JP2006169590A - コーティング装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 被処理物品を支持して、少なくとも公転させる回転テーブル及び該回転テーブル上に支持される被処理物品を冷却する冷却機構を有する、蒸発源を用いたPVDによるコーティング装置であって、回転テーブルに支持される被処理物品を従来より確実に冷却することができ、冷却機構の設計の自由度が従来より大きいコーティング装置を提供する。さらに、メインテナンスの容易なコーティング装置を提供する。
【解決手段】回転テーブル42上に支持される被処理物品Wに臨むように該テーブル42上に冷却部5を搭載し、冷却部5の冷媒循環通路51には、テーブル42とは分離されたコネクタ部CCを介して冷媒を循環させる。冷却部5を搭載した回転テーブル42は、真空容器2に対し搬入搬出可能の可動テーブル40に支持させる。或いは、真空容器壁の一部(例えば底壁)であって、容器本体に対し着脱可能の部分に設置する。
【選択図】図1
Description
物品を支持して自転させる軸中にも冷媒通路を設けた冷媒機構は、構造が複雑であり、冷却機構の設計の自由度が低い。
(1)第1のコーティング装置
真空容器内で被処理物品を支持して、少なくとも公転させる回転テーブル及び該回転テーブル上に支持される被処理物品を冷却する冷却機構を有する、蒸発源を用いたPVDによるコーティング装置であり、該冷却機構は冷却部を含んでおり、該冷却部は、冷媒循環通路を有し、前記回転テーブル上に支持される被処理物品に臨むように該回転テーブル上に搭載されており、前記冷却部の冷媒循環通路には、前記回転テーブルとは分離されたコネクタ部を介して冷媒を循環させることができるコーティング装置。
コネクタ部の代表例として、途中部位で接続分離可能であり、且つ、該冷却部の回転テーブルへの随転を許しつつ冷媒循環を可能にするものを挙げることができる。
真空容器内で被処理物品を支持して、少なくとも公転させる回転テーブル及び該回転テーブル上に支持される被処理物品を冷却する冷却機構を有する、蒸発源を用いたPVDによるコーティング装置であり、該冷却機構は冷却部を含んでおり、該冷却部は、冷媒循環通路を有し、前記回転テーブル上に支持される被処理物品に臨むように該回転テーブル上に搭載されており、前記冷却部の冷媒循環通路には、前記回転テーブルの回転軸に設けた冷媒循環通路が接続されており、該回転軸の冷媒循環通路には、該回転軸の回転を許しつつ冷媒循環を可能にするロータリジョイントを介して冷媒を循環させるコーティング装置。
真空容器内で中空被処理物品を支持して、少なくとも公転させる回転テーブル及び該回転テーブル上に支持される被処理物品を冷却する冷却機構を有する、蒸発源を用いたPVDによるコーティング装置であり、該冷却機構は、被処理物品の中空部に挿入配置され、前記回転テーブルの回転に伴って公転する冷却部を含んでおり、該冷却部は、冷媒循環通路を有し、該冷却部の冷媒循環通路には、前記回転テーブルの回転軸に設けた冷媒循環通路が接続されており、該回転軸における冷媒循環通路には、該回転軸の回転を許しつつ冷媒循環を可能にするロータリジョイントを介して冷媒を循環させるコーティング装置。
すなわち、被処理物品が冷却部に相対的に回転可能に嵌合されるとともに回転テーブルに回転可能に支持された物品支持体にて支持されるようにし、該物品支持体には遊星歯車を設け、該遊星歯車に前記可動テーブル或いは前記容器壁の一部に設けた太陽歯車を噛合させるのである。
<図1から図3に示すコーティング装置A>
図1は本発明に係るコーティング装置の1例を上方からみて、且つ、一部を断面で示す図である。図2は図1に示すコーティング装置を側方からみて、且つ、一部を断面で示す図である。なお、図2においては、後述する蒸発源1をブロック化して示してあり、排気装置22は図示を省略している。
真空容器2は、図1に示すように、側壁20を有しており、側壁20は、開くことができ、また気密に閉じることができる、開閉可能なものである。側壁20を開くことで、可動テーブル40を容器2に対し搬入搬出できる。
冷却部5内には冷媒循環通路51が形成されており、該通路にはコネクタ部CC介して図示省略の冷媒供給循環装置にて冷媒(例えば水)が供給循環せしめられる。
冷却部5は、回転テーブル42に立設された支持軸43にて支持される被処理物品(本例では中空物品)Wの全体に臨むサイズのものである。
ロータリジョイント50は、テーブル42の回転に伴う冷却部5の回転を許しつつ、冷却部5の冷媒循環通路51に冷媒を循環させることを可能とするもので、それ自体は既に知られているものでよいが、ここでは、図3に示すものを採用している。
