JP2006150640A - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006150640A JP2006150640A JP2004341391A JP2004341391A JP2006150640A JP 2006150640 A JP2006150640 A JP 2006150640A JP 2004341391 A JP2004341391 A JP 2004341391A JP 2004341391 A JP2004341391 A JP 2004341391A JP 2006150640 A JP2006150640 A JP 2006150640A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating head
- coating
- cleaning
- surface cleaning
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
塗布ヘッド本体の射出口面とその周縁部表面を直接触れること無く、付着している材料や異物を常に安定した作用で除去するクリーニング装置を提供する。
【解決手段】
クリーニング機構部は塗布ヘッド本体内部に材料を充填するための充填機構部と、前記塗布ヘッド本体の射出口面とその周縁部表面に付着する材料や異物を吸引除去し清掃するための面清掃機構部とからなる。面清掃機構部は塗布ヘッド射出口面とその周縁部を異なる吸引溝で清掃する。
【選択図】 図3
Description
図11に、本発明の他実施例となる塗布装置に用いるクリーニング装置の、さらに面清掃機構部S2Xの側面図を、図12に同様に上面図をそれぞれ示す。本図は、前述図3ないし図4に示す面清掃機構部S2側面に、倣い機構部70を設けたものである。本実施例における倣いとは、ステップ102ないし103(図8参照)において面清掃を実施する際、塗布ヘッド5の平行移動を利用し、面清掃の動作時のみ、面清掃機構部S2を自動的に規定の高さh2(図7参照)に維持することである。
倣い機構部は、倣い具70と、高さ固定具63a、63b、63c、63dとによって構成される。面清掃機構部S2Xにおける面清掃具40aの幅は面清掃具40b、40cを組合せたときの幅と同一である。また、面清掃具40aには両側面に、面清掃具40b、40cには一方の側面に、それぞれ嵌穴(図示しない)が設けられ、高さ固定具と嵌合うようになっている。本実施例での高さ固定具と嵌穴は、例えばボルトとボルト穴のように締付けによって固定可能なものによって構成されている。なお、この倣い具を適用しても、各面清掃具、各プランジャ、その他配管系の位置関係は、面清掃機構部S2からの変更は無い。
Claims (3)
- テーブル面上に載置された基板上に塗布液を塗布するため、塗布液を射出する複数の射出口を備え、前記射出口毎に射出圧を発生する駆動機構を備えた塗布ヘッドと、前記塗布ヘッド側に塗布ヘッド内部を洗浄する洗浄剤を供給する洗浄剤供給機構部を設け、前記塗布ヘッドの内部と射出口面とその周縁部を清掃するためのクリーニング機構部を前記テーブル側に備え、前記クリーニング機構部が、前記塗布ヘッド本体の内部に材料を充填するための充填機構部と、前記塗布ヘッド本体の射出口面とその周縁部表面に付着した塗布液や異物を除去するための面清掃機構部とからなることを特徴とする塗布装置。
- 前記面清掃機構部は、前記塗布ヘッドの射出口面と、周縁部とをそれぞれ別々に吸引清掃する吸引溝を有する複数の清掃具を備え、前記吸引溝には吸引力を可変して作用できることを特徴とする、請求項1記載の塗布装置。
- 前記面清掃機構部に、面清掃中において前記塗布ヘッド本体の射出口面と前記複数の吸引溝との距離をそれぞれ規定の高さに保つ倣い機構部を備えたことを特徴とする、請求項2に記載の塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004341391A JP4517830B2 (ja) | 2004-11-26 | 2004-11-26 | 塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004341391A JP4517830B2 (ja) | 2004-11-26 | 2004-11-26 | 塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006150640A true JP2006150640A (ja) | 2006-06-15 |
JP4517830B2 JP4517830B2 (ja) | 2010-08-04 |
Family
ID=36629508
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004341391A Expired - Fee Related JP4517830B2 (ja) | 2004-11-26 | 2004-11-26 | 塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4517830B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008023471A (ja) * | 2006-07-24 | 2008-02-07 | Hitachi Plant Technologies Ltd | ペースト塗布機及びペースト塗布方法 |
JP2009190233A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Brother Ind Ltd | 液滴吐出装置 |
JP2019519082A (ja) * | 2016-07-08 | 2019-07-04 | カティーバ, インコーポレイテッド | 誘導型輸送経路訂正 |
JP2020168786A (ja) * | 2019-04-03 | 2020-10-15 | 株式会社リコー | 吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05201026A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-08-10 | Xerox Corp | インクジェットプリンタ |
JP2001180011A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-03 | Toshiba Tec Corp | インクジェットプリンタ |
JP2002177848A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-25 | Toray Ind Inc | 塗布用ダイの清掃装置および清掃方法並びにこれを用いたカラーフィルターの製造装置および製造方法 |
JP2004202325A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
