JP2006171157A - 光導波装置、光導波モジュール及び光・電気複合デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 シリコン基体2に、互いに屈折率の異なるシリコン酸化膜によって形成されたコア3及びクラッド4a、4bからなる光導波層5が設けられ、前記クラッドとしての前記シリコン酸化膜の屈折率が、コア3としての前記シリコン酸化膜の屈折率より小さい、光導波装置1。光導波層5と、この光導波層5の一部分を除去して設けられた凹部10内に成膜された受光素子構成層9とがシリコン基体2に設けられている、光導波モジュール8。本発明の光導波モジュール8において、光導波層5及び受光素子9を含むシリコン基体2上に、絶縁膜16を介して半導体層17が接合されている、光・電気複合デバイス14。
【選択図】 図1
Description
シリコンは近赤外より短い波長で透明である性質を有している。この特性を利用し、シリコン基板を自由空間光伝送部及びインターポーザーとして用い、光伝送を行う方式である。この構造は、シリコン基板上にVCSEL等の発光素子及びそのドライバと、フォトディテクター等の受光素子及びそのドライバとをマウントした簡単な構造であり、シリコンの屈折率が3.0程度であるため、界面(空気:屈折率1)での光の透過は非常に小さい。また、自由空間光伝送部であるシリコン基板上に、CMOS(Complimentary Metal Oxide Semiconductor)プロセスによってLSIを形成することが提案されている(例えば、後記の特許文献1参照。)。
このシステムは主にクロック信号の送受信に用いられるものであり、LSIチップ内に導波路及びフォトダイオードを混載し、レーザーによって外部から光信号を供給するものである。クロック信号の送受信を目的としているため、送信側のレーザーには一定周期で発信されるモードロックレーザーが使用される。導波路形成については様々な方法が採用されており、下記にいくつかの例を説明する。
これは、LSI配線形成後の最上層に導波路を設ける方法である。例えば、LSIチップで使用される層間膜材料よりも屈折率の大きい材料によって導波路を形成し、シリコン基板とのコンタクト部にフォトディテクターを設ける構造が提案されている(例えば、後記の特許文献2参照。)。光は、LSIチップの上部からパルス供給させるシステムである。また、シリコン基板上にガリウムヒ素(GaAs)系受発光素子を形成し、その上にLSI配線及び縦方向光導波層を形成し、更に最上層にミラーを含む横方向導波路を形成してなる光配線システムも提案されている。この場合、光信号は、シリコン基板に設けられた発光素子からLSIチップ上方に向かって発せられ、配線形成された層間膜内の導波路を通り、最上層の導波路に到達する。最上層の導波路には反射ミラーが設置されており、そのミラーにより、光信号は最上層の導波路を横方向に伝送される。伝送された光は、別のミラーに反射され、層間膜内の導波路を下方に進行し、シリコン基板上に形成された受光素子に入射される。
半導体基板上又は内部に導波路を設ける構造として最もポピュラーな構造は、コア部にシリコンを用い、クラッド部にシリコン酸化膜を用いた構造である(例えば、後記の特許文献3参照。)。シリコンとしては、ポリシリコン、シングルクリスタルシリコン、アモルファスシリコンが用いられる。このようなシリコン/シリコン酸化膜構造の導波路はクラッドにシリコン酸化膜を用いているので、SOI(silicon on insulator)と併用して使用することが多い。
ある周期的な誘電体構造では、格子の一定の方向について電磁(光)放射の伝搬が禁じられている。これらの構造は、フォトバンドギャップ構造として知られている。シリコン基板は、単結晶でありかつ大きな誘電体定数を有しているので、このフォトバンドギャップ構造を適用するのに適した材料である。このような構造はリソグラフィーとエッチングで形成可能であり、材料特性と伝送する波長により、その加工形状、レイアウト、及びスケールが決定される。
光は電気のように損失なく伝送方向を自由に変えることは困難である。そこで、エバネッセント光を用いて光の伝送方向を自由に変える方法が提案されている。なお、エバネッセント光とは導波路から漏洩(染み出し)した光である。この方法では、導波路内において、変更させたい伝送方向へエバネッセント光を染み出させるような構造を有している。導波路の形態については、コア部にシリコンを用い、クラッドにシリコン酸化膜を用いる構造が一般的である。また、SOI構造の基板を用いることにより、光の遮蔽効果及びCMOS等とのインテグレーションも可能である。
これはシリコン半導体を用いた光の変調方式である。シリコンは電圧を印加することにより、電子及びホール濃度を変えることができる。電子及びホール濃度の変化によりクラーマース・クロニッヒの関係から波長変調することができるため、マッハツェンダー変調器との併用により、信号の’0’、’1’を電圧により調整することができる。これらはシリコン上にCMOSプロセスで形成できるので、CMOS等のLSIと光デバイスを一つのチップ上に形成することが可能である。
シリコン基板に発光素子を設けることにより、クロック信号だけでなく、データ信号も送受信することが可能である。この方法では、別途作製された発光素子をシリコン基板にマウントする方法とシリコン基板内にCMOSプロセスで発光素子を形成する方法がある。後者については以下のようなものが開発されている。
シリコンは間接遷移型半導体であるため、発光し難い材料である。このような材料では、結晶サイズを小さくすることによって、バンド端発光させることができる。シリコンもナノレベルまで結晶サイズを小さくすることにより、発光することが確認されている。更に、エルビウムのような不純物を添加することにより、サブバンドが形成され、その発光効率が向上することが知られている。これらの技術を応用し、発光と受光をシリコン内で行わせることによる光電気複合配線が検討されている。
発光する材料は一般的にIII−V族やII−VI族の半導体化合物である。それら材料の格子定数はシリコンのそれと大きく異なり、いくらシリコン上の表面をクリーンな状態にしても、格子定数ミスマッチによりヘテロエピタキシャルしない。そのため、格子定数ミスマッチを補完するためにバッファー層を設ける方法が用いられている。例えは、ガリウムヒ素(GaAs)はSTO(SrTiO)をバッファー層として用い、窒化ガリウム(GaN)は炭化シリコン(SiC)をバッファー層として用いるとヘテロエピタキシャル成長することが報告されている。
(2)通常、LSIチップにおける各ブロックはシーケンシャルに動作しているので、同期を取る必要があり、それをクロック信号によって行っている。各ブロックへのクロック信号到達時間差を一般にスキュー(skew)と呼んでおり、スキューを低減することが必要である。
(3)電気・電磁波・光は電磁波であるため、伝送ライン間に相互作用を及ぼす。この相互作用をクロストークと呼んでいる。クロストークにより信号にノイズが重畳される可能性がある。
配線層数の増大により工程数が増加し、プロセスコストの上昇及び歩留りの低下が予想される。また、脆弱な低誘電率層間膜の更なる積層化、かつ、逆ヒエラルキー構造配線の加速による上層配線の厚膜化が半導体ウエハに対して大きなストレスを印加させる。そのため、ストレスマイグレーション(SM)による配線信頼性不良や層間膜のクラック等の欠陥発生確率が高くなる。
ブロック間の伝送は比較的長い配線であるため、配線抵抗による電圧効果を生じる。特に高周波になると配線のインダクタンス成分jwLの影響が大きくなる。そのため、電圧降下を見据えて電源電圧を増大させたり、電圧降下を回復するために配線の途中にアンプを増設する等の対応を行っているが、いずれも消費電力が増大する方向である。
インピーダンスマッチングを考慮した配線設計、ジッター/クロストーク/スキュー等を考慮した配線設計及び各ブロックの配置設計を、伝送周波数、デザインルール、製品ごとに再設計する必要がある。少量多品種といわれるシステムLSIでは短TAT(turn around time)を要求されるため、このような設計の複雑さは、最悪の場合、営業機会を失う可能性がある。
(1)上述した電気伝送と同様にして、アンテナ効果による電磁波ノイズ
(2)電磁波発生源及び受信源であるアンテナ形成
図1は、本発明に基づく光導波装置の概略図である。
図5は、本発明に基づく光導波モジュールの概略斜視図である。
本発明に基づく光導波モジュールは、LSIとの融合に有効である。本発明に基づく光導波モジュールはシリコン基体で形成されているため、LSIとの融合についてはそれほど困難ではない。即ち、SOI(silicon on insulator)構造を形成することにより、LSIとの融合が容易に形成できる。
4b…上部クラッド、5…光導波層、6…マスク、7…凹条部、8…光導波モジュール、9…受光素子、10…凹部、11…p型半導体層、12…真性半導体層、
13…n型半導体層、14…光・電気複合デバイス、15…光入射手段、
16…絶縁膜(シリコン酸化膜)、17…半導体層(アクティブシリコン層)、
18…集積回路、19…貫通電極(光電変換信号線)、20…絶縁膜、21…ブロック、22…貫通孔
Claims (16)
- シリコン基体に、互いに屈折率の異なるシリコン酸化膜によって形成されたコア及びクラッドからなる光導波層が設けられ、前記クラッドとしての前記シリコン酸化膜の屈折率が、前記コアとしての前記シリコン酸化膜の屈折率より小さい、光導波装置。
- 前記シリコン基体に形成された凹条部の内壁面に屈折率の小さい下部クラッドが設けられ、この下部クラッドの内側に屈折率の大きい前記コアが充填され、更にこのコアが屈折率の小さい上部クラッドによって被覆されている、請求項1に記載した光導波装置。
- 前記凹条部以外には前記上部クラッドが設けられておらず、この上部クラッドと前記シリコン基体とが同一面内に存在している、請求項2に記載した光導波装置。
- 電解酸化法、酸素のイオン注入で表面層を酸素リッチ化する方法、酸素プラズマ処理法、常圧低温化学的気相成長法によって燐を添加したシリコン酸化膜形成法、又は無機塗布系のシリカ(二酸化珪素)材料を用いる方法によって、前記クラッドとしての前記シリコン酸化膜が形成され、化学的気相成長法によって前記コアとしての前記シリコン酸化膜が形成されている、請求項1に記載した光導波装置。
- 互いに屈折率の異なるシリコン酸化膜によって形成されたコア及びクラッドからなり、前記クラッドとしての前記シリコン酸化膜の屈折率が、前記コアとしての前記シリコン酸化膜の屈折率より小さい光導波層と、この光導波層の一部分を除去して設けられた凹部内に成膜された受光素子構成層とがシリコン基体に設けられている、光導波モジュール。
- 前記凹部内に、第1導電型の半導体層と、この第1導電型とは逆導電型の半導体層とが積層されて受光素子が構成されている、請求項5に記載した光導波モジュール。
- 受光素子の電極が、前記光導波層から外れた位置に形成されている、請求項5に記載した光導波モジュール。
- 前記凹部内にその底部及び上部の少なくとも一部を除いて前記クラッドが設けられ、このクラッドの内側に前記受光素子が配され、この受光素子の一方の電極が前記底部から取り出され、他方の電極が前記上部から取り出される、請求項6に記載した光導波モジュール。
- 前記光導波層の光入射位置に、前記光導波層に光を入射させる光入射手段が設置される、請求項5に記載した光導波モジュール。
- 前記シリコン基体に形成された凹条部の内壁面に屈折率の小さい下部クラッドが設けられ、この下部クラッドの内側に屈折率の大きい前記コアが充填され、更にこのコアが屈折率の小さい上部クラッドによって被覆されている、請求項5に記載した光導波モジュール。
- 前記凹条部以外には前記上部クラッドが設けられておらず、この上部クラッドと前記シリコン基体とが同一面内に存在している、請求項10に記載した光導波モジュール。
- 電解酸化法、酸素のイオン注入で表面層を酸素リッチ化する方法、酸素プラズマ処理法、常圧低温化学的気相成長法によって燐を添加したシリコン酸化膜形成法、又は無機塗布系のシリカ(二酸化珪素)材料を用いる方法によって、前記クラッドとしての前記シリコン酸化膜が形成され、化学的気相成長法によって前記コアとしての前記シリコン酸化膜が形成されている、請求項5に記載した光導波モジュール。
- 請求項5〜12のいずれか1項に記載した光導波モジュールにおいて、前記光導波層及び前記受光素子を含む前記シリコン基体上に、絶縁膜を介して半導体層が接合されている、光・電気複合デバイス。
- 前記絶縁膜としてシリコン酸化膜を形成したシリコン層が前記半導体層として用いられている、請求項13に記載した光・電気複合デバイス。
- 前記半導体層に集積回路が形成されている、請求項13に記載した光・電気複合デバイス。
- 前記集積回路と前記受光素子とが光電変換信号線によって接続されている、請求項15に記載した光・電気複合デバイス。
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