JP2006120983A - プラズマエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被エッチング物質が設置されたエッチングチャンバ内にエッチングガスを導入し、このエッチングガスをプラズマ状態に励起して上記被エッチング物質をエッチングするエッチング方法において、上記被エッチング物質は有機膜5に積層されたAu、Pt、Ag、Ti、TiN、TiO、Al、アルミニウム合金、あるいはこれらの膜の積層膜からなる金属膜3であって、上記エッチングガスはCl2、BCl3、HBrのうちから選ばれる少なくとも1種のガスと、CH2Cl2、CH2Br2、CH3Cl、CH3Br、CH3F、CH4のうちから選ばれる少なくとも1種のガスを添加した混合ガスとした。
【選択図】 図2
Description
エッチングガスとしてCl2、BCl3、HBrのうちから選ばれる少なくとも1種のガスにCH2Cl2、CH2Br2、CH3Cl、CH3Br、CH3F、CH4、Arのうちから選ばれる少なくとも1種のガスを添加した混合ガスを用いれば、その混合割合を制御することで、被エッチング物質を下地物質である有機膜に対して所定のエッチング速度の選択比でエッチングできる。
Claims (8)
- 被エッチング物質が設置されたエッチングチャンバ内にエッチングガスを導入し、このエッチングガスをプラズマ状態に励起して上記被エッチング物質をエッチングするエッチング方法において、
上記被エッチング物質は有機膜に積層された金属膜であって、
上記エッチングガスは塩素(Cl2)、三塩化ホウ素(BCl3)、臭化水素(HBr)、のうちから選ばれる少なくとも1種のガスと、ジクロルメタン(CH2Cl2)、ジブロムメタン(CH2Br2)、クロルメタン(CH3Cl)、ブロムメタン(CH3Br)、フッ化メチル(CH3F)、メタン(CH4)のうちから選ばれる少なくとも1種のガスを添加した混合ガスであることを特徴とするエッチング方法。 - 請求項1記載のエッチング方法において、上記被エッチング物質は金(Au)、白金(Pt)、銀(Ag)、チタン(Ti)、チタンナイトライド(TiN)、酸化チタン(TiO)、アルミニウムニウム(Al)、アルミニウム合金、或いはこれらの膜の積層膜であることを特徴とするエッチング方法。
- 被エッチング物質が設置されたエッチングチャンバ内にエッチングガスを導入し、このエッチングガスをプラズマ状態に励起して上記被エッチング物質をエッチングするエッチング方法において、
上記被エッチング物質は有機膜に積層された金属膜であって、
上記エッチングガスはCl2、BCl3、HBrのうちから選ばれる少なくとも1種のガスにCH4、CH2Cl2、CH2Br2、CH3Cl、CH3Br、CH3Fのうちから選ばれる少なくとも1種のガスを添加した混合ガスで上記被エッチング物質である金属膜を下地有機膜に対して選択的にエッチングすることを特徴とするエッチング方法。 - 請求項3記載のエッチング方法において、上記被エッチング物質は金(Au)、白金(Pt)、銀(Ag)、チタン(Ti)、チタンナイトライド(TiN)、酸化チタン(TiO)、アルミニウム(Al)、アルミニウム合金、あるいはこれらの膜の積層膜であることを特徴とするエッチング方法。
- 請求項1乃至請求項4に記載のエッチング方法において、上記被エッチング物質は、比エッチング物質の温度が95℃以下に温度制御可能な電極の上に設置され、圧力範囲が0.06Paから1.2Paの領域でエッチングすることを特徴としたエッチング方法。
- 請求項1乃至請求項5に記載のエッチング方法において、エッチングガスにアルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)のうちから選ばれる少なくとも、1種のガスを添加することを特徴としたエッチング方法。
- 被エッチング物質が設置されたエッチングチャンバ内にエッチングガスを導入し、このエッチングガスをプラズマ状態に励起して上記被エッチング物質をエッチングするエッチング方法において、
上記被エッチング物質は有機膜に積層された金属膜であって、
上記エッチングガスは塩素(Cl2)、三塩化ホウ素(BCl3)、臭化水素(HBr)、のうちから選ばれる少なくとも1種のガスと、プラズマ処理により堆積性を有する化合物を生成するガスを添加した混合ガスであることを特徴とするエッチング方法。 - 請求項7記載のエッチング方法において、前記堆積性を有する化合物は、有機物(CHx)であり、プラズマ処理により堆積性を有する化合物を生成するガスがジクロルメタン(CH2Cl2)、ジブロムメタン(CH2Br2)、クロルメタン(CH3Cl)、ブロムメタン(CH3Br)、フッ化メチル(CH3F)、メタン(CH4)のうちから選ばれる少なくとも1種のガスであることを特徴とするエッチング方法。
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