CN108193185A - 一种夹具冷却装置及纳米材料制作设备 - Google Patents

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Abstract

一种夹具冷却装置及纳米材料制作设备，通过在转轴中设有内腔及外腔，在夹具中设有冷却通道，上冷却管道连通冷却通道的上端与转轴的内腔，下冷却管道连通冷却通道的下端及转轴的外腔，接头件与转轴转动连接，通过接头件进水，水流经夹具及转轴后经接头件排出，如此可冷却工件及夹具、提高工件质量及延长夹具的使用寿命。

Description

一种夹具冷却装置及纳米材料制作设备
技术领域
本发明涉及纳米材料制作领域，特别是一种夹具冷却装置及纳米材料制作设备。
背景技术
溅射法制作纳米材料的方式有：磁控溅射、偏压溅射及反应溅射等。其中磁控溅射的原理为：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，该区域内等离子体密度很高，二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动。
磁控溅射制作纳米材料可用来对放置在基材上的工件，如轴瓦，进行镀膜。基材与工件放置于真空室中，镀膜前需要对真空室进行加热，用灯丝发出离子对工件进行清洗，得到较佳的镀膜效果。过高的温度会导致轴瓦损毁，影响工件的质量及夹具的使用寿命。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种可对工件及夹具进行散热、提高工件质量及延长夹具使用寿命的夹具冷却装置及纳米材料制作设备，以解决上述问题。
一种夹具冷却装置，包括夹具转盘、若干垂直设置于夹具转盘上的夹具、转盘驱动机构、转轴及冷却机构，所述转盘驱动机构驱动夹具转盘转动，所述冷却机构包括下冷却管道、上冷却管道及接头件，所述转轴穿过夹具转盘的中部并具有相互隔绝的内腔及外腔，所述夹具中设有冷却通道，上冷却管道连通冷却通道的上端与转轴的内腔，下冷却管道连通冷却通道的下端及转轴的外腔，接头件与转轴转动连接，所述接头件上设有进水端及出水端。
进一步地，所述转盘驱动机构的输出端设有驱动齿轮，转盘驱动机构的下侧面设有从动齿轮，转盘驱动机构的驱动齿轮与转盘驱动机构的从动齿轮啮合。
进一步地，所述转轴的外侧壁与接头件的内侧壁之间设有至少一个密封圈。
进一步地，所述进水端与外腔连通，出水端与内腔连通。
进一步地，所述进水端与内腔连通，出水端与外腔连通。
进一步地，所述夹具的截面呈弧形或半圆环型。
进一步地，所述夹具包括主体及张紧件，所述张紧件连接主体的两端，用
于调节主体的张紧度。
一种纳米材料制作设备，具有如上所述的夹具冷却装置。
与现有技术相比，本发明的夹具冷却装置及纳米材料制作设备通过在转轴中设有内腔及外腔，在夹具中设有冷却通道，上冷却管道连通冷却通道的上端与转轴的内腔，下冷却管道连通冷却通道的下端及转轴的外腔，接头件与转轴转动连接，通过接头件进水，水流经夹具及转轴后经接头件排出，如此可冷却工件及夹具、提高工件质量及延长夹具的使用寿命。
附图说明
以下结合附图描述本发明的实施例，其中：
图1为本发明提供的夹具冷却装置的剖视图。
图2为图1中的转轴的截面示意图。
图3为图1中A部分的放大示意图。
图4为图1中的俯视图。
图5为图4中B部分的放大示意图。
具体实施方式
以下基于附图对本发明的具体实施例进行进一步详细说明。应当理解的是，此处对本发明实施例的说明并不用于限定本发明的保护范围。
请参考图1，其为本发明提供的一种夹具冷却装置，包括夹具转盘110、若干垂直设置于夹具转盘110上的夹具120、转盘驱动机构130、转轴150及冷却机构。
冷却机构包括下冷却管道143、上冷却管道144及接头件160。
转盘驱动机构130的输出端设有驱动齿轮132，转盘驱动机构130的下侧面设有从动齿轮112，转盘驱动机构130的驱动齿轮132与转盘驱动机构130的从动齿轮112啮合，当转盘驱动机构130转动时将带动夹具转盘110转动。
转轴150穿过夹具转盘110的中部。
请参考图2，从转轴150的截面图可以看出，转轴150内具有相互隔绝的内腔151及外腔152，外腔152包围内腔151。
请再次参考图1，夹具120靠近下端的位置通过下冷却管道143与转轴150的外腔152连通，夹具120靠近上端的位置通过上冷却管道144与转轴150的内腔151连通。
请参考图3，接头件160与转轴150的底部连接，接头件160对应转轴150也设有内腔和外腔，且分别与转轴150的内腔151及外腔152连通。本实施方式中，接头件160与转轴150转动连接，在转轴150的外侧壁与接头件160的内侧壁之间设有至少一个密封圈153。
接头件160上设有与其外腔连通的进水端161及与其内腔连通的出水端162。
请参考图4及图5，夹具120的截面呈弧形或半圆环型，包括主体121及张紧件122，夹具120用于夹取工件，张紧件122连接主体121的两端以调节主体121的张紧度。
主体121中沿轴向设有冷却通道145，冷却通道145的上端与上冷却管道144连通，下端与下冷却管道143连通。
工件在清洗及镀膜的过程中，冷却水从接头件160的进水端161进入到转轴150的外腔152，流经下冷却管道143、夹具120、上冷却管道144后进入转轴150的内腔151，最后通过接头件160的出水端162流出，实现对工件及夹具120的冷却散热，实现边镀膜边散热，水流方向如图1的箭头所示。
其他实施方式中，水流方向也可反向设置，即进水端161与内腔连通，出水端162与外腔连通。
本发明还提供一种具有上述夹具冷却装置的纳米材料制作设备。
与现有技术相比，本发明的夹具冷却装置及纳米材料制作设备，通过在转轴150中设有内腔151及外腔152，在夹具120中设有冷却通道145，上冷却管道144连通冷却通道145的上端与转轴150的内腔151，下冷却管道143连通冷却通道145的下端及转轴150的外腔152，接头件160与转轴150转动连接，通过接头件160进水，水流经夹具120及转轴150后经接头件160排出，如此可冷却工件及夹具120、提高工件质量及延长夹具120的使用寿命。
以上仅为本发明的较佳实施例，并不用于局限本发明的保护范围，任何在本发明精神内的修改、等同替换或改进等，都涵盖在本发明的权利要求范围内。

Claims (8)

1.一种夹具冷却装置，其特征在于：所述夹具冷却装置包括夹具转盘、若干垂直设置于夹具转盘上的夹具、转盘驱动机构、转轴及冷却机构，所述转盘驱动机构驱动夹具转盘转动，所述冷却机构包括下冷却管道、上冷却管道及接头件，所述转轴穿过夹具转盘的中部并具有相互隔绝的内腔及外腔，所述夹具中设有冷却通道，上冷却管道连通冷却通道的上端与转轴的内腔，下冷却管道连通冷却通道的下端及转轴的外腔，接头件与转轴转动连接，所述接头件上设有进水端及出水端。
2.如权利要求1所述的夹具冷却装置，其特征在于：所述转盘驱动机构的输出端设有驱动齿轮，转盘驱动机构的下侧面设有从动齿轮，转盘驱动机构的驱动齿轮与转盘驱动机构的从动齿轮啮合。
3.如权利要求1所述的夹具冷却装置，其特征在于：所述转轴的外侧壁与接头件的内侧壁之间设有至少一个密封圈。
4.如权利要求1所述的夹具冷却装置，其特征在于：所述进水端与外腔连通，出水端与内腔连通。
5.如权利要求1所述的夹具冷却装置，其特征在于：所述进水端与内腔连通，出水端与外腔连通。
6.如权利要求1所述的夹具冷却装置，其特征在于：所述夹具的截面呈弧形或半圆环型。
7.如权利要求6所述的夹具冷却装置，其特征在于：所述夹具包括主体及张紧件，所述张紧件连接主体的两端，用于调节主体的张紧度。
8.一种纳米材料制作设备，其特征在于：具有如上述权利要求1-7任一项所述的夹具冷却装置。
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