JP2006173347A - セラミック素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 各個別電極間に対応する部位にスリット状の貫通孔を有する積層型圧電素子を製造するときは、まずセラミックグリーンシート39を成形する。続いて、グリーンシート39に対してYAGレーザ40の第2次高調波または第3次高調波のレーザ光Lを照射することで、スリット状の貫通孔の一部を構成するためのスリット孔をグリーンシート39に形成する。そして、グリーンシート39の上面に電極パターンを形成した後、電極パターンが印刷された複数のグリーンシート39を積層する。そして、セラミック積層体に対して脱バインダ及び焼成を行い、積層型圧電素子を得る。
【選択図】 図10
Description
Claims (3)
- 複数の個別電極が設けられた第1セラミックシートとコモン電極が設けられた第2セラミックシートとを積層してなり、前記各個別電極間に対応する部位に積層方向に対して貫通する貫通孔を有するセラミック素子の製造方法であって、
前記第1セラミックシート及び前記第2セラミックシートを用意する工程と、
前記第1セラミックシートに前記複数の個別電極を形成すると共に、前記第2セラミックシートに前記コモン電極を形成する工程と、
前記第1セラミックシート及び前記第2セラミックシートにレーザ光を照射することで、前記貫通孔の一部を構成するための孔部を前記第1セラミックシート及び前記第2セラミックシートに形成する工程と、
前記個別電極及び前記孔部が形成された前記第1セラミックシートと前記コモン電極及び前記孔部が形成された前記第2セラミックシートとを積層して、前記貫通孔を有するセラミック積層体を形成する工程と、
前記セラミック積層体を焼成する工程とを含むことを特徴とするセラミック素子の製造方法。 - 前記第1セラミックシート及び前記第2セラミックシートとして、鉛を含有するセラミック材料で形成されたシートを用い、
前記第1セラミックシート及び前記第2セラミックシートに対し、YAGレーザの第2次高調波または第3次高調波のレーザ光を照射して前記孔部を形成することを特徴とする請求項1記載のセラミック素子の製造方法。 - 前記YAGレーザの第2次高調波または第3次高調波のレーザ光をQスイッチングにより繰り返し発振させて照射することを特徴とする請求項2記載のセラミック素子の製造方法。
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