JP2006185827A - X線発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 アパーチャ1を備えたX線発生装置において、アパーチャ1の少なくとも電子ビームBが照射される面を、アパーチャ1の材質よりもX線を発生しにくい材質からなる被覆膜2で構成する。この被覆膜2には、アパーチャの材質の原子番号よりも小さい原子番号の材質が使用され、カーボンシートやアルミニウム被膜が好適に採用される。電子ビームBはアパーチャ1の通過孔1a周辺部や孔内壁を直接照射せず、被覆膜2を照射する。被覆膜2はアパーチャ1よりもX線を発生しにくい材質から構成されているため、アパーチャ1を直接照射する場合よりも夾雑X線の発生量を低減させ、X線透過画像へのノイズ重畳を抑制することができる。
【選択図】 図3
Description
リン青銅製のアパーチャはエネルギービームをカットする材質として好適な材質であり、安価かつ加工性、切削性、導電性、伝熱性、入手容易性などの面で好適である。またカーボンは安価でかつ導電性、伝熱性に優れ入手容易な材料であり、加工性に富む。また、アルミニウムにおいても、導電性、伝熱性に優れ、更に溶射が可能であるため皮膜形成も容易に行なうことができる。
Claims (3)
- エネルギービームを発生させるビーム源と、
このビーム源に対向配置され、ビーム源からのエネルギービームの衝突によりX線を発生させるターゲットと、
前記ビーム源とターゲットとの間に配置され、エネルギービームを絞るための通過孔が形成されたアパーチャとを備えたX線発生装置であって、
少なくとも前記アパーチャのエネルギービームが照射される面を、アパーチャの材質よりもX線を発生しにくい材質で構成したことを特徴とするX線発生装置。 - 前記アパーチャの材質よりもX線を発生しにくい材質とは、アパーチャの材質の原子番号よりも小さい原子番号の材質である請求項1記載のX線発生装置。
- 前記アパーチャの材質がリン青銅であって、前記アパーチャの材質よりもX線を発生しにくい材質をカーボン及び/又はアルミニウムとしたことを特徴とする請求項1記載のX線発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004380048A JP4389781B2 (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | X線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004380048A JP4389781B2 (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | X線発生装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2006185827A true JP2006185827A (ja) | 2006-07-13 |
JP4389781B2 JP4389781B2 (ja) | 2009-12-24 |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4389781B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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EP3518267A4 (en) * | 2016-09-21 | 2020-06-03 | Shimadzu Corporation | X-RAY TUBE |
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JP7278041B2 (ja) | 2017-09-04 | 2023-05-19 | エクスロン インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | X線管用の構成部品又は電子捕獲スリーブ及びそのようなデバイスを備えたx線管 |
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US11894209B2 (en) | 2018-09-14 | 2024-02-06 | Comet Ag | Component or electron capture sleeve for an X-ray tube and X-ray tube having such a device |
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Publication number | Publication date |
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JP4389781B2 (ja) | 2009-12-24 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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