-
2004
- 2004-11-26 JP JP2004341391A patent/JP4517830B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05201026A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-08-10 | Xerox Corp | インクジェットプリンタ |
JP2001180011A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-03 | Toshiba Tec Corp | インクジェットプリンタ |
JP2002177848A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-25 | Toray Ind Inc | 塗布用ダイの清掃装置および清掃方法並びにこれを用いたカラーフィルターの製造装置および製造方法 |
JP2004202325A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008023471A (ja) * | 2006-07-24 | 2008-02-07 | Hitachi Plant Technologies Ltd | ペースト塗布機及びペースト塗布方法 |
JP2009190233A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Brother Ind Ltd | 液滴吐出装置 |
JP4509193B2 (ja) * | 2008-02-13 | 2010-07-21 | ブラザー工業株式会社 | 液滴吐出装置 |
JP2019519082A (ja) * | 2016-07-08 | 2019-07-04 | カティーバ, インコーポレイテッド | 誘導型輸送経路訂正 |
JP2020168786A (ja) * | 2019-04-03 | 2020-10-15 | 株式会社リコー | 吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
JP7243396B2 (ja) | 2019-04-03 | 2023-03-22 | 株式会社リコー | 液体を吐出する装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4517830B2 (ja) | 2010-08-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101084983B1 (ko) | 프린트헤드 유지 스테이션 | |
US5250962A (en) | Movable ink jet priming station | |
TWI647865B (zh) | Processing method of package substrate | |
US8544982B2 (en) | Liquid jet head, liquid jet recorder and method for filling liquid jet head with liquid | |
JP7014933B2 (ja) | 印刷機械 | |
JP4517830B2 (ja) | 塗布装置 | |
US10668496B2 (en) | Imprint template treatment apparatus | |
JP2011110782A (ja) | インクジェット記録装置 | |
JP2006247999A (ja) | 液体噴射装置および液体噴射装置におけるワイピング方法 | |
US20110285783A1 (en) | Liquid jetting head, liquid jetting recording apparatus, and method for filling liquid jetting head with liquid | |
KR100826073B1 (ko) | 도포장치 및 도포 헤드의 클로깅 방지방법 | |
JP4517829B2 (ja) | 塗布装置 | |
JP5179409B2 (ja) | インクジェット装置 | |
JP4169541B2 (ja) | 薄膜除去装置 | |
JP7437600B2 (ja) | 回転塗布装置 | |
JP2004255359A (ja) | 塗布装置 | |
TWI745677B (zh) | 油墨去除裝置、油墨吐出裝置及油墨去除方法 | |
JP6660525B2 (ja) | 部品装着装置および部品装着方法 | |
JP2008246953A (ja) | インクジェット記録装置 | |
JP2004113958A (ja) | 高分子膜形成装置 | |
US11807008B2 (en) | Multifunctional printhead service station with multi-axis motions | |
JP2011143543A (ja) | 液滴吐出装置 | |
KR101520939B1 (ko) | 슬릿코터 | |
JP7112884B2 (ja) | 液処理装置、液処理方法、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JPH1079334A (ja) | 半導体基板の塗布膜除去装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060509 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060823 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070216 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070222 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070216 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070820 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100223 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100407 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100427 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100510 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140528 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |