal column (having a wide surface) is replaced with an arc surface 26A as a curved surface portion.
  • the body parts 22D are close to each other on the arc surface 26A.
  • the vertex P is at the forefront position of the arc surface 26A.
  • the pair of surfaces having the ridge line portion Q as a boundary all form an obtuse angle.
  • the widths of all the surfaces are not the same regular polygonal prism, the angles formed by the pair of surfaces are not necessarily the same.
  • the socket-side plunger through hole 102 has a shape slightly larger than the cross section of the distal end side columnar portion 22D, and has an arc surface 103 having the same curvature as the arc surface 26A and a flat surface opposite to the arc surface 26A. This is a deformed hole having a flat surface 104 facing the surface.
  • Other configurations are the same as those in the fourth embodiment.
  • the tip side column body portion of the plunger 20 included in the probe 10 is a regular polygonal column, but the embodiment is not limited thereto.
  • the tip side column body portion of the plunger 20 replaces a polygonal column other than a regular polygonal column or a part of a polygonal column with an angle formed by two adjacent surfaces bordering the ridgeline portion, all of which are obtuse angles, with a curved surface.
  • the shape may be sufficient.
  • some of the ridge line portions do not necessarily have an obtuse angle.
  • a quadrangular prism since all the corners become a right angle or a part becomes an acute angle, it is not preferable, and a polygonal column is 5 or more corners.
  • the plunger through hole on the socket side is not limited to the round hole as shown in FIGS. 16 and 17 of the fifth embodiment.
  • the plunger through-hole only needs to be slidable with a plurality of adjacent ridgeline portions (corner portions) of the front end side columnar body contacting the inner surface of the plunger through-hole.
  • the probe structure other than the plunger's tip side column can be changed as appropriate.

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Abstract

プランジャが小径の場合であってもソケット及びプランジャの局部摩耗の防止を図る。　ケルビン検査用治具１は、ソケット９０と、ソケット９０に取り付けられる一対のプローブ１０と、を備える。各プローブ１０は、円筒状チューブ１１と、円筒状チューブ１１の一端側に設けられたプランジャ２０と、を有する。ソケット９０は、プランジャ２０の先端側柱体部２２が貫通するプランジャ貫通孔１０１を有する。先端側柱体部２２は、多角柱状の柱体、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体である。先端側柱体部２２同士は、一つの稜線部Ｐ又は曲面部で近接対向し、隣り合う複数の稜線部Ｑがプランジャ貫通孔１０１の内面に接触して摺動自在である。

