JP2006135300A - 半導体発光装置の製造方法 - Google Patents

半導体発光装置の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 簡単な構成により、発光素子からの励起光と波長変換剤による波長変換光との混色光に色ムラが発生せず、また波長変換剤が放出する熱が効率良く放熱され得るようにした半導体発光装置の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 ハウジング13上面に設けられたキャビティ13aの底面に発光素子14を配置し、上記キャビティ内に粒子状の波長変換剤を含む波長変換層15を形成する、半導体発光装置の製造方法であって、上記キャビティ内に波長変換剤を含む波長変換層を充填する工程が、まず上記キャビティ内にて、発光素子上に波長変換剤の濃度の高い第一の波長変換層16を塗布し、硬化させる段階と、次に上記キャビティ全体に波長変換剤の濃度の低い第二の波長変換層17を充填・塗布し、硬化させる段階とを含むように、半導体発光装置の製造方法を構成する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、発光素子からの光を波長変換層を介して出射させて、発光素子からの励起光と波長変換層からの波長変換光とを混合して、外部に出射するようにした半導体発光装置の製造方法に関する。
従来、このような半導体発光装置としてのLEDは、例えば特許文献1に示すように構成されている。
即ち、特許文献1によれば、図10に示すように、LED1は、二本のリードフレーム2,3と、一方のリードフレーム2の上端に形成されたキャビティ2aの底面に配置されたLEDチップ4と、キャビティ2a内にてLEDチップ4の上面位置まで充填された第一の樹脂層5及びその上に充填された第二の樹脂層6と、上記リードフレーム2,3の上端を包囲するように形成された樹脂モールド部7と、から構成されている。
そして、上記LEDチップ4は、例えば青色LEDチップであって、上記キャビティ2aの底部に載置され、ダイボンディングされると共に、他方のリードフレーム3に対して、金線等のワイヤ4aによりワイヤボンディングされることにより、双方のリードフレーム2,3に対して電気的に接続される。
ここで、上記第一の樹脂層5及び第二の樹脂層6は、光透過性樹脂に波長変換剤としての蛍光体粒子が混入されており、第一の樹脂層5における蛍光体濃度が、第二の樹脂層6の蛍光体濃度より低くなるように選定されている。
さらに、上記第一の樹脂層5及び第二の樹脂層6の蛍光体濃度は、LEDチップ4からの光が第二の樹脂層6の上面に至る光路長と蛍光体濃度との積がほぼ一定となるように分布するようになっている。
このような構成のLEDによれば、LEDチップ4から各方向に出射される光が第一及び第二の樹脂層5,6を通過する際に、ほぼ同じ量の蛍光体を通過することになる。従って、蛍光体で波長変換された光が、蛍光体を通過しない光と混色されることにより、第二の樹脂層5,6の上面にて色ムラのない均一な発光特性が得られることになる。
特開2004−111882号
ところで、このような構成のLEDにおいては、以下のような問題がある。
即ち、第一及び第二の樹脂層5,6に関して、光透過性樹脂に蛍光体粒子を混合して硬化させる場合、両者の比重の差によって、より重い蛍光体粒子が重力によって沈降することが知られている。このため、第一及び第二の樹脂層5,6のそれぞれにおいて、樹脂中の蛍光体濃度を均一にすることは不可能である。
また、キャビティ2aとLEDチップ4との間にて、光透過性樹脂に表面張力が発生することになるため、第一の樹脂層5の表面形状を一定にすることは困難である。従って、光路長と蛍光体濃度の積をほぼ一定にすることは非常に困難であるので、色ムラのない均一な発光特性を実現することは実質的にできなかった。
さらに、蛍光体が波長変換で損失したエネルギーを熱として放出するが、蛍光体の沈降密度が高くないことから、LEDチップ4自体の発熱と共に、蛍光体からの熱がLEDチップ4を介してリードフレーム2に効率良く放熱され得なくなってしまう。
このような問題は、青色LEDチップだけでなく、他の色を発光するLEDチップや他の発光素子からの光と波長変換剤の波長変換光の混色光を出射するLED等の半導体発光装置においても、同様に存在する。
また、キャビティを備えたリードフレームをインサート成形したタイプのLEDだけでなく、樹脂ハウジングに平坦なリードフレームをインサート成形し、この樹脂ハウジングの表面にキャビティを形成して、その底部にリードフレームの一部を露出させ、あるいは例えば半導体基板の上面にキャビティを形成して、このキャビティの底部から側面を介してハウジングの上面そして場合によっては下面まで回り込む導電薄膜から成る電極層を備えたタイプのLED等の半導体発光装置においても、同様である。
本発明は、以上の点から、簡単な構成により、発光素子からの励起光と波長変換剤による波長変換光との混色光に色ムラが発生せず、また波長変換剤が波長変換の損失エネルギーとして放出する熱が効率良く放熱され得るようにした半導体発光装置の製造方法を提供することを目的としている。
上記目的は、本発明の第一の構成によれば、キャビティを有するハウジングと、上記キャビティ底面に配置された発光素子と、上記キャビティ内に粒子状の波長変換剤を含んだ波長変換層と、を備える半導体発光装置の製造方法であって、上記キャビティ内に波長変換層を形成する工程が、発光素子上に第一の波長変換層を塗布し、硬化させる第一の工程と、キャビティ全体に第二の波長変換層を充填・塗布し、硬化させる第二の工程と、を含んでいることを特徴とする、半導体発光装置の製造方法により、達成される。
本発明による半導体発光装置の製造方法は、好ましくは、上記第一の波長変換層を形成する段階の前に、上記キャビティ内にて、発光素子の上面が僅かに露出する程度に、波長変換剤を含まない透明樹脂スペーサを注入し、硬化させる段階を含んでいる。
本発明による半導体発光装置の製造方法は、好ましくは、上記キャビティが上方に向かって広がるように形成されている。
本発明による半導体発光装置の製造方法は、好ましくは、上記キャビティが、下方キャビティと、上記下方キャビティの上側に外側に広がる段部を介して配置されたより広い上方キャビティとを含んでおり、上記透明樹脂スペーサの上面の外周縁が、上記段部と同じ高さに位置している。
本発明による半導体発光装置の製造方法は、好ましくは、上記第一の波長変換層が、第二の波長変換層より波長変換剤の濃度が高い。
