JP2006186241A - ワーク搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 搬送されるワークにダメージを与えることなく、精度良く停止することができるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置本体51のガイドレール53に支持アーム54を移動自在に支持し、移送機構57によってガイドレール53に沿って移動できるように構成する。支持アーム54に可動部61を支持し、可動部61にリードフレーム3の長さ方向一端側に配置される板状の第1搬送爪62と他端側に配置される板状の第2搬送爪63とを設ける。第1搬送爪62を可動部61の一端部に固定し、第2搬送爪63を他端部に設ける。第2搬送爪63を可変機構71で駆動可能に構成し、第1搬送爪62と第2搬送爪63との離間距離を可変できるように構成する。
【選択図】 図3
【解決手段】 搬送装置本体51のガイドレール53に支持アーム54を移動自在に支持し、移送機構57によってガイドレール53に沿って移動できるように構成する。支持アーム54に可動部61を支持し、可動部61にリードフレーム3の長さ方向一端側に配置される板状の第1搬送爪62と他端側に配置される板状の第2搬送爪63とを設ける。第1搬送爪62を可動部61の一端部に固定し、第2搬送爪63を他端部に設ける。第2搬送爪63を可変機構71で駆動可能に構成し、第1搬送爪62と第2搬送爪63との離間距離を可変できるように構成する。
【選択図】 図3
Description
本発明は、リードフレームなど短冊状のワークを搬送するワーク搬送装置に関する。
従来、ダイボンディング装置には、短冊状のワークを搬送するワーク搬送装置が設けられている。
このワーク搬送装置としては、搬送レール上に配置された短冊状のリードフレームを、その下流側からプッシャで押し出す装置が知られているが、前記プッシャでリードフレームを高速移送すると、リードフレームがオーバーランしてしまい、停止位置精度が低下するという問題があった。
これを解消する為に、リードフレームの側縁部に設けられた孔にピンを挿入するとともに、当該ピンを搬送レールに沿って移動することで、リードフレームを引っ張って移送するピン式の搬送装置が知られている。
また、リードフレームの縁部をグリッパで上下から挟み込むとともに、当該グリッパを搬送レールに沿って移動することで、前記リードフレームを移送するグリップ式の搬送装置も知られている。
しかしながら、前記ダイボンディング装置で形成されるワークとしては、図4に示すように、リードフレーム801上にボンディングされた状態でワイヤー802,802がボンディングされた第1のチップ803と、該第1のチップ803上に、スペーサ804を介してボンディングされた第2のチップ805とからなるワークが挙げられる。このように、リードフレーム801に複数回ボンディング工程を繰り返してワークを形成する場合、二回目以降のボンディング時には、ボンディングした第1のチップ803にワイヤー802,802がボンディングされたリードフレーム801を投入することとなる。
このとき、前者のピン式の搬送装置でワークを移送する際には、リードフレーム801の孔にピンを挿入して移送する際に、前記リードフレーム801が前記ピンを中心として回転してしまう。すると、当該リードフレーム801が搬送レールの側壁に当接して当該リードフレーム801に衝撃が加えられ、リードフレーム801上にボンディングされたワイヤー802,802等にダメージが与えられる恐れがあった。
また、後者のグリップ式の搬送装置においては、グリッパで挟み込む際の衝撃がリードフレーム801に加えられ、この場合もリードフレーム801上にボンディングされたワイヤー802,802等にダメージが与えられる恐れがあった。
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、搬送されるワークにダメージを与えることなく、精度良く停止することができるワーク搬送装置を提供することを目的とするものである。
前記課題を解決するために本発明のワーク搬送装置にあっては、搬送経路上に配置された短冊状のワークを長さ方向に移送するワーク搬送装置において、前記搬送経路に沿って移動される可動部に、前記ワークの長さ方向一端側に配置される第1搬送爪と、前記ワークの長さ方向他端側に配置される第2搬送爪と、前記第1搬送爪及び前記第2搬送爪間の離間距離を可変する可変機構とを設けるとともに、前記第1搬送爪又は前記第2搬送爪の少なくともいずれか一方を、前記ワークの端縁に複数点で接触又は線接触する接触構造とした。
すなわち、搬送経路に配置されたワークを搬送する際には、可動部に設けられた第1搬送爪を前記ワークの長さ方向一端側に配置するとともに、第2搬送爪を前記ワークの長さ方向他端側に配置する。そして、可変機構によって前記第1搬送爪及び前記第2搬送爪間の離間距離を狭くして、前記第1搬送爪を前記ワークの一端に当接するとともに前記第2搬送爪を前記ワークの他端に当接し、前記両搬送爪で前記ワークを挟む。あるいは、前記第1搬送爪を前記ワークの一端に近接するとともに前記第2搬送爪を前記ワークの他端に近接し、前記両搬送爪によって前記ワークとの間にクリアランスを保ちつつ当該ワークを挟む。
この状態において、前記可動部を前記搬送経路に沿って移動する。すると、前記両搬送爪で挟まれた前記ワークは、下流側に配置された一方側の搬送爪に押されつつ、前記可動部の移動方向へ移動されるとともに、他方側の搬送爪によって停止時でのオーバーランが防止される。
このとき、前記第1搬送爪又は前記第2搬送爪の少なくともいずれか一方が、前記ワークの端縁に複数点で接触又は線接触しており、搬送爪が一点で点接触する場合と比較して、ワークの不用意な回転が防止される。
また、前記ワークは、下流側に配置された搬送爪で押されて移送される。このため、ワークをグリッパで上下から挟んで移送する構造上、移送中に離脱しない程度の強さでワークを挟持する必要があった従来と比較して、前記両搬送爪から前記ワークへ伝達され得る衝撃が抑制される。
以上説明したように本発明のワーク搬送装置にあっては、可動部の両搬送爪で挟まれたワークを、下流側に配置された一方側の搬送爪で押しながら当該可動部の移動方向へ移動することができる。このとき、前記ワークの上流側に配置された他方側の搬送爪によって停止時でのオーバーランを防止することができる。これにより、移送されたワークを精度良く停止することができる。
そして、前記第1搬送爪又は第2搬送爪の少なくともいずれか一方が、前記ワークの端縁に複数点で接触又は線接触しており、搬送爪が一点で点接触する場合と比較して、ワークの不用意な回転を防止することができる。これにより、ワークが回転して搬送レールに当接し、当該ワークに衝撃が加えられるといった不具合を解消することができる。
また、前記ワークは、下流側に配置された搬送爪で押されて移送される。このため、ワークを上下から挟んで移送する構造上、移送中に離脱しない程度の強さでワークを挟持する必要があった従来と比較して、前記両搬送爪から前記ワークへ伝達され得る衝撃を抑制することができる。
このように、ワークに加えられる衝撃を抑制することができるので、搬送されるワークへのダメージを防止することができる。したがって、前記ワークがリードフレームの場合には、ボンディングされたワイヤー等へのダメージの付与を未然に防止することができる。
また、前記ワークは、一端側に配置された搬送爪と他端側に配置された搬送爪とによって挟まれた状態で移送される。このため、一端側に配置された搬送爪又は他端側に配置された搬送爪のいずれであっても、ワークを押して移送することができる。これにより、前記ワークをいずれの方向へも移動することができる。
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図1は、本実施の形態にかかるワーク搬送装置1を備えたボンディング装置2を示す図であり、該ボンディング装置2は、短冊状のワークとしてのリードフレーム3にチップをボンディングする装置である。
このボンディング装置2は、ボンディングを行うボンディングユニット11を中心に構成されており、該ボンデングユニット11の横幅方向Wの図1中右側には、ローダユニット12が近接して配置されている。
前記ボンディングユニット11の図1中左方には、ワークローダ21が設けられており、該ワークローダ21は、ボンディングが全く行われていないリードフレーム3を積層して載置するワーク載置部22と、該ワーク載置部22に載置されたリードフレーム3を、一枚ずつボンディングゾーン23に供給するワーク供給装置24とによって構成されている。
前記ボンディングゾーン23には、テーブル31が設けられており、該テーブル31には、前記リードフレーム3が載置される搬送路32が前記横幅方向Wに延設されている。このボンディングゾーン23では、ボンディングゾーン23手前に設けられたウエハシートゾーン33のウエハリング34から図外のボンディングヘッドでチップをピックアップし、このチップを前記テーブル31に供給されたリードフレーム3のボンディングポイントにボンディングするように構成されている。このチップのボンディングとしては、一回のボンディング工程でボンディングを完了する部品と、複数回のボンディング工程を繰り返す部品とがあり、後者の場合には、初回のボンディングが終了したリードフレーム3を一度排出した後、このリードフレーム3を再度ボンデング装置2にセットして二回目以降のボンディングを行うように構成されている。このとき、前記ボンデング装置2には、ボンディングされたチップにワイヤーがボンディングされたリードフレーム3を投入することとなる(背景技術参照)。
前記ボンディングゾーン23の図1中右側には、リードフレーム3を移送する前記ワーク搬送装置1が設けられている。該ワーク搬送装置1は、前記リードフレーム3を前記テーブル31と待機部42との間で搬送経路に沿って長さ方向に移動するとともに、該待機部42と前記ローダユニット12との間で搬送経路に沿って長さ方向に移動できるように構成されている。
すなわち、図2に示すように、前記ワーク搬送装置1の搬送装置本体51は、ボンディング装置2に立設された支柱52に支持されている。前記搬送装置本体51は、前記ボンディング装置2の横幅方向Wに延在するガイドレール53を備えており、該ガイドレール53には、支持アーム54,54が移動自在に支持されている。各支持アーム54,54は、前記搬送装置本体51に設けられたボールネジ55及び該ボールネジ55に螺合するナット部(図示省略)と前記ボールネジ55を回動するモータ56とからなる移送機構57によって前記ガイドレール53に沿って移動されるように構成されている。
前記支持アーム54,54には、図2及び図3に示すように、可動部61が支持されており、該可動部61は、前記移送機構57により前記ガイドレール53に沿って移動されるように構成されている。この可動部61には、前記リードフレーム3を移送する際に前記リードフレーム3の長さ方向一端側に配置される第1搬送爪62と、前記リードフレーム3の長さ方向他端側に配置される第2搬送爪63とが設けられている。
前記第1搬送爪62は、前記可動部61の一端部に固定されており、前記第2搬送爪63は、前記可動部61の他端部に設けられている。前記両搬送爪62,63は、板状の部材で構成されており、前記リードフレーム3の端部に当接した際に、前記リードフレーム3の端縁に線接触する接触構造を有している。なお、この接触構造としては、前記第1搬送爪62及び前記第2搬送爪63を板状に形成することで線接触させた場合を例に挙げて説明したが、これに限定されるものでは無く、例えば並設された複数のピンを前記リードフレーム3の端縁に複数点で接触させる接触構造であっても良い。
前記第2搬送爪63は、前記可動部61に設けられた可変機構71によって駆動されるように構成されており、該可変機構71は、前記第2搬送爪63を前記第1搬送爪62に近接する方向及び離間する方向へ移動するように構成されている。これにより、前記可変機構71によって前記第1搬送爪62と前記第2搬送爪63との離間距離を可変できるように構成されている。
前記待機部42は、図1に示したように、前記ボンディングゾーン23でボンディングされたリードフレーム3を待機させる回収用待機レール81と、前記ボンディングゾーン23でボンディングが行われるリードフレーム3を待機させる供給用待機レール82とを備えており、搬送経路を構成する両待機レール81,82は、奥行き方向Dにスライドすることによって選択的に前記テーブル31の前記搬送路32に位置合わせできるように構成されている。
これにより、前記ワーク搬送装置1は、前記ローダユニット12のマガジン91から前記供給用待機レール82に供給されたリードフレーム3を前記テーブル31の搬送路32に供給してセットする供給動作と、前記テーブル31の搬送路32にセットされた前記リードフレーム3を前記回収用待機レール81に移動した後、前記ローダユニット12のマガジン91に収容する収容動作とを行えるように構成されている。
前記ローダユニット12は、前記供給用待機レール82に供給するリードフレーム3を収容した供給用のマガジン91を保持するマガジンローダ101と、前記回収用待機レール81のリードフレーム3を回収して収容する回収用のマガジン91を保持するマガジンアンローダ102とが設けられており、リードフレーム3に複数回のボンディングを繰り返して部品を製造する際に、既にボンディングが行われたリードフレーム3が供給用のマガジン91から前記ボンディングユニット11に供給されるとともに、当該リードフレーム3にボンディングが行われた際に、このリードフレーム3が回収用のマガジン91に収容されるように構成されている。
以上の構成にかかる本実施の形態において、テーブル31に設けられた搬送路32上のリードフレーム3をワーク搬送装置1で搬送する際には、移送機構57で可動部61をリードフレーム3上に移動して、当該可動部61に設けられた第1搬送爪62を前記リードフレーム3の長さ方向一端側に配置するとともに、第2搬送爪63を前記リードフレーム3の長さ方向他端側に配置する。そして、前記可動部61に設けられた可変機構71で前記第2搬送爪63を可動することによって前記第1搬送爪62及び前記第2搬送爪63間の離間距離を狭くして、前記第1搬送爪62を前記リードフレーム3の一端に当接するとともに前記第2搬送爪63を前記リードフレーム3の他端に当接し、前記両搬送爪62,63で前記リードフレーム3を挟む。あるいは、前記第1搬送爪62を前記リードフレーム3の一端に近接するとともに前記第2搬送爪63を前記リードフレーム3の他端に近接し、前記両搬送爪62,63によって前記リードフレーム3との間にクリアランスを保持した状態で当該リードフレーム3を挟む。
この状態において、前記移送機構57によって前記可動部61を前記テーブル31の搬送路32及び前記回収用待機レール81に沿って移動する。すると、前記両搬送爪62,63で挟まれた前記リードフレーム3は、図中左方に配置された第1搬送爪62で押されつつ、前記可動部61の移動方向へ移動されるとともに、他方側の第2搬送爪63によって停止時でのオーバーランが防止される。これにより、移送したリードフレーム3を精度良く停止することができる。
このとき、前記第1搬送爪62及び前記第2搬送爪63は、前記リードフレーム3の端縁に線接触する接触構造を有しており、搬送爪が一点で点接触する場合と比較して、リードフレーム3の不用意な回転を防止することができる。この接触構造としては、例えば並設された複数のピンを前記リードフレーム3の端縁に複数点で接触させる接触構造であっても良く、この場合にも、搬送爪が一点で点接触する場合と比較して、リードフレーム3の不用意な回転を防止することができる。これにより、リードフレーム3が回転して搬送路32や回収用待機レール81の側壁に当接し、当該リードフレーム3に衝撃が加えられるといった不具合を解消することができる。
また、前記リードフレーム3は、前記第1搬送爪62で押されて移送される。このため、リードフレーム3をグリッパで上下から挟んで移送する構造上、移送中に離脱しない程度の強さでリードフレーム3を挟持する必要があった従来と比較して、前記両搬送爪62,63から前記リードフレーム3へ伝達され得る衝撃を抑制することができる。
このように、リードフレーム3に加えられる衝撃を抑制することで、搬送されるリードフレーム3へのダメージを防止することができる。これにより、当該リードフレーム3にボンディングされたワイヤー等へのダメージの付与を確実に防止することができる。
また、このワーク搬送装置1では、リードフレーム3の一端側に配置された第1搬送爪62と他端側に配置された第2搬送爪63とによって前記リードフレーム3を挟んだ状態で移送する。このため、一端側に配置された第1搬送爪62又は他端側に配置された第2搬送爪63のいずれであっても、前記リードフレーム3を押して移送することができる。これにより、前記リードフレーム3をいずれの方向へも移動することができる。
すなわち、ローダユニット12のマガジン91から供給用待機レール82に供給されたリードフレーム3をテーブル31の搬送路32に供給してセットする際には、可動部61を供給用待機レール82のリードフレーム3上に移動して、第1搬送爪62及び第2搬送爪63をリードフレーム3の両端に配置するとともに、可変機構71によって前記第1搬送爪62及び前記第2搬送爪63間の離間距離を狭くして、前記両搬送爪62,63で前記リードフレーム3を挟む。
この状態において、前記可動部61を前記テーブル31の搬送路32上へ移動することによって、前記両搬送爪62,63間に挟まれた前記リードフレーム3を、前述と逆方向である前記テーブル31上に移送することができる。
1 ワーク搬送装置
3 リードフレーム
32 搬送路
61 可動部
62 第1搬送爪
63 第2搬送爪
71 可変機構
3 リードフレーム
32 搬送路
61 可動部
62 第1搬送爪
63 第2搬送爪
71 可変機構
Claims (1)
- 搬送経路上に配置された短冊状のワークを長さ方向に移送するワーク搬送装置において、
前記搬送経路に沿って移動される可動部に、前記ワークの長さ方向一端側に配置される第1搬送爪と、前記ワークの長さ方向他端側に配置される第2搬送爪と、前記第1搬送爪及び前記第2搬送爪間の離間距離を可変する可変機構とを設けるとともに、
前記第1搬送爪又は前記第2搬送爪の少なくともいずれか一方を、前記ワークの端縁に複数点で接触又は線接触する接触構造としたことを特徴とするワーク搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004380621A JP2006186241A (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | ワーク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2004380621A JP2006186241A (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | ワーク搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006186241A true JP2006186241A (ja) | 2006-07-13 |
Family
ID=36739112
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004380621A Pending JP2006186241A (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | ワーク搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006186241A (ja) |
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2004
- 2004-12-28 JP JP2004380621A patent/JP2006186241A/ja active Pending
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Legal Events
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Effective date: 20070905 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
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Effective date: 20091023 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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