Description

ケルビン検査用治具
　実施の形態は、被検査電子部品（ＩＣ，ＬＳＩ等）に設けられた各端子（電極パッド）にそれぞれ２本のプローブを接触させて、ケルビン法によって被検査電子部品の電子回路等を検査するためのケルビン検査用治具に関する。
　従来より、半導体集積回路等の被検査電子部品の電子回路等の検査を行う方法として、ケルビン法が知られている。このケルビン法による検査では、被検査電子部品の各端子にそれぞれ２本のプローブを接触させ、一方のプローブは電流供給用として、他方のプローブは電圧監視用として用いる。
　この種のケルビン検査用治具の先行技術文献としては、下記特許文献１，２が挙げられる。
特許第５１３１７６６号 特許第３７１１２６４号
　特許文献１は、プローブが有するプランジャの先端側柱体部（先端側本体部）が、ソケットのプランジャ貫通孔を貫通して突出している構造を開示している。また、特許文献１は、先端側柱体部がプランジャ貫通孔内で周回できないように、先端側柱体部の両側面及びプランジャ貫通孔の対向面を平面状に形成した構造を開示している。
　このようにプランジャの先端側柱体部がプランジャ貫通孔を摺動自在に貫通している構造の場合、プランジャに回転方向の力が加わったときに、先端側柱体部の一つの角部がプランジャ貫通孔の平面部に接触する。これにより、ソケット及びプランジャの局部摩耗を発生させる問題がある。
　特許文献２の構造では、プローブが有するプランジャの延出部（先端側柱体部）は基部に対して偏心位置に設けられている。延出部は基部よりも小径の円柱でソケット側の挿通孔を摺動自在に貫通している。
　図１８及び図１９でプローブが有するプランジャの先端側柱体部が円柱状であるケルビン検査用治具の例について簡単に説明する。ケルビン検査用治具は、被検査電子部品（ＩＣ，ＬＳＩ等）の１つの端子（電極パッド）当たり１対のプローブ２００を絶縁材からなるソケット２１０に設けている。プローブ２００は、導電性金属製の円筒状チューブ２０１と、チューブ先端側に固定の導電性金属製のプランジャ２０２と、プランジャ２０２の先端側柱体部２０３をソケット２１０のプランジャ貫通孔２１１から突出させる部材等（図示省略）を有している。プランジャ２０２の先端側柱体部２０３は基部２０４よりも小径の円柱形状となっている。
　この図１８及び図１９の例の場合、丸孔であるプランジャ貫通孔２１１の内周面に、プランジャ２０２の円柱形状の先端側柱体部２０３が接触することになる。図１８及び図１９の例の場合、先端側柱体部２０３に角部が無いために、ソケット側プランジャ貫通孔２１１及びプランジャ２０２の先端側柱体部２０３の局部摩耗は発生しにくい。
　しかし、最近はプローブの小径化が要求されている。プローブ外径０.５ｍｍ以下となると、プランジャ先端側柱体部の円柱加工が製造上困難になる。
　実施の形態はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、プランジャが小径の場合であっても容易に製造が可能であり、且つ、ソケット及びプランジャの局部摩耗の防止を実現可能なケルビン検査用治具を提供することにある。
　実施の形態のある態様はケルビン検査用治具である。このケルビン検査用治具は、
      絶縁性ソケットと、
      前記絶縁性ソケットに取り付けられる一対のプローブと、
      を備え、
      前記一対のプローブの各々は、導電性チューブと、前記導電性チューブの一端側に設けられた導電性プランジャと、を有し、
      前記導電性プランジャは、先端側柱体部、を有し、
      前記絶縁性ソケットは、前記導電性プランジャの前記先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔、を有し、
      前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との各々は、前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との間隔が狭くなるように、前記導電性チューブの中心に対して偏心した位置に形成されていて、
      前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との各々は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体であり、
      前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との各々において、隣り合う複数の前記稜線部が前記プランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在である。
　実施の形態のもう一つの態様もケルビン検査用治具である。このケルビン検査用治具は、
      絶縁性ソケットと、
      前記絶縁性ソケットに取り付けられる一対のプローブと、
      を備え、
      前記一対のプローブの各々は、導電性チューブと、前記導電性チューブの一端側に設けられた導電性プランジャと、を有し、
      前記導電性プランジャは、先端側柱体部、を有し、
      前記絶縁性ソケットは、前記導電性プランジャの前記先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔、を有し、
