JP6652197B2 - X線管 - Google Patents
X線管 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6652197B2 JP6652197B2 JP2018540614A JP2018540614A JP6652197B2 JP 6652197 B2 JP6652197 B2 JP 6652197B2 JP 2018540614 A JP2018540614 A JP 2018540614A JP 2018540614 A JP2018540614 A JP 2018540614A JP 6652197 B2 JP6652197 B2 JP 6652197B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- holder shaft
- target
- holder
- ray tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 47
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 claims description 26
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 9
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 8
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 6
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 3
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021383 artificial graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 239000010405 anode material Substances 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
- H01J35/147—Spot size control
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
- H01J35/18—Windows
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
ターゲット16は磁気レンズ17の先端側に設けられるが、焦点を小さく絞り込むようにするには磁気レンズ17の先端部分を完全に軸対称形にする必要がある。磁気レンズ17に固定孔等の固定部を設けると対称性が崩れるため、ホルダシャフト14はアノード13側でフランジ19を介してOリングシール20により気密に固定してある。
既述のように、ホルダシャフト14にはタングステン合金が用いられている。そして、電子ビームが陽極に当たった場合の陽極でのX線発生効率は、陽極材料の原子番号に依存することが知られている。タングステンは重金属であるため、原子番号が比較的大きく、タングステン合金であっても相当量のX線が発生する。
ここで、カーボン材には、具体的にはグラファイト、ダイヤモンド、カーボンナノ物質(カーボンナノチューブ)のような融点(昇華点)の高い材料が利用可能である。
発生効率(A)=C×Z×V ・・・(1)
ここで、C:定数(1.1×10−9)、Z:陽極の原子番号、V:管電圧
そして、タングステンの原子番号は74、カーボンの原子番号は6である。管電圧が一定(例えば100kV)であれば、前者は0.814%、後者は0.066%であり、原子番号の大きさに比例して全ての管電圧で発生効率が1/10以下に変化する。
よって、タングステンに比べて原子番号が十分に小さいカーボンを用いることにより、電子ビームがホルダシャフトに当たったときに発生するX線量を大幅に低減することができる。しかも融点がタングステンに匹敵(タングステンは3685K)し、真空中での昇華点も3915K以上であり、局所的に高温になっても十分な耐性を有している。
不純物を含むカーボン材で形成したホルダシャフトは、壁面に電子ビームが当たると局所的に高温になり、融点の低い不純物は真空中で昇華して真空度が悪化する。この現象はX線管においては放電の原因となりX線管の安定性が損なわれる要因となる。よって、カーボン含有率が99.9%以上として、融点および昇華点が低いカーボン以外の不純物を極力少なくすることで、安定してX線を照射させることができる。
これによれば、ホルダシャフトに発生した熱をターゲットホルダに伝達させて放熱することで、放熱が効率的に行われるようになる。
本発明によれば、カーボン材は脆い性質を有する。そのため、少なくとも固定部分となるアノード側の外壁を非磁性でホルダシャフトのカーボン材よりも高強度のカバーで覆うようにすることで、この部分で安全にホルダシャフトを固定できるようになる。
当該カバーに用いる材料としては、具体的にはチタン、あるいはホルダシャフトのカーボン材よりも高強度のグラファイト(例えば東洋炭素製高強度グラファイト)を用いることができる。
先端側ホルダシャフト14aとの連結部分には、先端側ホルダシャフト14aの内壁に段付き部14cが形成してあり、この段付き部14cにOリングシール20を介在させて気密に接続してある。
すなわち真空中であっても良熱伝導方向に沿って熱が伝達され、ターゲットホルダ15の水冷機構15aを利用して効率的に放熱するようにしてある。
なお、上記のカバー21のように先端側ホルダシャフト14aの一部を覆うのではなく、磁気レンズ17に囲まれる部分も含めた先端側ホルダシャフト14aの全体を覆うカバーとしてもよい。
例えば、上記実施例では磁気レンズ17に囲まれる先端側ホルダシャフト14aと、偏向器18に囲まれる根元側ホルダシャフト14bとに分割し、先端側ホルダシャフト14aだけをカーボン材からなるものとしたが、全体がカーボン材からなる1つのホルダシャフト14としてもよい。この場合はアノード13に近い側のホルダシャフト14端部近傍の外側に非磁性材料からなるカバー21を取り付け、図3に示した従来例と同様にフランジ19で真空チャンバ11に固定保持すればよい。
12 フィラメント(電子源)
13 アノード
14 ホルダシャフト
14a 先端側ホルダシャフト
14b 根元側ホルダシャフト
14c 段付き部
15 ターゲットホルダ
15a 水冷機構
15b X線照射窓
16 ターゲット
17 磁気レンズ
18 偏向器
19 フランジ
20 Oリングシール
21 カバー
21a カット面
B 電子ビーム
Claims (2)
- 電子ビームを発生する電子源と、該電子ビームを加速するとともに前記電子ビームを通過させる孔を有するアノードと、該アノードの孔を通過した電子ビームを通過させる通路を形成する筒状のホルダシャフトと、該ホルダシャフトの周囲に配置され前記電子ビームを収束する磁気レンズと、前記ホルダシャフトに連結されたターゲットホルダと、該ターゲットホルダ内に配置されて前記電子ビームが衝突するターゲットと、前記ターゲットホルダに配置されて前記ターゲットから発生したX線を外部に取り出すための照射窓を有するX線管であって、
前記ホルダシャフトは内壁がカーボン材で形成され、
前記カーボン材は熱異方性を有するグラファイトであり、良熱伝導方向を前記ホルダシャフトの軸方向に向けてある、X線管。 - 電子ビームを発生する電子源と、該電子ビームを加速するとともに前記電子ビームを通過させる孔を有するアノードと、該アノードの孔を通過した電子ビームを通過させる通路を形成する筒状のホルダシャフトと、該ホルダシャフトの周囲に配置され前記電子ビームを収束する磁気レンズと、前記ホルダシャフトに連結されたターゲットホルダと、該ターゲットホルダ内に配置されて前記電子ビームが衝突するターゲットと、前記ターゲットホルダに配置されて前記ターゲットから発生したX線を外部に取り出すための照射窓を有するX線管であって、
前記ホルダシャフトは内壁がカーボン材で形成され、
前記ホルダシャフトの内壁のカーボン材は、少なくともアノード側の一部の外壁を非磁性かつ前記カーボン材より高強度のカバーで覆うとともに当該カバーを介して保持される、X線管。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016184235 | 2016-09-21 | ||
JP2016184235 | 2016-09-21 | ||
PCT/JP2017/008711 WO2018055795A1 (ja) | 2016-09-21 | 2017-03-06 | X線管 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018055795A1 JPWO2018055795A1 (ja) | 2019-03-07 |
JP6652197B2 true JP6652197B2 (ja) | 2020-02-19 |
Family
ID=61690212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018540614A Expired - Fee Related JP6652197B2 (ja) | 2016-09-21 | 2017-03-06 | X線管 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10651002B2 (ja) |
EP (1) | EP3518267A4 (ja) |
JP (1) | JP6652197B2 (ja) |
KR (1) | KR102195101B1 (ja) |
CN (1) | CN109791864A (ja) |
WO (1) | WO2018055795A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11315751B2 (en) * | 2019-04-25 | 2022-04-26 | The Boeing Company | Electromagnetic X-ray control |
US11164713B2 (en) * | 2020-03-31 | 2021-11-02 | Energetiq Technology, Inc. | X-ray generation apparatus |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4736950B1 (ja) * | 1970-05-30 | 1972-09-18 | ||
JPS52124890A (en) * | 1976-04-13 | 1977-10-20 | Toshiba Corp | X-ray tube |
NL7704474A (nl) * | 1977-04-25 | 1978-10-27 | Philips Nv | Roentgenbuis. |
JPS5619855A (en) * | 1979-07-27 | 1981-02-24 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | X-ray generator |
JP2002025484A (ja) | 2000-07-07 | 2002-01-25 | Shimadzu Corp | マイクロフォーカスx線発生装置 |
CN100538984C (zh) * | 2002-04-02 | 2009-09-09 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 具有吸热件的用于产生x射线的装置 |
JP4389781B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2009-12-24 | 株式会社島津製作所 | X線発生装置 |
DE102006062454A1 (de) * | 2006-12-28 | 2008-07-03 | Comet Gmbh | Mikrofocus-Röntgenröhre |
JP4967854B2 (ja) * | 2007-06-27 | 2012-07-04 | 株式会社島津製作所 | X線管装置 |
JP5149707B2 (ja) * | 2008-06-13 | 2013-02-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線発生装置 |
US8280007B2 (en) * | 2010-10-26 | 2012-10-02 | General Electric Company | Apparatus and method for improved transient response in an electromagnetically controlled X-ray tube |
JP2012104272A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Hamamatsu Photonics Kk | X線発生装置 |
KR101738652B1 (ko) * | 2010-12-03 | 2017-05-22 | 엑실룸 에이비 | 코팅된 x-선 윈도우 |
CN103794444B (zh) * | 2012-11-02 | 2016-04-27 | 上海联影医疗科技有限公司 | 一种x射线管及其制备方法 |
