JP2006162285A - 半導体集積回路のテスト装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体集積回路のテスト装置2は、HC18から送信されるテストプログラムを、テスト条件設定データとテスト回路構築データとに分けて、DRAM22とフラッシュメモリ23とにそれぞれ記憶し、テスト回路構築データに基づいて、FPGA13に所望のテスト回路19を構築し、テスト条件設定データに基づいて、検査波形信号生成回路30により検査波形信号を生成してこれをDUT20に出力し、検査波形信号に対してDUT20で出力される出力波形信号と理論値とを比較回路31で比較してDUT20の動作の良否を判定し、判定結果をHC18に送信する。
【選択図】 図1
Description
11 CPU
12 メモリモジュール
13 FPGA(プログラマブルデバイス)
14 電圧/電流印加・測定装置(PMU)
15 電源供給回路(DPS)
16 ピンエレクトロニクスドライバ(PE)およびマルチプレクサ(MPX)
17 インターフェイス
18 ホストコンピュータ(HC)
19 テスト回路
20 半導体集積回路(DUT)
22 DRAM
23 フラッシュメモリ
24 SRAM
30 検査波形信号生成回路
31 比較回路
32 テスト条件設定用レジスタ
Claims (7)
- ホストコンピュータから送信される被テスト半導体集積回路のテストプログラムを記憶するメモリと、
前記メモリから前記テストプログラムを読み出して、前記被テスト半導体集積回路の動作を検証するためのテスト回路を構築するプログラマブルデバイスと、
前記ホストコンピュータとの信号の入出力を媒介するPCインターフェイスと、
前記被テスト半導体集積回路の複数の入出力端子との信号の入出力を媒介するピンエレクトロニクスドライバとを備え、
前記メモリは、前記被テスト半導体集積回路の全てのテスト項目を実行可能なテスト回路を構築するためのテスト回路構築データと、前記被テスト半導体集積回路の全てのテスト項目毎のテスト条件を設定するテスト条件設定データとに分けて前記テストプログラムを記憶する構成を有するとともに、
前記テスト回路は、前記テスト回路構築データの供給を受けて、前記プログラマブルデバイス上に少なくとも複数のテスト項目を実施可能なように形成され、
さらに、前記テスト回路は、前記テスト条件設定データの供給を受けて、少なくとも発生タイミング、極性、電圧値、電流値を可変とする任意の検査波形信号を、前記ピンエレクトロニクスドライバを介して前記被テスト半導体集積回路の任意の端子に出力することを可能とする検査波形信号生成回路と、前記検査波形信号に対して前記被テスト半導体集積回路から出力される出力波形信号と理論値とを比較して、前記被テスト半導体集積回路の動作の良否を判定する比較回路と、を少なくとも含み、
さらに、前記メモリは、前記被テスト半導体集積回路のテスト項目毎に前記テスト条件設定データを前記テスト回路に送信するように構成され、
前記PCインターフェイスを介して前記比較回路による前記被テスト半導体集積回路の動作の良否の判定結果を前記ホストコンピュータに送信することを特徴とする半導体集積回路のテスト装置。 - 前記検査波形信号生成回路によって設定され、前記被テスト半導体集積回路に印加する電圧値または電流値のレベルを規定するとともに、前記被テスト半導体集積回路から出力される電圧値または電流値を測定する電圧/電流印加・測定回路を備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路のテスト装置。
- 前記プログラマブルデバイスには、前記被テスト半導体集積回路の全てのテスト項目が実行可能な前記テスト回路が構築されることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体集積回路のテスト装置。
- 前記半導体集積回路が、論理回路およびメモリを含む複数種類の回路からなる複合デバイスである場合、
前記プログラマブルデバイスには、前記複数種類の回路のうち1種類の回路用の前記テスト回路が構築されることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体集積回路のテスト装置。 - ホストコンピュータから送信される被テスト半導体集積回路のテストプログラムを記憶するメモリと、
前記メモリから前記テストプログラムを読み出して、前記被テスト半導体集積回路の動作を検証するためのテスト回路を構築するプログラマブルデバイスと、
前記ホストコンピュータとの信号の入出力を媒介するPCインターフェイスと、
前記被テスト半導体集積回路の複数の入出力端子との信号の入出力を媒介するピンエレクトロニクスドライバとを備えた半導体集積回路のテスト装置でテストを行う方法であって、
前記メモリは、前記被テスト半導体集積回路の全てのテスト項目を実行可能なテスト回路を構築するためのテスト回路構築データと、前記被テスト半導体集積回路の全てのテスト項目毎のテスト条件を設定するテスト条件設定データとに分けて前記テストプログラムを記憶するとともに、
前記テスト回路は、前記テスト回路構築データの供給を受けて、前記プログラマブルデバイス上に少なくとも複数のテスト項目を実施可能なように形成され、
さらに、前記テスト回路は、テスト条件設定データの供給を受けて、少なくとも発生タイミング、極性、電圧値、電流値を可変とする任意の検査波形信号を、前記ピンエレクトロニクスドライバを介して前記被テスト半導体集積回路の任意の端子に出力し、前記検査波形信号に対して前記被テスト半導体集積回路から出力される出力波形信号と理論値とを比較して、前記被テスト半導体集積回路の動作の良否を判定し、
さらに、前記メモリは、前記被テスト半導体集積回路のテスト項目毎に前記テスト条件設定データを前記テスト回路に送信し、
前記PCインターフェイスを介して前記比較による前記被テスト半導体集積回路の動作の良否の判定結果を前記ホストコンピュータに送信することを特徴とする半導体集積回路のテスト方法。 - 前記プログラマブルデバイスには、前記半導体集積回路の全てのテスト項目が実行可能な前記テスト回路が構築されることを特徴とする請求項5に記載の半導体集積回路のテスト方法。
- 前記半導体集積回路が、論理回路およびメモリを含む複数種類の回路からなる複合デバイスである場合、
前記プログラマブルデバイスには、前記複数種類の回路のうち1種類の回路用の前記テスト回路が構築され、
この種類の回路の全てのテスト項目を完了した後、残りの他の種類の回路用の前記テスト回路が構築されることを特徴とする請求項5に記載の半導体集積回路のテスト方法。
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