また、上記目的は、本発明の第二の構成によれば、キャビティを有するハウジングと、上記キャビティ底面に配置された発光素子と、上記キャビティ内に粒子状の波長変換剤を含んだ波長変換層と、を備える半導体発光装置の製造方法であって、上記キャビティが、下方キャビティと、前記下方キャビティの上に外側に広がる段部を介して配置される上方キャビティを含んでなり、上記キャビティ内に波長変換層を形成する工程が、上記下方キャビティ内に、第二の波長変換層を、発光素子の上面が僅かに露出する程度に、且つ発光素子の上面から周囲に向かってすり鉢状に傾斜して、第二の波長変換層表面外周縁が上記段部の上側に位置するように、塗布し、硬化させる第一の工程と、上記キャビティ全体に第一の波長変換層を充填・塗布し、硬化させる第二の工程と、を含んでいることを特徴とする、半導体発光装置の製造方法により達成される。
また、上記目的は、本発明の第三の構成によれば、キャビティを有するハウジングと、上記キャビティ底面に配置された発光素子と、上記キャビティ内に粒子状の波長変換剤を含んだ波長変換層と、を備える半導体発光装置の製造方法であって、上記キャビティが、上方に向かって広がるように形成された下方キャビティと、上記下方キャビティの上に上記下方キャビティの上端の開口部から側壁が上方へ立ち上がるように配置される上方キャビティを含んでなり、上記キャビティ内に波長変換層を形成する工程が、上記下方キャビティ内に、第二の波長変換層を、発光素子の上面が僅かに露出する程度に、且つ、発光素子の上面から周囲に向かってすり鉢状に傾斜して、第二の波長変換層表面外周縁が上記上方キャビティ側壁に位置するように、塗布し、硬化させる第一の工程と、上記キャビティ全体に第一の波長変換層を充填・塗布し、硬化させる第二の工程と、を含んでいることを特徴とする、半導体発光装置の製造方法により達成される。
本発明による半導体発光装置の製造方法は、好ましくは、上記第一の波長変換層が、第二の波長変換層より波長変換剤の濃度が高い。
本発明による半導体発光装置の製造方法は、好ましくは、上記第二の波長変換層を塗布する際に、すり鉢状の傾斜が、上記段差形状に基づいて制御される。
本発明による半導体発光装置の製造方法は、好ましくは、上記第二の波長変換層を塗布する際に、すり鉢状の傾斜が、上記キャビティを構成する下方キャビティ及び上方キャビティの側壁形状に基づいて制御される。
本発明による半導体発光装置の製造方法は、好ましくは、上記波長変換剤が、蛍光体である。
本発明による半導体発光装置の製造方法は、好ましくは、上記発光素子に対する給電ラインが、上記ハウジング内にインサート成形され且つキャビティの底面に露出するリードフレームにより構成されている。
本発明による半導体発光装置の製造方法は、好ましくは、上記発光素子に対する給電ラインが、上記ハウジング内にインサート成形され且つキャビティを画成するリードフレームにより構成されている。
本発明による半導体発光装置の製造方法は、好ましくは、上記発光素子に対する給電ラインが、少なくとも上記ハウジング表面、キャビティ側面、キャビティ底面の何れか一箇所以上の、少なくとも一部に形成された導電層により構成されている。
上記第一の構成によれば、波長変換層の充填の際に、まずキャビティ内にて発光素子上に第一の波長変換層を塗布して硬化させた後、キャビティ全体に第二の波長変換層を充填して硬化させるので、第一の波長変換層が発光素子から上方に出射する光について波長変換することにより、波長変換剤による波長変換された光と発光素子からの光の混色光が、その上方に位置する第二の波長変換層を介して外部に出射される。
また、第二の波長変換層が発光素子から側方に出射する光について波長変換することにより、波長変換剤による波長変換された光と発光素子からの光の混色光が外部に出射される。
このようにして、発光素子から上方に出射する光のみが、第一の波長変換層を通過し、その際第一の波長変換層に含まれる波長変換剤により波長変換されることになるので、第一の波長変換層及び第二の波長変換層における波長変換剤の種類や濃度を適宜に選定することによって、例えば青色光を出射する発光素子の場合に、発光素子上部で青みがかった色になる等の色ムラの発生が抑制され、全体として色ムラのない均一な発光色の発光特性が得られることになる。
そして、第一及び第二の波長変換層の波長変換剤濃度を、発光素子の光放射特性に対応して、例えば第一の波長変換層の波長変換剤濃度を第二の波長変換層の波長変換剤濃度より高くする等、適宜調整することにより、色ムラがより一層抑制され得ることになる。
また、第二の波長変換層の硬化の際に、蛍光体等の波長変換剤が自然沈降することによって、発光素子の周囲にも堆積することもあり、この堆積によって濃度が上昇する。第二の波長変換層の波長変換剤濃度が第一の波長変換層の波長変換剤濃度より低い場合には、双方の波長変換層の境界付近における濃度差が小さくなるので、混色光の色差が低減され得ることになる。
さらに、発光素子の上面に第一の波長変換層が直接に塗布されていることから、半導体発光装置の駆動時に、波長変換剤の粒子が波長変換の損失エネルギーにより熱を発生しても、この熱が発光素子からハウジングを介して放熱されることになるので、効率の良い放熱が行なわれ得ることになる。
これにより、発光素子そして半導体発光装置の温度上昇が抑制され得るので、温度上昇によって発光効率が低下するようなことはない。
上記第一の波長変換層を形成する段階の前に、上記キャビティ内にて、発光素子の上面が僅かに露出する程度に、波長変換剤を含まない透明樹脂スペーサを注入し、硬化させる段階を含んでいる場合には、上記キャビティの発光素子の上面より下側の空間には、透明樹脂スペーサが充填されることにより、第二の波長変換層の波長変換剤が自然沈降しても、キャビティの底面付近に堆積せずに、底面より上方に堆積することになるので、発光素子の側面から出射した光が、効率的に第二の波長変換層の波長変換剤に入射することになる。
上記キャビティが上方に向かって広がるように形成されている場合には、発光素子から側方に出射した励起光あるいは波長変換剤から側方に出射した波長変換光がキャビティの側面に入射して、上方に向かって反射されることになり、光の取出し効率が向上することになる。
上記キャビティが、下方キャビティと、上記下方キャビティの上側に外側に広がる段部を介して配置されたより広い上方キャビティとを含んでおり、上記透明樹脂スペーサの上面の外周縁が、上記段部と同じ高さに位置している場合には、このキャビティの段部を備えた側面の形状に基づいて、透明樹脂スペーサを充填する際に、透明樹脂スペーサを構成する材料の表面張力に基づいて、透明樹脂スペーサの上面が周囲にて光ハンシャキャビティの側面を這い上がることになり、透明樹脂スペーサの上面がすり鉢状に形成されることになる。
上記第一の波長変換層が、第二の波長変換層より波長変換剤の濃度が高い場合には、発光素子から上方に出射する光が、波長変換剤の濃度が高い第一の波長変換層を通過することにより、より強い波長変換の効果を生ずることになり、例えば青色光の発光素子を使用した場合に、直上に出射する光が青みがかった色になることが抑制され、全体として色ムラが低減され得ることになる。
また、上記第二及び第三の構成によれば、波長変換層の充填の際に、まずキャビティの下方のキャビティ内にて発光素子の上面が僅かに露出する程度に、表面がすり鉢状に周囲に向かって高くなるように第二の波長変換層を塗布して硬化させた後、キャビティ全体に第一の波長変換層を充填して硬化させる。
これにより、第一の波長変換層は、中心から周囲に向かって半径方向に徐々に厚さが薄くなり、従って波長変換剤の量が少なくなる濃度傾斜を備えることになる。
従って、第二の波長変換層が発光素子から側方に出射する光について波長変換することにより、波長変換剤による波長変換された光と発光素子からの光の混色光が、その上方に位置する第一の波長変換層を介して外部に出射される。
また、第一の波長変換層が発光素子から上方に出射する光について波長変換することにより、波長変換剤による波長変換された光と発光素子からの光の混色光が外部に出射される。
このようにして、発光素子から側方に出射する光のみが、第二の波長変換層及び第一の波長変換層を通過し、発光素子から上方に出射する光が第一の波長変換層のみを通過するので、第一の波長変換層及び第二の波長変換層における波長変換剤の種類や濃度を適宜に選定することによって、例えば青色光を出射する発光素子の場合に、発光素子上部で青みがかった色になる等の色ムラの発生が抑制され、全体として色ムラのない均一な発光色の発光特性が得られることになる。
さらに、第三の構成においては、下方キャビティの開口部の大きさが上方キャビティと同じであることから、発光部外周からの波長変換光漏れを抑制することができ、さらに発光部面積を小さくすることができるので、全体として光密度を向上させることができる。
上記第一の波長変換層が、第二の波長変換層より波長変換剤の濃度が高い場合には、発光素子から上方に出射する光が、波長変換剤の濃度が高い第一の波長変換層を通過することにより、より強い波長変換の効果を生ずることになり、例えば青色光の発光素子を使用した場合に、直上に出射する光が青みがかった色になることが抑制され、全体として色ムラが低減され得ることになる。
上記第二の波長変換層を塗布する際に、すり鉢状の傾斜が、上記段差形状に基づいて制御される場合には、第二の波長変換層が塗布されたとき、第二の波長変換層を構成する材料が、その表面張力及びキャビティの段差形状即ちこの段差を備えた側面の形状に基づいて、キャビティの側面を這い上がることになるので、キャビティの段差形状を適宜に調整することによって、この這い上がり量即ちすり鉢形状の傾斜を制御して、所望のすり鉢形状とすることができる。
上記第二の波長変換層を塗布する際に、すり鉢状の傾斜が、上記キャビティを構成する下方キャビティ及び上方キャビティの側壁形状に基づいて制御される場合には、第二の波長変換層が塗布されたとき、第二の波長変換層を構成する材料が、その表面張力及びキャビティの側壁形状に基づいて、キャビティの側面を這い上がることになるので、キャビティの側壁形状を適宜に調整することによって、この這い上がり量即ちすり鉢形状の傾斜を制御して、所望のすり鉢形状とすることができる。
上記波長変換剤が、蛍光体である場合には、発光素子からの励起光が波長変換剤に入射すると、波長変換剤が励起されて波長変換光としての蛍光を出射することになる。
上記発光素子に対する給電ラインが、上記ハウジング内にインサート成形され且つキャビティの底面に露出するリードフレームにより構成されている場合には、表面実装型リードフレームタイプの半導体発光装置に本発明を適用することができる。
上記発光素子に対する給電ラインが、上記ハウジング内にインサート成形され且つキャビティを画成するリードフレームにより構成されている場合には、同様にして砲弾型リードフレームタイプの半導体発光装置に本発明を適用することができる。
上記発光素子に対する給電ラインが、上記ハウジング表面そしてキャビティの側面及び底面に形成された導電薄膜から成る電極層により構成されている場合には、例えば半導体基板等のハウジングを利用した表面実装タイプの半導体発光装置に本発明を適用することができる。
このようにして、本発明によれば、キャビティ内に波長変換剤を含む光透過性樹脂を充填する際に、波長変換剤の濃度の高い第一の波長変換層を発光素子の上面に配置すると共に、発光素子の側方付近に波長変換剤の濃度の低い第二の波長変換剤を配置するようにしたから、発光素子の上方にて波長変換剤の濃度が高くなるので、色ムラのない均一な発光特性が得られることになると共に、発光素子上に直接に波長変換剤が堆積するので、波長変換剤で波長変換の損失エネルギーにより発生する熱が、発光素子を介してハウジングから効率的に放熱され得ることになる。
以下、この発明の好適な実施形態を図1から図6を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
図1は、本発明による半導体発光装置としてのLEDの製造方法の第一の実施形態を示している。
図1において、LED10は、一対のリードフレーム11,12と、これらのリードフレーム11,12を所定位置に保持するように一体成形されたハウジング13と、このハウジング13の上面に設けられたキャビティ13a内に露出する一方のリードフレーム11のチップ実装部11a上に実装された青色LEDチップ14と、上記ハウジング13のキャビティ13a内にて青色LEDチップ14を包囲するように形成された波長変換剤(例えば蛍光体)を混入した波長変換層15と、から構成されている。
上記リードフレーム11及び12は、それぞれその上記キャビティ13a内に露出する先端にチップ実装部11a及びボンディング部12aを備えるように、アルミニウム等の導電性材料から形成されていると共に、他端が、ハウジング13の側面から下面に回り込んで、表面実装のための接続部11b及び12bを構成している。
これらのリードフレーム11,12は、金属板を所定形状にプレス成形することにより作製されている。
上記ハウジング13は、上記リードフレーム11,12に対してインサート成形により一体に形成されており、上面中央に、すり鉢状に上方に向かって拡るキャビティ13aを備えている。
ここで、上記キャビティ13aの底部にて、上記リードフレーム11,12の先端のチップ実装部11a及びボンディング部12aが露出するようになっている。
上記青色LEDチップ14は、上記ハウジング13のキャビティ13a内にて、一方のリードフレーム13の先端のチップ実装部13a上に接合されると共に、その表面に設けられた電極が、隣接してキャビティ13a内に露出する他方のリードフレーム12の先端のボンディング部12aに対してボンディングワイヤ(図示せず)により電気的に接続されるようになっている。
ここで、上記青色LEDチップ14は、所謂青色LEDチップであって、駆動電圧が印加されたとき、青色光を発するようになっている。
上記波長変換層15は、青色LEDチップ14の上面に形成された第一の波長変換層16と、その上からキャビティ13a内に充填された第二の波長変換層17と、から構成されている。
これらの第一及び第二の波長変換層16,17は、それぞれ微粒子状の波長変換剤(図示せず)を混入した高耐熱の熱硬化性透明樹脂、例えば透明エポキシ樹脂等から構成されており、硬化の際に、波長変換剤が下方に自然沈降している。 そして、この波長変換層16,17に、青色LEDチップ14からの青色光が入射することにより、波長変換剤が励起され、波長変換剤から黄色光を発生させると共に、これらの混色による白色光が外部に出射するようになっている。
尚、波長変換剤は、例えばセリウム,ガドリニウム等をドープしたYAG波長変換剤や、このようなYAG波長変換剤にてイットリウムを他の元素に置換したもの、あるいはオルトシリケート誘導体等が使用され、黄色光の蛍光を発するようになっている。
そして、第一の波長変換層16は、比較的高い濃度の波長変換剤を含んでおり、また第二の波長変換層17は、比較的低い濃度の波長変換剤を含んでいる。
ここで、上記波長変換層15は、本発明により以下のようにして形成されるようになっている。
即ち、ハウジング13のキャビティ13a内に露出したリードフレーム11のチップ実装部11aに青色LEDチップ14が実装された状態から、まずキャビティ13a内にて、青色LEDチップ14上に、第一の波長変換剤16が塗布され、加熱硬化される。その際、第一の波長変換層16を構成する材料(熱硬化性透明樹脂)が加熱により粘度が低下することにより、波長変換剤が重力により自然沈降して、青色LEDチップ14上に堆積することになる。
次に、上述した第一の波長変換層16の上から、キャビティ13a全体に、第二の波長変換層17が充填・塗布され、加熱硬化される。
その際、第二の波長変換層17は、加熱により粘度が低下することによって、第二の波長変換層17中に含まれる波長変換剤の粒子が自然沈降し、青色LEDチップ14の周囲のキャビティ13aの底面に堆積することになる。
これにより、LED10の駆動時に、波長変換剤15aの波長変換の損失エネルギーにより熱が発生したとしても、この熱は、青色LEDチップ14そしてハウジング13に効率的に伝達され、放熱されることになる。従って、波長変換剤15aの発熱によって青色LEDチップ14が温度上昇して発光効率が低下するようなことはなく、良好な発光効率が保持され得ることになる。
本発明実施形態による表面実装型白色LED10は、以上のように構成されており、一対のリードフレーム11,12を介して青色LEDチップ14に駆動電圧が印加されると、青色LEDチップ14が発光して、青色光が出射する。
そして、青色LEDチップ14から出射する青色光の一部が、波長変換層15に混入された波長変換剤に入射することにより、波長変換剤が励起されて、黄色光の蛍光を発生させる。
この黄色光が、青色LEDチップ14からの青色光と混色されることにより、白色光となって、波長変換層15を通って、波長変換層15の上面から外部に出射することになる。
その際、青色LEDチップ14から上方に出射する光は、第一の波長変換層16及びその上の第二の波長変換層17を通過して、第一の波長変換層16に含まれる比較的濃度の高い波長変換剤を励起することにより、波長変換効率が向上する。
従って、一般的に光放射密度の高い青色LEDチップ14上方にて、青色LEDチップ14からの青色光が十分に波長変換剤による波長変換光と混色されて白色光となり、従来のような青みがかった色になることが抑制され得る。
尚、上記第二の波長変換層17の青色LEDチップ14の上方領域では、波長変換剤が加熱硬化の際に自然沈降しているので、その波長変換剤濃度は非常に低くなっている。
これに対して、青色LEDチップ14から側方に出射する光は、第二の波長変換層17のみを通過し、第二の波長変換層17に含まれる比較的濃度の低い波長変換剤を励起することにより、波長変換光としての黄色光が発生し、青色LEDチップ14からの青色光と混色されて、白色光となって上方に出射する。
従って、青色LEDチップ14から上方に出射する光のみが、第一の波長変換層16を通過して、高い濃度の波長変換剤を励起することにより、上方に出射する白色光が、青色LEDチップ14の上方で青みがかった色になるようなことがなく、全体として色ムラのない均一な発光色(白色)の発光特性が得られることになる。
このようにして、本発明実施形態によるLED10によれば、波長変換層15を形成する際に、まず第一の波長変換層16が青色LEDチップ14上のみに塗布され加熱硬化された後、その上から第二の波長変換層17が、キャビティ13a内に充填され、加熱硬化される。これにより、青色LEDチップ14上にのみ波長変換剤の濃度が高い波長変換層が構成されることになる。
これにより、青色LEDチップ14からの青色光による波長変換剤の励起強度がほぼ均一となり、全体として色ムラのない発光特性が得られることになる。
図2は、本発明による半導体発光装置としてのLEDの製造方法の第二の実施形態を示している。
図2において、LED20は、図1に示したLED10におけるリードフレーム11,12を使用せずに、例えば半導体基板等のハウジング13のキャビティ13aの底面から傾斜した側面を通ってハウジング13の上面にまで延びる金属等による導電薄膜から成る電極層13b,13cを備えたタイプのLEDである。
そして、キャビティ13a内に形成される波長変換層15は、上述したLED10の場合と同様にして、第一の波長変換層16及び第二の波長変換層17から構成されており、LED10の場合と同様にして形成されるようになっている。
このような構成のLED20によれば、図1に示したLED10の場合と同様にして、波長変換層15を形成する際に、まず第一の波長変換層16を青色LEDチップ14上に塗布し加熱硬化させた後、その上から第二の波長変換層17をキャビティ13a内に充填・塗布し、加熱硬化させる。
これにより、青色LEDチップ14上にて、波長変換剤の濃度の高い第一の波長変換層16が形成されることになり、青色LEDチップ14からの青色光による波長変換剤の励起強度がほぼ均一となり、全体として色ムラのない発光特性が得られることになる。
図3は、本発明による半導体発光装置としてのLEDの製造方法の第三の実施形態を示している。
図3において、LED30は、図1に示したLED10におけるリードフレーム11,12を使用せずに、所謂砲弾型のLEDとして構成されており、一対のリードフレーム31,32と、一方のリードフレーム31の上端に形成されたキャビティ31aの底面に配置された青色LEDチップ14と、キャビティ31a内に充填された波長変換層15と、上記リードフレーム31,32の上端を包囲するように形成された樹脂モールド部33と、から構成されている。
この場合、上記青色LEDチップ14は、その上端の電極部が他方のリードフレーム32の上端に対してボンディングワイヤ32aにより電気的に接続されている。
そして、キャビティ31a内に形成される波長変換層15は、上述したLED10の場合と同様にして、第一の波長変換層16及び第二の波長変換層17から構成されており、LED10の場合と同様にして形成されるようになっている。
このような構成のLED30によれば、図1に示したLED10の場合と同様にして、波長変換層15を形成する際に、まず第一の波長変換層16を青色LEDチップ14上に塗布し加熱硬化させた後、その上から第二の波長変換層17をキャビティ13a内に充填・塗布し、加熱硬化させる。
これにより、青色LEDチップ14上にて、波長変換剤の濃度の高い第一の波長変換層16が形成されることになり、青色LEDチップ14からの青色光による波長変換剤の励起強度がほぼ均一となり、全体として色ムラのない発光特性が得られることになる。
図4は、本発明による半導体発光装置としてのLEDの製造方法の第四の実施形態を示している。
図4において、LED40は、図1に示したLED10と比較して、キャビティ13aが二段の下方キャビティ13d及びこれより大きい上方キャビティ13eから構成されていると共に、波長変換層15が、下方キャビティ13d内に充填された透明樹脂スペーサ41を含んでいる点で異なる構成になっている。
上記下方キャビティ13dは、上方キャビティ13eと比較して水平方向に関して小さく形成されており、上方キャビティ13eとの間に外側に広がる段部13fを備えるようになっている。
ここで、上記透明樹脂スペーサ41は、例えば第一及び第二の波長変換層16,17を構成する光透過性透明樹脂と同じ材料から構成されており、これらの第一及び第二の波長変換層16,17の形成前に、形成されるようになっている。 即ち、ハウジング13のキャビティ13a内に露出したリードフレーム11のチップ実装部11aに青色LEDチップ14が実装された状態から、まずキャビティ13aの下方キャビティ13d内に、波長変換剤を含まない透明樹脂スペーサ41が注入・充填される。
その際、上記透明樹脂スペーサ41は、青色LEDチップ14の上面が僅かに露出する程度に、そしてキャビティ13aの下方キャビティ13dと上方キャビティ13eの間の段部13fの高さまで充填される。
次に、キャビティ13a内にて、青色LEDチップ14上に、第一の波長変換剤16が塗布され、加熱硬化される。その際、第一の波長変換層16を構成する材料(熱硬化性透明樹脂)が加熱により粘度が低下することにより、波長変換剤が重力により自然沈降して、青色LEDチップ14上に堆積することになる。
続いて、上述した第一の波長変換層16の上から、上方キャビティ13e全体に、第二の波長変換層17が充填・塗布され、加熱硬化される。
これにより、LED40の駆動時に、波長変換剤15aの波長変換の損失エネルギーにより熱が発生したとしても、この熱は、青色LEDチップ14に伝達されることになる。従って、波長変換剤15aの発熱によって青色LEDチップ14が温度上昇して発光効率が低下するようなことはなく、良好な発光効率が保持され得ることになる。
さらに、この場合、キャビティ13aの下方キャビティ13d内に透明樹脂スペーサ41が充填されていることにより、青色LEDチップ14の側方から出射した光は、透明樹脂スペーサ41内から上方に向かって第二の波長変換層17内に入射することになる。
従って、第二の波長変換層17内にて波長変換剤が自然沈降によってその底面付近に堆積したとしても、青色LEDチップ14の側方から出射した光が、実質的にすべての波長変換剤に対して入射することになり、波長変換効率が向上する。これにより、同じ波長変換による波長変換光の光量を得るためには、第二の波長変換層17内に混入される波長変換剤の量が少なくて済むことになる。
このような構成のLED40によれば、波長変換層15を形成する際には、まず下方キャビティ13d内に透明樹脂スペーサ41を充填し硬化させた後、図1に示したLED10の場合と同様にして、第一の波長変換層16を青色LEDチップ14上に塗布し加熱硬化させた後、その上から第二の波長変換層17をキャビティ13a内に充填・塗布し、加熱硬化させる。
これにより、青色LEDチップ14上にて、波長変換剤の濃度の高い第一の波長変換層16が形成されることになり、青色LEDチップ14からの青色光による波長変換剤の励起強度がほぼ均一となり、全体として色ムラのない発光特性が得られることになる。
さらに、第二の波長変換層17に含まれる実質的にすべての波長変換剤の粒子に対して青色LEDチップ14からの青色光が入射して、波長変換剤を励起するので、励起効率が向上することになる。
図5は、本発明による半導体発光装置としてのLEDの製造方法の第五の実施形態を示している。
図5において、LED50は、図4に示したLED40と比較して、波長変換層15のうち、第一の波長変換層16が、青色LEDチップ14の上面から上側全体に充填されていると共に、第二の波長変換層17が下方キャビティ13d内に充填され、さらに青色LEDチップ14の上面を僅かに露出させ且つその上面が周囲に向かって上方に傾斜するようにすり鉢状に形成されている点で異なる構成になっている。
ここで、上記波長変換層15は、本発明により以下のようにして形成されるようになっている。
即ち、ハウジング13のキャビティ13a内に露出したリードフレーム11のチップ実装部11aに青色LEDチップ14が実装された状態から、まずキャビティ13a内にて、波長変換剤濃度が比較的低い第二の波長変換層17が注入・充填され、加熱硬化される。
その際、第二の波長変換層17は、青色LEDチップ14の上面が僅かに露出する程度に、そしてその表面が青色LEDチップ14の上面から周囲に向かってすり鉢状に上向きに傾斜するように、且つその表面の外周縁がキャビティ13aの段部13fより上方に位置するように、充填される。
ここで、第二の波長変換層17の表面のすり鉢状の形状は、第二の波長変換層17を構成する材料(光透過性透明樹脂)の表面張力とキャビティ13aの側面の段部13fを含む表面形状に基づいてキャビティ13aの側面における這い上がり量によって決定される。
従って、上記材料とキャビティ13aの側面の段部形状(即ち段部13fを含む表面形状)を適宜に選定することによって、上述した這い上がり量そして第二の波長変換層17の上面のすり鉢状の形状を制御することができると共に、段部形状によって第二の波長変換層17のすり鉢状の上面の形状及び塗布量が安定することになる。
また、青色LEDチップ14の側面からの光が、第二の波長変換層17を通過せずに直接に第一の波長変換層16に入射することを防止することができる。
このとき、図5に示すように、上記キャビティ13aの段部13fが青色LEDチップ14の上面よりも上方に位置するように設定すると、這い上がり量及びすり鉢状の形状が容易に制御され得るようになる。これは、上記段部13fにおいては、他のキャビティ13a内面と比較して段差の分だけ表面積が大きくなるため、第二の波長変換層17との接触面積が増大することによるものである。これにより、上記すり鉢形状が安定的に形成され得ることになり、好適である。
尚、上記段部13fの代わりに、あるいは上記段部13fと併用して、同じ位置に表面積を大きくするための凹凸を設ける等の粗面処理を施すようにしてもよい。
次に、キャビティ13a内にて、青色LEDチップ14上を含む全体に、第一の波長変換剤16が塗布され、加熱硬化される。その際、第一の波長変換層16を構成する材料(熱硬化性透明樹脂)が加熱により粘度が低下することにより、波長変換剤が重力により自然沈降して堆積することになる。
この場合、第一の波長変換層16の底面は、上述した第二の波長変換層17のすり鉢状の上面に従って、すり鉢状に形成されることになり、その厚さが周囲に向かって半径方向に徐々に薄くなる、即ち第一の波長変換層16中に含まれる波長変換剤の量が少なくなる濃度傾斜を備えることになる。
これにより、第一の波長変換層16の波長変換剤は、第一の波長変換層16の底面にて、三次元的に均一に堆積することになる。
従って、青色LEDチップ14から出射する青色光が波長変換剤で波長変換されて黄色光の蛍光が出射し、青色光との混色によって白色光となる。その際、波長変換剤の青色LEDチップ14の上面を中心とする三次元的に均一な分布によって、色ムラのない発光特性が得られることになる。
また、上述したように、波長変換剤が青色LEDチップ14の上面とその周囲に高密度で堆積することから、波長変換剤が直接に青色LEDチップ14の上面及びその周囲のキャビティ13aの底面に堆積することになる。
これにより、LED50の駆動時に、波長変換剤の波長変換の損失エネルギーにより熱が発生したとしても、この熱は、青色LEDチップ14そしてハウジング13に効率的に伝達され、放熱されることになる。
従って、波長変換剤の発熱によって青色LEDチップ14が温度上昇して発光効率が低下するようなことはなく、良好な発光効率が保持され得ることになる。
このような構成のLED50によれば、波長変換層15を形成する際には、まず下方キャビティ13b内に第二の波長変換層17を充填し硬化させた後、その上から第一の波長変換層16を塗布し加熱硬化させる。
これにより、青色LEDチップ14上を中心として、波長変換剤の濃度の高い第一の波長変換層16が形成されることになり、青色LEDチップ14からの青色光による波長変換剤の励起強度がほぼ均一となり、全体として色ムラのない発光特性が得られることになる。
図6は、本発明による半導体発光装置としてのLEDの製造方法の第六の実施形態を示している。
図6において、LED60は、図5に示したLED50と比較して、キャビティ13aの側壁が異なる形状を有している点で異なる構成になっている。 即ち、キャビティ13aのうち、下方キャビティ13dは、その側面が底面から上方に向かって広がるように上向きの傾斜面として形成されていると共に、上方キャビティ13eは、上記下方キャビティ13dの開口部、即ち側壁の上端からほぼ垂直または僅かに外側に広がるように形成されている。
ここで、上記波長変換層15は、本発明により以下のようにして形成されるようになっている。
即ち、ハウジング13のキャビティ13a内に露出したリードフレーム11のチップ実装部11aに青色LEDチップ14が実装された状態から、まずキャビティ13a内にて、波長変換剤濃度が比較的低い第二の波長変換層17が注入・充填され、加熱硬化される。
その際、第二の波長変換層17は、青色LEDチップ14の上面が僅かに露出する程度に、そしてその表面が青色LEDチップ14の上面から周囲に向かってすり鉢状に上向きに傾斜するように、且つその表面の外周縁がキャビティ13aの下方キャビティ13dと上方キャビティ13eの側壁の境界より上方に位置するように、充填される。
ここで、第二の波長変換層17の表面のすり鉢状の形状は、第二の波長変換層17を構成する材料(光透過性透明樹脂)の表面張力とキャビティ13aの側壁形状に基づいてキャビティ13aの側面における這い上がり量によって決定される。
従って、上記材料とキャビティ13aの側壁形状を適宜に選定することによって、上述した這い上がり量そして第二の波長変換層17の上面のすり鉢状の形状を制御することができると共に、上記側壁形状によって第二の波長変換層17のすり鉢状の上面の形状及び塗布量が安定することになる。
また、青色LEDチップ14の側面からの光が、第二の波長変換層17を通過せずに直接に第一の波長変換層16に入射することを防止することができる。
次に、キャビティ13a内にて、青色LEDチップ14上を含む全体に、第一の波長変換剤16が塗布され、加熱硬化される。その際、第一の波長変換層16を構成する材料(熱硬化性透明樹脂)が加熱により粘度が低下することにより、波長変換剤が重力により自然沈降して堆積することになる。
この場合、第一の波長変換層16の底面は、上述した第二の波長変換層17のすり鉢状の上面に従って、すり鉢状に形成されることになり、その厚さが周囲に向かって半径方向に徐々に薄くなる、即ち第一の波長変換層16中に含まれる波長変換剤の量が少なくなる濃度傾斜を備えることになる。
これにより、第一の波長変換層16の波長変換剤は、第一の波長変換層16の底面にて、三次元的に均一に堆積することになる。
従って、青色LEDチップ14から出射する青色光が波長変換剤で波長変換されて黄色光の蛍光が出射し、青色光との混色によって白色光となる。その際、波長変換剤の青色LEDチップ14の上面を中心とする三次元的に均一な分布によって、色ムラのない発光特性が得られることになる。
また、上述したように、波長変換剤が青色LEDチップ14の上面とその周囲に高密度で堆積することから、波長変換剤が直接に青色LEDチップ14の上面及びその周囲のキャビティ13aの底面に堆積することになる。
これにより、LED60の駆動時に、波長変換剤の波長変換の損失エネルギーにより熱が発生したとしても、この熱は、青色LEDチップ14そしてハウジング13に効率的に伝達され、放熱されることになる。
従って、波長変換剤の発熱によって青色LEDチップ14が温度上昇して発光効率が低下するようなことはなく、良好な発光効率が保持され得ることになる。
このような構成のLED60によれば、波長変換層15を形成する際には、まず下方キャビティ13b内に第二の波長変換層17を充填し硬化させた後、その上から第一の波長変換層16を塗布し加熱硬化させる。
これにより、青色LEDチップ14上を中心として、波長変換剤の濃度の高い第一の波長変換層16が形成されることになり、青色LEDチップ14からの青色光による波長変換剤の励起強度がほぼ均一となり、全体として色ムラのない発光特性が得られることになる。
また、下方キャビティ13dの上面と上方キャビティ13eの下面の大きさを同一にすることによって、発光部外周からの波長変換光漏れが抑制され得ると共に、発光部面積が小さくされ得るので、光密度が向上することになる。
次に、上記LED50,60に関して、発光部外周からの波長変換光漏れによる色ムラ及び輝度ムラについて、図7を参照して考察する。
即ち、図7(A)に示す前記LED50に対して、図7(B)に示すLED70が知られており、キャビティ13aの側壁を一段の傾斜面とすることによって、発光部の周辺部分と中央部分の色差及び明暗差がより低減され、色ムラ及び輝度に関してより高い均一性が得られる。
また、一般にLEDチップから放射する光は、側方に向かって放射される光よりも上方に向かって放射される光が多い。このため、青色LEDチップ14上部に光励起密度の高い領域を形成すると共に、放射される光の少ない領域では光励起密度の低い領域を形成することが、特に色ムラ対策の点から好ましい。
従って、このLED70そして前記LED50,60においては、波長変換剤の濃度分布がLEDチップ14からの距離に対して濃度傾斜を有することによって、色ムラが大幅に低減され得るようになっている。
さらに、光励起密度の高い領域、即ち青色LEDチップ14上部の波長変換剤濃度分布が高密度の領域では、波長変換の作用に伴って発生する熱が多くなり、特に高輝度のLEDチップを使用している場合には、実用上無視できない発熱が生ずる。
従って、このLED70そして前記LED50,60においては、光励起密度の高い領域を、青色LEDチップ14上方とし、また第二の波長変換層17の表面を、LEDチップ14の上面を露出または僅かに覆う程度にすり鉢状に形成することによって、LEDチップ14上に波長変換剤を沈降集積させているので、この波長変換剤による発熱は、このLEDチップ14を介して放熱され得ることになり、好適である。
しかしながら、図7(B)のLED70は、キャビティ13aの側壁が一段の傾斜面であることから、第二の波長変換層17の上面を所望のすり鉢状の形状にすることが困難であり、符号Aで示す部分が凹みやすく、この部分に波長変換剤が堆積しやすいため、色ムラが発生してしまうことになる。
これに対して、図6に示したLED60においては、キャビティ13aの側壁が二段階として、下方のみ傾斜面として形成されていることにより、第二の波長変換層17を塗布・硬化させる際に、キャビティ13aの側壁形状により、その材料の這い上がり量を制御することができるので、所望のすり鉢状の表面を実現することが可能となる。これにより、色ムラの発生がより一層抑制され得る。
次に、第二の波長変換層17の形状について、図8を参照して考察する。
図8は、図5のLED50に対する比較例としてのLED80を示している。 図8において、LED80は、キャビティ13aの下方キャビティ13dがより深く形成されており、第二の波長変換層17が、上記下方キャビティ13dの底面に配置された青色LEDチップ14の上面を完全に覆うように形成されている点で異なる構成になっている。
ここで、LEDチップ14の上面から第二の波長変換層17の上面までの距離は、LEDチップ14の高さの約三倍程度に選定した。
このような構成のLED80を実際に作成して、サーモグラフィによる観察を行なったところ、長時間の点灯による温度上昇が、前記LED50と比較して、大きかった。これは、波長変換剤による発熱の影響によるものと推察され、上記距離を種々に変更した実験結果から、LEDチップ14の上面から第二の波長変換層17の上面までの距離は、LEDチップ14の高さの0倍から約1倍程度が好適である。
また、上述したLED50,60においては、第二の波長変換層17が青色LEDチップ14の上面を僅かに露出させると共に、その上面が周囲に向かって上方に傾斜するようにすり鉢状に形成されている。
これに対して、第二の波長変換層17が青色LEDチップ14の上面を覆った比較例を作成して、第二の波長変換層17による被覆量の影響について考察する。
この比較例では、LEDチップ14の上面が露出しているLED50と比較して、第二の波長変換層17がLEDチップ14の上面を覆うにつれて、温度特性及び電気的特性が共に悪化する傾向があった。
ここで、温度特性としては、環境温度を変化させたときの相対光束値,効率維持率,色度維持率(50℃を標準試料とした)を評価した。また、電気的特性としては、青色LEDチップ14に注入する電力量を変化させたときの相対光束値,効率維持率,色度維持率(0.35Aを標準試料とした)を評価した。
尚、図9 (A)の50℃における電気的特性にて、また図9 (B)の0.45Aにおける温度特性にて、それぞれLED50,60の評価値Aに対して、上記比較例の評価値が示されている。
なお、本発明においては、キャビティ内面に光反射性のコーティングが施されていることが好ましい。
上述した実施形態においては、LED10にて、キャビティ13aが、その側壁が上方に向かって広がるように形成されているが、これに限らず、キャビティ13aの側壁は底面に対して垂直であってもよい。
また、上述した実施形態においては、LED40,50,60は、図1に示したLED10と同様に、ハウジング13に対してインサート成形されたリードフレーム11,12を備えているが、これに限らず、図2または図3に示すような構成のLEDとして構成することも可能である。
さらに、上述した実施形態においては、発光素子として青色LEDチップ14が使用されているが、これに限らず、他の色の光を出射するLEDチップであっても、また他の構成の発光素子であってもよい。
この場合、第一及び第二の波長変換層16,17に含まれる波長変換剤は、青色光を黄色光に変換するようになっているが、これに限らず、LEDチップを含む発光素子の励起光の発光色に対応して、この発光色を適宜の色の光に波長変換するようなものが選択され得る。
このようにして、本発明によれば、簡単な構成により、発光素子からの励起光と波長変換剤による波長変換光との混色光に色ムラが発生せず、また波長変換剤が波長変換の損失エネルギーとして放出する熱が効率良く放熱され得るようにした半導体発光装置の製造方法が提供され得る。
本発明による製造方法の第一の実施形態により製造されたLEDの構成を示す概略断面図である。 本発明による製造方法の第二の実施形態により製造されたLEDの構成を示す概略断面図である。 本発明による製造方法の第三の実施形態により製造されたLEDの構成を示す概略断面図である。 本発明による製造方法の第四の実施形態により製造されたLEDの構成を示す概略断面図である。 本発明による製造方法の第五の実施形態により製造されたLEDの構成を示す概略断面図である。 本発明による製造方法の第六の実施形態により製造されたLEDの構成を示す概略断面図である。 図5のLEDと比較例によるLEDにおける色ムラ及び輝度ムラを示す説明図である。 図5及び図6によるLEDに対する第二の波長変換層の効果を考察するためのLEDの比較例の構成を示す概略断面図である。 図5及び図6によるLEDにおける相対光束値,効率維持率及び色度維持率の(A)電気的特性及び(B)温度特性の評価結果を示すグラフである。 従来のLEDの製造方法の一例の製造工程を順次に示す概略断面図である。
符号の説明
10 LED(半導体発光装置)
11,12 リードフレーム
13 ハウジング
13a キャビティ
13b,13c 電極層
13d 下方キャビティ
13e 上方キャビティ
13f 段部
14 青色LEDチップ(発光素子)
15 波長変換層
16 第一の波長変換層(高濃度の波長変換剤)
17 第二の波長変換層(低濃度の波長変換剤)
20,30,40,50,60 LED
31,32 リードフレーム
33 樹脂モールド部
41 透明樹脂スペーサ

Claims (14)

  1. キャビティを有するハウジングと、
    上記キャビティ底面に配置された発光素子と、
    上記キャビティ内に粒子状の波長変換剤を含んだ波長変換層と、
    を備える半導体発光装置の製造方法であって、
    上記キャビティ内に波長変換層を形成する工程が、
    発光素子上に第一の波長変換層を塗布し、硬化させる第一の工程と、
    キャビティ全体に第二の波長変換層を充填・塗布し、硬化させる第二の工程と、
    を含んでいることを特徴とする、半導体発光装置の製造方法。
  2. 上記第一の波長変換層を形成する段階の前に、上記キャビティ内にて、発光素子の上面が僅かに露出する程度に、波長変換剤を含まない透明樹脂スペーサを注入し、硬化させる段階を含んでいることを特徴とする、請求項1に記載の半導体発光装置の製造方法。
  3. 上記キャビティが上方に向かって広がるように形成されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の半導体発光装置の製造方法。
  4. 上記キャビティが、下方キャビティと、上記下方キャビティの上側に外側に広がる段部を介して配置されたより広い上方キャビティとを含んでおり、上記透明樹脂スペーサの上面の外周縁が、上記段部と同じ高さに位置していることを特徴とする、請求項1または2に記載の半導体発光装置の製造方法。
  5. 上記第一の波長変換層が、第二の波長変換層より波長変換剤の濃度が高いことを特徴とする、請求項1から4の何れかに記載の半導体発光装置の製造方法。
  6. キャビティを有するハウジングと、
    上記キャビティ底面に配置された発光素子と、
    上記キャビティ内に粒子状の波長変換剤を含んだ波長変換層と、
    を備える半導体発光装置の製造方法であって、
    上記キャビティが、下方キャビティと、前記下方キャビティの上に外側に広がる段部を介して配置される上方キャビティを含んでなり、
    上記キャビティ内に波長変換層を形成する工程が、
    上記下方キャビティ内に、第二の波長変換層を、発光素子の上面が僅かに露出する程度に、且つ発光素子の上面から周囲に向かってすり鉢状に傾斜して、第二の波長変換層表面外周縁が上記段部の上側に位置するように、塗布し、硬化させる第一の工程と、
    上記キャビティ全体に第一の波長変換層を充填・塗布し、硬化させる第二の工程と、
    を含んでいることを特徴とする、半導体発光装置の製造方法。
  7. キャビティを有するハウジングと、
    上記キャビティ底面に配置された発光素子と、
    上記キャビティ内に粒子状の波長変換剤を含んだ波長変換層と、
    を備える半導体発光装置の製造方法であって、
    上記キャビティが、上方に向かって広がるように形成された下方キャビティと、上記下方キャビティの上に上記下方キャビティの上端の開口部から側壁が上方へ立ち上がるように配置される上方キャビティを含んでなり、
    上記キャビティ内に波長変換層を形成する工程が、
    上記下方キャビティ内に、第二の波長変換層を、発光素子の上面が僅かに露出する程度に、且つ、発光素子の上面から周囲に向かってすり鉢状に傾斜して、第二の波長変換層表面外周縁が上記上方キャビティ側壁に位置するように、塗布し、硬化させる第一の工程と、
    上記キャビティ全体に第一の波長変換層を充填・塗布し、硬化させる第二の工程と、
    を含んでいることを特徴とする、半導体発光装置の製造方法。
  8. 上記第一の波長変換層が、第二の波長変換層より波長変換剤の濃度が高いことを特徴とする、請求項6または7に記載の半導体発光装置の製造方法。
  9. 上記第二の波長変換層を塗布する際に、すり鉢状の傾斜が、上記段差形状に基づいて制御されることを特徴とする、請求項6に記載の半導体発光装置の製造方法。
  10. 上記第二の波長変換層を塗布する際に、すり鉢状の傾斜が、上記キャビティを構成する下方キャビティ及び上方キャビティの側壁形状に基づいて制御されることを特徴とする、請求項6に記載の半導体発光装置の製造方法。
  11. 上記波長変換剤が、蛍光体であることを特徴とする、請求項1から10の何れかに記載の半導体発光装置。
  12. 上記発光素子に対する給電ラインが、上記ハウジング内にインサート成形され且つキャビティの底面に露出するリードフレームにより構成されていることを特徴とする、請求項1から11の何れかに記載の半導体発光装置。
  13. 上記発光素子に対する給電ラインが、上記ハウジング内にインサート成形され且つキャビティを画成するリードフレームにより構成されていることを特徴とする、請求項1から11の何れかに記載の半導体発光装置。
  14. 上記発光素子に対する給電ラインが、少なくとも上記ハウジング表面、キャビティ側面、キャビティ底面の何れか一箇所以上の、少なくとも一部に形成された導電層からなることを特徴とする、請求項1から11の何れかに記載の半導体発光装置。
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