これら、冷却部5、コネクタ部CCは冷却機構を構成している。
まず、テーブル42に立設された物品支持軸43に中空の被処理物品Wを挿入配置し、真空容器2及びダクト3内から排気し、それらを成膜圧力(コーティング圧力)まで減圧する。
そして、モータDの駆動により回転テーブル42を回転させることで、各物品支持軸43を公転させつつ自転させ、それにより各物品Wを公転させつつ自転させる。
また、テーブル42とともに回転する冷却部5にコネクタ部CCを介して冷媒(例えば水)を循環させ、各物品Wを全体的に均一に冷却する。
蒸発源1において生成された前記プラズマは磁場形成コイル31により形成されたダクト内磁場により集束し、その後被成膜物体への膜形成のために適度に広がり、イオン化されたカソード材料が物品Wへ向け飛翔し、かくしてカソード材料に基づく、或いはカソード材料と導入されるガスとに基づく薄膜が各物品Wの表面に形成される。
この場合には、例えば真空容器2の天井壁を開閉できる構成とし、可動テーブル40の搬入搬出時には該天井壁を開いて冷却部5を取り出しおけばよい。
図4は本発明に係るコーティング装置の他の例を上方からみて、且つ、一部を断面で示す図である。図5は図4に示すコーティング装置を側方からみて、且つ、一部を断面で示す図である。これら図においては、蒸発源1をブロック化して示してあり、図5では排気装置22は図示を省略している。
すなわち、装置Bにおいては、回転テーブル42は、該テーブルに固設されたテーブル回転軸41’の部分で、軸受401’を介してテーブル40’に回転可能に支持されている。テーブル40’は電気絶縁性部材7を介して真空容器2の底壁27上に設置されている。 回転テーブル42に立設した物品支持軸43を自転させるための太陽歯車43gは該テーブル40’に設けられている。
図6は本発明に係るコーティング装置の他の例を上方からみて、且つ、一部を断面で示す図である。図7は図6に示すコーティング装置を側方からみて、且つ、一部を断面で示す図である。これら図においては、蒸発源1をブロック化して示してあり、図7では排気装置22は図示を省略している。
装置Cでは、装置Bにおける物品支持軸43に代えて、物品支持体43’を採用している。各物品支持体43’は、軸受421で回転テーブル42に回転可能に支持されており、テーブル42の下方へ突出した部分には遊星歯車43gを設けてあり、この遊星歯車43gは太陽歯車40gに噛み合っている。太陽歯車40gは装置Bの場合と同様に、真空容器2の着脱可能の底壁27に絶縁部材7’を介して設置されたテーブル40’に設けてある。
各冷却部5’は、被処理物品Wをその中空部で嵌めることができる縦長棒状のもの、換言すれば、該物品中空部に挿入配置できる縦長棒状のもので、物品Wの中空部に挿入配置されることで該物品に全体的に臨むことができる。
回転軸41”の冷媒循環通路には、装置Bの場合と同様に、該回転軸の回転を許しつつ冷媒循環を可能にするロータリジョイント50’を介して冷媒が循環せしめられる。
ロータリジョイント50’の雄部501’に継ぎ手411を介して回転テーブル駆動モータDを接続してある。
1 蒸発源
11 カソード
111 カソード蒸発面
12 トリガー電極
13 アーク放電用電源
14 絶縁部材
15 抵抗
3 ダクト
30 カソード装着部
AN アノード
31 磁場形成用コイル
32 コイル電源
2 真空容器
20 容器側壁
27、270 容器底壁
21 ガス導入部
22 排気装置
42 回転テーブル
43 物品支持軸
43’ 物品支持体
43g 遊星歯車
40g 太陽歯車
W 被処理物品
41、41’、41” 回転テーブル42の回転軸
401、421、401’、28 軸受
40 可動テーブル
R 車輪
40’ テーブル
7、7’電気絶縁性部材
DS、DS’ 気密シール部材
D 回転テーブル駆動モータ
411 継ぎ手
5、5’ 冷却部
51、51’冷媒循環通路
CC コネクタ部
50、50’ ロータリジョイント
501、501’ 雄部
a1 冷媒供給通路
b1 冷媒戻し通路
502、502’ 雌部
ag、bg 雌部502の内周溝
a2、b2 冷媒通路
PJ 管継ぎ手
500 冷却部支持アーム
Claims (17)
- 真空容器内で被処理物品を支持して、少なくとも公転させる回転テーブル及び該回転テーブル上に支持される被処理物品を冷却する冷却機構を有する、蒸発源を用いたPVDによるコーティング装置であり、該冷却機構は冷却部を含んでおり、該冷却部は、冷媒循環通路を有し、前記回転テーブル上に支持される被処理物品に臨むように該回転テーブル上に搭載されており、前記冷却部の冷媒循環通路には、前記回転テーブルとは分離されたコネクタ部を介して冷媒を循環させることができることを特徴とするコーティング装置。
- 前記該コネクタ部は、途中部位で接続分離可能であり、且つ、前記冷却部の回転テーブルへの随転を許しつつ冷媒循環を可能にするものである請求項1記載のコーティング装置。
- 前記冷却部を搭載した回転テーブルは、前記真空容器に対し搬入搬出可能の可動テーブルに回転可能に支持されている請求項1又は2記載のコーティング装置。
- 前記回転テーブルは、接続分離可能の継ぎ手を介して回転駆動部により回転駆動される請求項3記載のコーティング装置。
- 前記冷却部を搭載した回転テーブルは、前記真空容器を構成する容器壁の一部であって、該真空容器本体に対し着脱可能の部分に設置されている請求項1又は2記載のコーティング装置。
- 真空容器内で被処理物品を支持して、少なくとも公転させる回転テーブル及び該回転テーブル上に支持される被処理物品を冷却する冷却機構を有する、蒸発源を用いたPVDによるコーティング装置であり、該冷却機構は冷却部を含んでおり、該冷却部は、冷媒循環通路を有し、前記回転テーブル上に支持される被処理物品に臨むように該回転テーブル上に搭載されており、前記冷却部の冷媒循環通路には、前記回転テーブルの回転軸に設けた冷媒循環通路が接続されており、該回転軸の冷媒循環通路には、該回転軸の回転を許しつつ冷媒循環を可能にするロータリジョイントを介して冷媒を循環させること特徴とするコーティング装置。
- 前記冷却部を搭載した回転テーブルは、前記真空容器に対し搬入搬出可能の可動テーブルに回転可能に支持されている請求項6記載のコーティング装置。
- 前記回転テーブルは、接続分離可能の継ぎ手を介して回転駆動部により回転駆動される請求項7記載のコーティング装置。
- 前記冷却部を搭載した回転テーブルは、前記真空容器を構成する容器壁の一部であって、該真空容器本体に対し着脱可能の部分に設置されている請求項6記載のコーティング装置。
- 前記被処理物品は前記回転テーブルに回転可能に立設した物品支持軸にて支持され、該物品支持軸には遊星歯車を設けてあり、該遊星歯車に前記可動テーブルに設けた太陽歯車が噛合している請求項3、4、7又は8に記載のコーディング装置。
- 前記被処理物品は前記回転テーブルに回転可能に立設した物品支持軸にて支持され、該物品支持軸には遊星歯車を設けてあり、該遊星歯車に前記容器壁の一部に設けた太陽歯車が噛合している請求項5又は9に記載のコーディング装置。
- 真空容器内で中空被処理物品を支持して、少なくとも公転させる回転テーブル及び該回転テーブル上に支持される被処理物品を冷却する冷却機構を有する、蒸発源を用いたPVDによるコーティング装置であり、該冷却機構は、被処理物品の中空部に挿入配置され、前記回転テーブルの回転に伴って公転する冷却部を含んでおり、該冷却部は、冷媒循環通路を有し、該冷却部の冷媒循環通路には、前記回転テーブルの回転軸に設けた冷媒循環通路が接続されており、該回転軸における冷媒循環通路には、該回転軸の回転を許しつつ冷媒循環を可能にするロータリジョイントを介して冷媒を循環させることを特徴とするコーティング装置。
- 前記回転テーブルは前記冷却部とともに、前記真空容器に対し搬入搬出可能の可動テーブルに回転可能に支持されている請求項12記載のコーティング装置。
- 前記回転テーブルは、接続分離可能の継ぎ手を介して回転駆動部により回転駆動される請求項13記載のコーティング装置。
- 前記回転テーブルは前記冷却部とともに、前記真空容器を構成する容器壁の一部であって、該真空容器本体に対し着脱可能の部分に設置されている請求項12記載のコーティング装置。
- 前記被処理物品は前記冷却部に相対的に回転可能に嵌合されるとともに前記回転テーブルに回転可能に支持された物品支持体にて支持されるようになっており、該物品支持体には遊星歯車が設けてあり、該遊星歯車に前記可動テーブルに設けた太陽歯車が噛合している請求項13又は14記載のコーティング装置。
- 前記被処理物品は前記冷却部に相対的に回転可能に嵌合されるとともに前記回転テーブルに回転可能に支持された物品支持体にて支持されるようになっており、該物品支持体には遊星歯車が設けてあり、該遊星歯車に前記容器壁の一部に設けた太陽歯車が噛合している請求項15記載のコーティング装置。
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