      前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との各々は、前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との間隔が狭くなるように、前記導電性チューブの中心に対して偏心した位置に形成されていて、
      前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との各々は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体であり、
      前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部の前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部と、前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部の前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部と、が近接対向し、
      前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との各々において、前記稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成している。
　前記先端側柱体部が正多角柱で、前記正多角柱の稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成しており、前記プランジャ貫通孔が丸孔であるとよい。
　前記曲面部が前記導電性プランジャの基部の外周面と同じ曲率の円弧面であり、前記外周面の延長面で形成されているとよい。
　前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部の前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部と、前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部の前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部と、が近接対向しているとよい。
　なお、以上の構成要素の任意の組合せ、実施の形態の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、実施の形態の態様として有効である。
　実施の形態のケルビン検査用治具によれば、プランジャを有するプローブと、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有するソケットとを備える場合に、前記先端側柱体部は複数の稜線部を有する多角柱状の柱体又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体であって、隣り合う複数の稜線部が前記プランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であるため、プランジャ貫通孔の内面に先端側柱体部の角部の一つのみが継続的に接触することを回避できる。これによりソケット及びプランジャの局部摩耗を防止可能である。また、多角柱を形成する工程は加工が容易であるため、プローブの小径化（例えば、プローブ外径０.５ｍｍ以下）にも充分対応可能である。
ケルビン検査用治具の実施の形態１の縦断面図。 実施の形態１の拡大平面図。 実施の形態１で用いるプローブの側面図。 同側断面図。 同拡大平面図。 実施の形態１におけるプローブに回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図。 ケルビン検査用治具の実施の形態２の縦断面図。 実施の形態２の拡大平面図。 実施の形態２で用いるプローブの側面図。 同側断面図。 同拡大平面図。 実施の形態３であって、プローブが有するプランジャの先端側柱体部がソケット側のプランジャ貫通孔のセンター位置にある場合の拡大平面図。 実施の形態３におけるプローブに回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図。 実施の形態４であって、プローブが有するプランジャの先端側柱体部がソケット側のプランジャ貫通孔のセンター位置にある場合の拡大平面図。 実施の形態４におけるプローブに回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図。 実施の形態５であって、プローブが有するプランジャの先端側柱体部がソケット側のプランジャ貫通孔のセンター位置にある場合の拡大平面図。 実施の形態５におけるプローブに回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図。 ケルビン検査用治具の従来例を示す主要部の縦断面図。 同拡大平面図。
　以下、図面を参照しながら好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
実施の形態１
図１乃至図６を用いてケルビン検査用治具の実施の形態１を説明する。ケルビン検査用治具１は、被検査電子部品（ＩＣ，ＬＳＩ等）の１つの端子（電極パッド）当たり１対のプローブ１０を絶縁材からなるソケット９０に設けている。なお、図１では１対のプローブ１０のみを示すが、実際には複数対のプローブ１０がソケット９０に設けられる。
　図３乃至図５に示すプローブ１０は、円筒状チューブ１１と、プランジャ２０と、当接部材３０と、コイルスプリング３１とを有している。円筒状チューブ１１は、導電性金属製である。プランジャ２０は、導電性金属製である。このプランジャ２０は、チューブ先端側（上端側）に固定される。当接部材３０は、導電性金属製である。当接部材３０は、チューブ後端側（下端側）に設けられていてチューブ１１の軸方向に摺動してチューブ１１から突没自在で、且つ、チューブ１１から抜け出ないように保持される。コイルスプリング３１は、図４のようにチューブ１１内部に設けられていて、プランジャ２０及び当接部材３０のチューブ内側の端面に弾接して当接部材３０をチューブ１１から突出する方向に付勢する。
　図４に示すように、プランジャ２０は、内側挿入部２７と、フランジ部２８と、先端側柱体部２２とを一体に有している（プランジャ２０は導電性金属にて一体的に形成される）。
　内側挿入部２７は、チューブ１１の先端部内側に挿入される略円柱状である。内側挿入部２７は、チューブ１１の内径よりも若干小さな略円柱状に形成される。内側挿入部２７の中間位置には小径のくびれ部２７ａが形成されている。内側挿入部２７をチューブ１１に嵌入した後、内側挿入部２７のくびれ部２７ａに対応したチューブ１１の外周部分にかしめ加工等を施すことで、チューブ１１の内周側に凸部１２が形成される。これにより、凸部１２がくびれ部２７ａに係合する。これによって、プランジャ２０がチューブ１１から脱落しないようにチューブ１１に固定されると共に保持される。
　フランジ部２８は、内側挿入部２７と同心で内側挿入部２７の先端側に形成される円板状の基部である。フランジ部２８の外周面はチューブ１１先端部の外周面と一致している。具体的には、フランジ部２８は、チューブ１１の外周の円筒形に合わせて、これと同径の円板であり、チューブ１１と同心に配置される。
　フランジ部２８上に立設される先端側柱体部２２は、外形がフランジ部２８の外径よりも小さな多角柱状の柱体であって、チューブ１１の軸方向の中心から偏心して形成されている。つまり、ソケット９０に一対のプローブ１０を配置するときに、図２のように一対のプローブ１０における先端側柱体部２２が、チューブ１１の軸方向の中心に対して先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向の偏心位置に形成される。
　プランジャ２０の先端側柱体部２２は、フランジ部２８の中心から偏心した位置でフランジ部２８の先端側に形成される多角柱状である。先端側柱体部２２は、多角柱状の柱体であり、図示の場合では正１２角柱の先端部分を二つの斜面２３で形成して山形にしたものである。そして、二つの斜面２３により形成される稜線２４は偏心方向に向かって高くなるように傾斜しており、その最高点が先端側柱体部２２の頂点Ｐ（被検査電子部品の端子への接触点）となる。先端側柱体部２２が、多角柱状の柱体であるため、隣接する２面で挟まれた稜線部Ｑを長手方向（チューブ１１の軸方向）に複数有する（多角柱状の角数）。先端側柱体部２２の頂点Ｐは、前述した通り前記山形の稜線２４の最高点であり、かつ稜線部Ｑのうち最も長いものの先端に位置し、図２のように１対の先端側柱体部２２の頂点Ｐ同士が最短距離となる配置である。つまり、ソケット９０に配置される対をなすプローブ１０の頂点Ｐ同士の距離が最短となるように、各プローブ１０はソケット９０に配置される。なお、頂点Ｐの位置の稜線部Ｑは、図２のように、チューブ１１の軸方向に直交する平面においてフランジ部２８の外周面上に位置しているときが、対をなす頂点Ｐ同士の間隔が最短となって最も好ましい。しかしながら、頂点Ｐの位置の稜線部Ｑは、フランジ部２８の外周面近傍の内側に位置していてもよい。多角柱状の先端側柱体部２２における稜線部Ｑを境界とする２面（稜線部Ｑを挟んだ隣接する２面）の成す角αは鈍角（α＞９０°）である。
　図１に示すように、絶縁材からなるソケット９０は、先端側（上段）のリテーナ１００及び後端側（下段）のピンブロック１１０が積層一体化された構造を有する。ソケット９０には、リテーナ１００とピンブロック１１０とを上下に貫通するように、プローブ１０を収容する貫通孔が形成される。ピンブロック１１０にはプローブ１０、すなわちそのチューブ１１を配置するチューブ配置孔１１１が形成される。このチューブ配置孔１１１にプローブ１０がその軸方向に摺動自在に挿通されている。また、ピンブロック１１０には小径部１１２が形成されている。小径部１１２は、チューブ配置孔１１１の後端部位置に当接部材３０を外方に突出させるとともにチューブ１１の後端側が後端方向に抜け出ないように、当接部材３０の外径よりも大きく、且つ、チューブ１１の外径より小さい。リテーナ１００にはピンブロック１１０のチューブ配置孔１１１に連通するチューブ配置孔１１１が形成されると共にプランジャ貫通孔１０１が形成されている。プランジャ貫通孔１０１は、先端側にプランジャ２０の先端側柱体部２２を貫通させるように、先端側柱体部２２の外形よりも若干大径である。チューブ１１はチューブ配置孔１１１よりも短く形成されるため、チューブ配置孔１１１にはチューブ１１の軸方向の摺動範囲を規定する空間部１２１が形成される。
　ケルビン検査用治具１で被検査電子部品を検査する場合、図１のように底部基板（検査基板）１３０がソケット９０の後端面に密着して配設される。ソケット９０で保持された対をなすプローブ１０の当接部材３０は、それぞれ底部基板１３０の電極１３１，１３２に弾接する。この結果、プランジャ２０の先端側柱体部２２は、ソケット９０のプランジャ貫通孔１０１を貫通し、かつチューブ１１内のコイルスプリング３１により突出方向に付勢される。
　図２は、対をなすプランジャ２０の先端側柱体部２２が貫通するリテーナ１００側のプランジャ貫通孔１０１の配置を示す。図２では、対をなす先端側柱体部２２の頂点Ｐを有する稜線部Ｑ同士が相互に対向するように配置されている。稜線部Ｑ同士が相互に対向するとき、先端側柱体部２２の頂点Ｐの間隔が最短距離となる。
　上記実施の形態１において、被検査電子部品２００を検査する場合、図１のようにケルビン検査用治具１のソケット９０の後端面に底部基板１３０が配置され、底部基板１３０上の電極１３１，１３２に対をなすプローブ１０の当接部材３０が弾接される（待機状態）。続いて、被検査電子部品２００がソケット９０の被検査物載置面９１に向けて押し当てられる。すなわち、被検査電子部品２００の端子（電極パッド）２０１をプランジャ２０の先端側柱体部２２に当接し、さらに押し当ての継続により、先端側柱体部２２を押し下げて当接部材３０の突出量が減じる。このとき、プローブ１０内部のコイルスプリング３１が圧縮されることにより、この圧縮による付勢力によって、対をなしたプランジャ２０の先端側柱体部２２の頂点Ｐが、被検査電子部品２００に備わる同一の端子（電極パッド）２０１に弾接する（検査状態）。これによって、底部基板１３０の電極１３１，１３２は、被検査電子部品２００の端子（電極パッド）２０１とプローブ１０を介して電気的に接続する。例えば、底部基板１３０の一方の電極１３１が電流供給電極であれば、これに接続するプローブ１０が電流供給用プローブとして機能する。他方の電極１３２が電圧監視用電極であれば、これに接続するプローブ１０が電圧監視用プローブとして機能する。
　被検査電子部品２００を交換して検査を繰り返す毎に、チューブ１１及びプランジャ２０は、ソケット９０内でチューブ１１の軸方向に摺動する。このとき、図６のプローブ１０に、例えば、反時計方向の回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションからわかるように、正多角柱状の先端側柱体部２２の隣り合う複数（少なくとも２つ）の稜線部Ｑが丸孔（横断面が真円）であるプランジャ貫通孔１０１の内周面に対して同時に接触するように揺動しながら上下方向に摺動する（若しくは摺動する割合が多くなる）。このため、プローブ１０に回転方向の力が加わった場合でも先端側柱体部２２とプランジャ貫通孔１０１内周面の接触に起因する局部的な摩耗は防止される。また、稜線部Ｑを挟んだ隣接する２面の成す角αが鈍角であるため、プランジャ貫通孔１０１内周面に深く摩耗溝が形成されることを防止できる。なお、図６においてプローブが時計方向に回転した場合、稜線２４を挟んで反対側の複数の稜線部がプランジャ貫通孔１０１の内周面に同時に接触する。
　本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
(1) プローブ１０が有しているプランジャ２０の先端側柱体部２２が多角柱状の柱体である。このため、隣り合う複数の稜線部Ｑがソケット９０側のプランジャ貫通孔１０１の内面に接触して摺動自在であるので、プランジャ貫通孔１０１の内面に先端側柱体部２２の角部の一つのみが継続的に接触することを回避できる。これによりプランジャ貫通孔１０１の内周面及び先端側柱体部２２の局部摩耗を防止可能である。
(2) プランジャ２０の先端側柱体部２２が多角柱状の柱体で、かつ稜線部Ｑを挟んだ隣接する２面の成す角αが全て鈍角である。このため、プランジャ貫通孔１０１内周面に深く摩耗溝が形成されることを防止できる。この結果として、プランジャ貫通孔１０１の内周面及び先端側柱体部２２の局部摩耗を防止可能である。
(3) 図１８及び図１９の例の場合、プランジャ２０のフランジ部２８に対して偏芯位置に形成される先端側柱体部２２の円柱加工が必要であり、この円柱加工は極めて困難である。この一方で先端側柱体部２２の多角柱加工は、プランジャの外周に面状カットにより一面を形成し、続いて、プランジャを周方向に回転して次の面状カットにより二面を形成し、これを繰り返し行うだけで偏心構造が形成できる。このため、先端側柱体部２２を多角柱に加工することは、先端側柱体部２２を円柱に加工することに比べて遙かに容易である。この結果、プローブ１０の小径化（例えば、プローブ外径０.５ｍｍ以下）にも充分対応可能である。
実施の形態２
図７乃至図１１を用いてケルビン検査用治具の実施の形態２を説明する。ケルビン検査用治具２は、プローブ１０が有しているプランジャ２０の先端側柱体部２２Ａが多角柱状の柱体である点は実施の形態１のケルビン検査用治具１と共通する。しかしながら、先端側柱体部２２Ａの先端面が多角形の外縁に多数の頂点Ｐを形成した多点接触部２５となっている点が実施の形態１のケルビン検査用治具１とは異なっている。その他の構成は実施の形態１と同様である。
　この実施の形態２の場合、図７に示すように被検査電子部品２００Ａが有する同一の端子２０１Ａが、はんだバンプ等の半球状に盛り上がった形状のときに有効である。つまり、プランジャ２０の先端側柱体部２２Ａが先端面に多点接触部２５を有するため、測定時においてバンプ等の平坦面ではない端子２０１Ａに対して確実に接触して電気的導通を確保できる。その他の作用効果は実施の形態１と同様である。
実施の形態３
　図１２は実施の形態３であって、プローブ１０が有するプランジャ２０の先端側柱体部２２Ｂがソケット側のプランジャ貫通孔１０１のセンター位置にある場合の拡大平面図であり、図１３はプローブ１０に回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図である。実施の形態１のケルビン検査用治具１の先端側柱体部２２は、正１２角柱状であるのに対し、実施の形態３の場合、先端側柱体部２２Ｂは、正１５角柱状である点が異なる。その他の構成は実施の形態１と同様である。
　図１３からわかるように、正１５角柱状の先端側柱体部２２Ｂでも、隣り合う複数の稜線部Ｑがソケット側のプランジャ貫通孔１０１の内面に接触して摺動自在である。このため、プランジャ貫通孔１０１の内面に先端側柱体部２２Ｂの角部の一つのみが継続的に接触することを回避できる。これによりプランジャ貫通孔１０１の内周面及び先端側柱体部２２Ｂの局部摩耗を防止可能である。つまり、実施の形態１と同様の作用効果を奏することができる。
実施の形態４
　図１４は実施の形態４であって、プローブ１０が有するプランジャ２０の先端側柱体部２２Ｃがソケット側のプランジャ貫通孔１０１のセンター位置にある場合の拡大平面図であり、図１５はプローブ１０に回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図である。実施の形態１のケルビン検査用治具１の先端側柱体部２２は、正多角柱状である。これに対し、実施の形態４の場合、先端側柱体部２２Ｃは、多角柱の一部が曲面部としての円弧面２６で置換された柱体であり、先端側柱体部２２Ｃ同士は、円弧面２６で近接対向している。頂点Ｐは円弧面２６の最先端位置にある。また、稜線部Ｑを境界とする一対の面同士が全て鈍角を成している。但し、全ての面の幅が同一の正多角柱ではないので、一対の面同士が成す角度は同一とは限らない。円弧面２６の曲率をプランジャ２０のフランジ部２８の曲率と同じにして、円弧面２６をフランジ部２８の外周面の延長面で構成すれば、大径のフランジ部２８と同時に加工できる。このため、円弧面２６の加工に困難性はない。その他の構成は実施の形態１と同様である。
　図１５からわかるように、多角柱の一部が円弧面２６で置換された先端側柱体部２２Ｃでも、隣り合う複数の稜線部Ｑがソケット側のプランジャ貫通孔１０１の内面に接触して摺動自在である。このため、プランジャ貫通孔１０１の内面に先端側柱体部２２Ｃの角部の一つのみが継続的に接触することを回避できる。これによりプランジャ貫通孔１０１の内周面及び先端側柱体部２２Ｃの局部摩耗を防止可能である。つまり、実施の形態１と同様の作用効果を奏することができる。
実施の形態５
　図１６は実施の形態５であって、プローブ１０が有するプランジャ２０の先端側柱体部２２Ｄがソケット側のプランジャ貫通孔１０２のセンター位置にある場合の拡大平面図、図１７は実施の形態５におけるプローブ１０に回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図である。実施の形態１のケルビン検査用治具１の先端側柱体部２２は正多角柱状である。これに対し、実施の形態５の場合、先端側柱体部２２Ｄは異形多角柱（幅広面を有する）の一部が曲面部としての円弧面２６Ａで置換された柱体であり、先端側柱体部２２Ｄ同士は、円弧面２６Ａで近接対向している。頂点Ｐは円弧面２６Ａの最先端位置にある。また、稜線部Ｑを境界とする一対の面同士が全て鈍角を成している。但し、全ての面の幅が同一の正多角柱ではないので、一対の面同士が成す角度は同一と限らない。ソケット側のプランジャ貫通孔１０２は先端側柱体部２２Ｄの断面よりも僅かに大きな形状であって、円弧面２６Ａの曲率と同様の曲率の円弧面１０３と、円弧面２６Ａの反対側の平坦面に対面する平坦面１０４を有する異形孔である。その他の構成は実施の形態４と同様である。
　図１７からわかるように、幅広面を有する異形多角柱の一部が曲面部としての円弧面２６Ａで置換された異形の柱体でも、隣り合う複数の稜線部Ｑがソケット側のプランジャ貫通孔１０２内面に接触して摺動自在である。このため、プランジャ貫通孔１０２の内面に先端側柱体部２２Ｄの角部の一つのみが継続的に接触することを回避できる。これによりプランジャ貫通孔１０２の内周面及び先端側柱体部２２Ｄの局部摩耗を防止可能である。つまり、実施の形態１と同様の作用効果を奏することができる。
　以上、実施の形態を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
　前述の実施の形態１，２，３ではプローブ１０が有するプランジャ２０の先端側柱体部が正多角柱であったが実施の形態はこれに限定されるものではない。例えば、プランジャ２０の先端側柱体部は、稜線部を境界とする隣接２面の成す角（角部）が全て鈍角である正多角柱以外の多角柱又は多角柱の一部を曲面で置換した形状でもよい。また、隣り合う複数の稜線部がプランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であれば、一部の稜線部（角部）は必ずしも鈍角でなくともよい。なお、４角柱では、角部が全て直角又は一部が鋭角となるため好ましくなく、多角柱は５角以上である。
　また、ソケット側のプランジャ貫通孔は実施の形態５の図１６や図１７に示したように丸孔に限定されない。プランジャ貫通孔は先端側柱体部の隣り合う複数の稜線部（角部）がプランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であればよい。
　プランジャの先端側柱体部以外のプローブ構造は適宜変更可能である。
　１，２　ケルビン検査用治具
　１０　プローブ
　１１　チューブ
　２０　プランジャ
　２２，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ　先端側柱体部
　２５　多点接触部
　２６，２６Ａ　円弧面
　２７　内側挿入部
　２８　フランジ部
　３０　当接部材
　３１　コイルスプリング
　９０　ソケット
　１０１，１０２　プランジャ貫通孔
　１３０　底部基板
　２００，２００Ａ　被検査電子部品
　Ｐ　頂点
　Ｑ　稜線部

Claims (5)

  1.       絶縁性ソケットと、
          前記絶縁性ソケットに取り付けられる一対のプローブと、
          を備え、
          前記一対のプローブの各々は、導電性チューブと、前記導電性チューブの一端側に設けられた導電性プランジャと、を有し、
          前記導電性プランジャは、先端側柱体部、を有し、
          前記絶縁性ソケットは、前記導電性プランジャの前記先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔、を有し、
          前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との各々は、前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との間隔が狭くなるように、前記導電性チューブの中心に対して偏心した位置に形成されていて、
          前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との各々は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体であり、
          前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との各々において、隣り合う複数の前記稜線部が前記プランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在である、
          ケルビン検査用治具。
  2.       絶縁性ソケットと、
          前記絶縁性ソケットに取り付けられる一対のプローブと、
          を備え、
          前記一対のプローブの各々は、導電性チューブと、前記導電性チューブの一端側に設けられた導電性プランジャと、を有し、
          前記導電性プランジャは、先端側柱体部、を有し、
          前記絶縁性ソケットは、前記導電性プランジャの前記先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔、を有し、
          前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との各々は、前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との間隔が狭くなるように、前記導電性チューブの中心に対して偏心した位置に形成されていて、
          前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との各々は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体であり、
          前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部の前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部と、前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部の前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部と、が近接対向し、
          前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部と前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部との各々において、前記稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成している、
          ケルビン検査用治具。
  3.       前記先端側柱体部が正多角柱で、前記正多角柱の稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成しており、前記プランジャ貫通孔が丸孔である、
          請求項１又は２に記載のケルビン検査用治具。
  4.       前記曲面部が前記導電性プランジャの基部の外周面と同じ曲率の円弧面であり、前記外周面の延長面で形成されている、
          請求項１又は２に記載のケルビン検査用治具。
  5. 前記一対のプローブの一方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部の前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部と、前記一対のプローブの他方の前記導電性プランジャの前記先端側柱体部の前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部と、が近接対向する、請求項１に記載のケルビン検査用治具。
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