JP2006190871A - 金属抵抗体材料、抵抗薄膜、スパッタリングターゲット、薄膜抵抗器およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Taを30〜60質量%含み、かつ、残部はCrおよびNiを含み、CrのNiに対する質量比が0.5〜1.1である金属抵抗体材料をスパッタリングターゲットとして用いてスパッタリングを実施し、絶縁材料基板上に抵抗薄膜を形成する。得られた抵抗薄膜に対して、400℃〜650℃で1〜5時間の熱処理を大気中で行なう。
【選択図】 図3
Description
ニクロムターゲット、アルミニウムターゲット及びタンタルターゲットを用いた3元同時カソードスパッタ法によって、表1に示す参考例1、実施例1〜5、7、比較例1〜5の組成の薄膜抵抗を作製した。
2 抵抗膜
3 金電極
4 水滴
5 定電圧電源
Claims (8)
- Taを30〜60質量%含み、残部はCrおよびNiからなり、CrのNiに対する質量比が0.5〜1.1である金属抵抗体材料。
- Taを30〜60質量%、Alを0〜8質量%含み、残部はCrおよびNiからなり、CrのNiに対する質量比が0.5〜1.1である金属抵抗体材料。
- 請求項1または2に記載の金属抵抗体材料を用いた抵抗薄膜形成用のスパッタリングターゲット。
- Taを30〜60質量%含み、残部はCrおよびNiからなり、CrのNiに対する質量比が0.5〜1.1であって、かつ、表面に酸化膜が形成されている抵抗薄膜。
- Taを30〜60質量%、Alを0〜8質量%含み、残部はCrおよびNiからなり、CrのNiに対する質量比が0.5〜1.1であって、かつ、表面に酸化膜が形成されている抵抗薄膜。
- 抵抗温度係数が±25ppm/℃以内であり、155℃の高温に1000時間保持した後の抵抗変化率が0.10%以下であり、酸性人工汗液を用いた電食試験において溶解開始電圧が3.0V以上であることを特徴とする請求項4または5に記載の抵抗薄膜。
- 請求項4〜6のいずれかに記載の抵抗薄膜を用いた薄膜抵抗器。
- 請求項3に記載のスパッタリングターゲットを用いて、スパッタリング法により、絶縁材料基板上に抵抗薄膜を形成し、その後、該抵抗薄膜を大気中または酸素を微量含む不活性ガス中において、300〜650℃で1〜5時間熱処理することを特徴とする薄膜抵抗器の製造方法。
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