US9984847B2 (en) * | 2013-03-15 | 2018-05-29 | Mars Tohken Solution Co., Ltd. | Open-type X-ray tube comprising field emission type electron gun and X-ray inspection apparatus using the same |
JP6218403B2 (ja) * | 2013-03-15 | 2017-10-25 | 株式会社マーストーケンソリューション | 電界放射型電子銃を備えたx線管及びそれを用いたx線検査装置 |
JP6326758B2 (ja) * | 2013-10-16 | 2018-05-23 | 株式会社島津製作所 | X線発生装置 |
JP2017022054A (ja) * | 2015-07-14 | 2017-01-26 | 株式会社ニコン | X線発生装置、x線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム |
US10283311B2 (en) * | 2015-08-21 | 2019-05-07 | Electronics And Telecommunications Research Institute | X-ray source |
-
2017
- 2017-03-06 EP EP17852576.2A patent/EP3518267A4/en not_active Withdrawn
- 2017-03-06 WO PCT/JP2017/008711 patent/WO2018055795A1/ja unknown
- 2017-03-06 JP JP2018540614A patent/JP6652197B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2017-03-06 US US16/335,102 patent/US10651002B2/en active Active
- 2017-03-06 CN CN201780057411.6A patent/CN109791864A/zh active Pending
- 2017-03-06 KR KR1020197007721A patent/KR102195101B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10651002B2 (en) | 2020-05-12 |
WO2018055795A1 (ja) | 2018-03-29 |
US20190237287A1 (en) | 2019-08-01 |
JPWO2018055795A1 (ja) | 2019-03-07 |
EP3518267A1 (en) | 2019-07-31 |
KR20190040265A (ko) | 2019-04-17 |
EP3518267A4 (en) | 2020-06-03 |
CN109791864A (zh) | 2019-05-21 |
KR102195101B1 (ko) | 2020-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7382862B2 (en) | X-ray tube cathode with reduced unintended electrical field emission | |
TWI307110B (en) | Method and apparatus for controlling electron beam current | |
US8401151B2 (en) | X-ray tube for microsecond X-ray intensity switching | |
US9530528B2 (en) | X-ray tube aperture having expansion joints | |
KR20140043146A (ko) | 방사선 발생장치 및 방사선 촬영장치 | |
JP6468821B2 (ja) | X線発生管、x線発生装置およびx線撮影システム | |
JP2013055041A (ja) | 放射線発生装置及び放射線撮影装置 | |
TWI723094B (zh) | X射線產生裝置、x射線產生裝置之陽極及具有x射線產生裝置之設備 | |
JP2012529151A (ja) | X線管の中で使用されるグラファイト後方散乱電子シールド | |
JP6619916B1 (ja) | X線発生管、x線発生装置およびx線撮像装置 | |
JP6652197B2 (ja) | X線管 | |
RU2481667C2 (ru) | Коллектор рассеянных электронов | |
US20150078533A1 (en) | Cooled Stationary Anode for an X-Ray Tube | |
JP5458472B2 (ja) | X線管 | |
JP2011233365A (ja) | 回転陽極型x線管及び回転陽極型x線管装置 | |
JP2004111336A (ja) | X線管 | |
JP2005243331A (ja) | X線管 | |
US8867706B2 (en) | Asymmetric x-ray tube | |
US10734186B2 (en) | System and method for improving x-ray production in an x-ray device | |
JP5370965B2 (ja) | X線管及びx線管装置 | |
JP6961452B2 (ja) | 固定陽極型x線管 | |
JP6372571B2 (ja) | X線管 | |
Tuohimaa et al. | High-intensity electron beam for liquid-metal-jet anode hard x-ray generation | |
JP2002352757A (ja) | 回転陽極型x線管装置 | |
JP2006073385A (ja) | X線管装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190820 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191010 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200106 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6652197 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |