JP2006120241A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】アドレス空間が異なる複数のメモリブロックに対して、同時にテストを行う。
【解決手段】半導体装置1は、第1アドレス空間を有する第1メモリブロックMCR1と、前記第1アドレス空間より小さい第2アドレス空間を有する第2メモリブロックMCR2と、前記第1及び第2メモリブロックに対してテストアドレス及びテスト制御信号を供給し、且つ前記第1及び第2メモリブロックのテストを同時に行うテスト回路2とを具備し、前記第2メモリブロックMCR2は、前記第2アドレス空間に対応するアドレスを記憶する記憶回路3aと、前記第2アドレス空間を超えたアドレスが前記テスト回路2により指定された場合に、前記テスト制御信号を不活性にする制御回路3bとを含む。
【選択図】 図1
【解決手段】半導体装置1は、第1アドレス空間を有する第1メモリブロックMCR1と、前記第1アドレス空間より小さい第2アドレス空間を有する第2メモリブロックMCR2と、前記第1及び第2メモリブロックに対してテストアドレス及びテスト制御信号を供給し、且つ前記第1及び第2メモリブロックのテストを同時に行うテスト回路2とを具備し、前記第2メモリブロックMCR2は、前記第2アドレス空間に対応するアドレスを記憶する記憶回路3aと、前記第2アドレス空間を超えたアドレスが前記テスト回路2により指定された場合に、前記テスト制御信号を不活性にする制御回路3bとを含む。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置に係り、特にメモリのテストを行うテスト回路を備えた半導体装置に関する。
メモリおよびロジック等を1つの半導体チップに集積し、1つのシステムを形成する、いわゆるシステムLSI(Large Scale Integrated Circuit)が知られている。システムLSIでは、メモリ回路、ロジック回路等の複数の機能ブロック(コアまたはマクロ)が半導体チップの上に設けられる。また、メモリとしてDRAM(Dynamic Random Access Memory)を用いたDRAMマクロを備えたシステムLSI(以後、混載DRAMと称す)が開発されている。なお、DRAMマクロとは、メモリとして機能するブロックを表し、メモリセルアレイ、デコーダ回路及びセンスアンプ回路等を有する。
混載DRAMは、チップ内部のバス幅として通常数十〜百数十ビットを有する。このような混載DRAMのテストを行う場合、上記バス幅に対応するパッドを通してテストデータを混載DRAMの外部に出力してもテスト環境が対応しないこと、或いはそれだけの数のパッドを配置するだけの面積的余裕が混載DRAMに無いこと等から、混載DRAMの外部に出力するテストデータはテスト回路により極力少なくする手法が取られている。
例えば内部バスが128ビットあるDRAMマクロを1つ有する混載DRAMの場合、128ビットのテストデータを外部に出力するには上述したようにチップ面積或いはテスト環境にも好ましくないので、テスト回路を通して入出力データ(I/O)のビット幅を8ビットに変換している。
この場合、1つのI/Oに対して内部バスを16ビット割り当てる。そして、データ書き込み時は、テスターなどから書き込まれるテスト入力データをテスト回路にてシリアル−パラレル変換する。一方、データ読み出し時は、DRAMマクロから読み出されるテスト出力データをテスト回路にてパラレル−シリアル変換している。すなわち、1つのI/Oに複数の内部バスが並列につながっている構成をとっている。
ところで、複数のDRAMマクロを有する混載DRAMのテストを行う場合、複数のDRAMマクロに対して同時にテストデータの書き込み及び読み出しを行う。このようにすることで、テスト時間を短縮することができる。
しかし、アドレス空間が異なる2つのDRAMマクロを有する混載DRAMの場合、2つのマクロを同時に同条件でテストすることが出来ない。すなわち、第1DRAMマクロがロウアドレス,カラムアドレスともに第2DRAMマクロより大きい場合、第1DRAMマクロの全アドレス空間をアクセスし終わらないうちに、第2DRAMマクロのアドレス空間がアクセスし終わってしまう。このような場合、第1DRAMマクロと第2DRAMマクロとの間でリフレッシュ間隔などのミスマッチや各マクロへの電気的なストレス条件が異なってしまう。
例えば、第2DRAMマクロのロウアドレスが第1DRAMマクロの2分の1の大きさである場合、同時に2つのマクロをテストすると、第2DRAMマクロのテストは第1DRAMマクロのテストの半分の時間で終わってしまう。このとき、第1DRAMマクロのテストが終わるまで第2DRAMマクロはアクセスされなくなり、第1DRAMマクロでは起こらないポーズ状態を引き起こしてしまう。
また、第1DRAMマクロのビット線が電気的ストレスを受けているのに対し、第2DRAMマクロのビット線は電気的なストレスを受けない状態になってしまう。このように、アドレス空間が異なるマクロを有する多マクロ品には、同時書き込み及び同時読み出しを行うことができない。
また、この種の関連技術として、複数のメモリコアに対して同時にテストを行う技術が開示されている(特許文献1参照)。
特開2002−157900号公報
本発明は、アドレス空間が異なる複数のメモリブロックに対して、同時にテストを行うことが可能な半導体装置を提供することを目的とする。
本発明の第1の視点に係る半導体装置は、第1アドレス空間を有する第1メモリブロックと、前記第1アドレス空間より小さい第2アドレス空間を有する第2メモリブロックと、前記第1及び第2メモリブロックに対してテストアドレス及びテスト制御信号を供給し、且つ前記第1及び第2メモリブロックのテストを同時に行うテスト回路とを具備し、前記第2メモリブロックは、前記第2アドレス空間に対応するアドレスを記憶する記憶回路と、前記第2アドレス空間を超えたアドレスが前記テスト回路により指定された場合に、前記テスト制御信号を不活性にする制御回路とを具備する。
本発明の第2の視点に係る半導体装置は、第1アドレス空間を有する第1メモリブロックと、前記第1アドレス空間より小さい第2アドレス空間を有する第2メモリブロックと、前記第1及び第2メモリブロックに対してテストアドレス及びテスト制御信号を供給し、且つ前記第1及び第2メモリブロックのテストを同時に行うテスト回路とを具備し、前記テスト回路は、前記第2アドレス空間に対応するアドレスを記憶する記憶回路と、前記テストアドレスが前記第2アドレス空間を超えた場合に、前記第2メモリブロックに供給する前記テスト制御信号を不活性にする制御回路とを具備する。
本発明の第3の視点に係る半導体装置は、複数のメモリセルと、前記メモリセルに接続された複数の第1ビット線対と、前記メモリセルに接続された複数の第1ワード線とを有し、且つ第1アドレス空間を有する第1メモリブロックと、複数のメモリセルと、前記メモリセルに接続された複数の第2ビット線対と、前記メモリセルに接続された複数の第2ワード線とを有し、且つ前記第1アドレス空間より小さい第2アドレス空間を有する第2メモリブロックと、前記複数の第2ビット線対の一方のビット線と接地電位との間に直列に接続された複数の第1ダミートランジスタと、前記複数第2ビット線対の他方のビット線と前記接地電位との間に直列に接続された複数の第2ダミートランジスタと、前記各第1ダミートランジスタのゲート電極に接続された第1ダミーワード線と、前記各第2ダミートランジスタのゲート電極に接続された第2ダミーワード線と、前記第1及び第2ビット線対を選択するための第1テストアドレスと前記第1及び第2ワード線を選択するための第2テストアドレスとを含むテストアドレスと、テスト制御信号とを前記第1及び第2メモリブロックに対して供給し、且つ前記第1及び第2メモリブロックのテストを同時に行うテスト回路とを具備し、前記第2メモリブロックは、前記第2アドレス空間に対応するアドレスを記憶する記憶回路と、前記第2アドレス空間を超えた第2テストアドレスが前記テスト回路により指定された場合に、前記第1ダミーワード線或いは前記第2ダミーワード線を活性化する制御回路とを具備する。
本発明によれば、アドレス空間が異なる複数のメモリブロックに対して、同時にテストを行うことが可能な半導体装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置1の構成を示すブロック図である。半導体装置1は、テスト回路2と、メモリマクロMCR1,MCR2とを有している。なお、半導体装置1は、例えばテスト回路2と、メモリマクロMCR1,MCR2とが同一基板上に実装された半導体集積回路により構成されている。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置1の構成を示すブロック図である。半導体装置1は、テスト回路2と、メモリマクロMCR1,MCR2とを有している。なお、半導体装置1は、例えばテスト回路2と、メモリマクロMCR1,MCR2とが同一基板上に実装された半導体集積回路により構成されている。
テスト回路2と、メモリマクロMCR1,MCR2とは、共通のアドレス・コマンド線4により接続されている。テスト回路2は、メモリマクロMCR1,MCR2に対し、アドレス・コマンド線4を介してテストアドレス及びコマンドを送る。なお、テストアドレスは、ロウ方向を選択するテストロウアドレスと、カラム方向を選択するテストカラムアドレスとを含む。
テスト回路2と、メモリマクロMCR1,MCR2とは、共通の書き込みデータ線5により接続されている。テスト回路2は、メモリマクロMCR1,MCR2に対し、書き込みデータ線5を介してテスト入力データを送る。書き込みデータ線5は、例えばバス幅が128ビットにより構成される。
テスト回路2と、メモリマクロMCR1とは、読み出しデータ線6により接続されている。メモリマクロMCR1から読み出されたテスト出力データは、読み出しデータ線6を介してテスト回路2に送られる。テスト回路2と、メモリマクロMCR2とは、読み出しデータ線7により接続されている。メモリマクロMCR2から読み出されたテスト出力データは、読み出しデータ線7を介してテスト回路2に送られる。読み出しデータ線6,7は、例えばバス幅が128ビットにより構成される。
テスト回路2と外部回路(図示せず)とは、入出力データ線8により接続されている。テスト入力データは、データ線8を介してテスト回路2に入力される。テスト回路2は、テスト出力データをデータ線8を介して外部に出力する。なお、テスト入力データは、テスト回路2が生成するようにしてもよい。入出力データ線8は、例えばバス幅が8ビットにより構成される。
メモリマクロMCR1とMCR2とは、異なるアドレス空間を有している。すなわち、メモリマクロMCR1は、ロウアドレスとカラムアドレスとが共にメモリマクロMCR2より大きい。なお、アドレス空間は、メモリの領域を表しており、ロウアドレスの数(すなわち、ワード線の数)とカラムアドレスの数(すなわち、ビット線の数)とに対応している。
図1では、2つのメモリマクロを示している。しかし、2つに限定されるものではなく、半導体装置1は複数のメモリマクロを有していてもよい。本実施形態では、複数のメモリマクロのうち、ロウアドレスとカラムアドレスとが最大のアドレス空間を有するメモリマクロMCR1と、メモリマクロMCR1よりアドレス空間が小さいメモリマクロMCR2とを例に説明する。
メモリマクロMCR1,MCR2は、夫々セルアレイCAを有する。このセルアレイCAは、例えば複数のDRAMセルがマトリックス状に配置されて構成されている。図2は、メモリマクロMCR2が有するセルアレイCAとその周辺回路との構成を示す回路ブロック図である。
メモリマクロMCR2は、複数のビット線BLと複数のワード線WLとを有する。複数のビット線BLは、カラム方向(Col)に順次配設されている。複数のワード線WLは、ロウ方向(Row)に順次配設されている。ビット線BLとワード線WLとの交差する点には、DRAMセルが配設されている。DRAMセルは、セルトランジスタCTとセルキャパシタCCとを有する。セルキャパシタCCの一方の電極は、接地電位Vssに接続されている。
また、セルアレイCAにはプリチャージ回路PCとセンスアンプ回路SAとが接続されている。プリチャージ回路PCは、後述するバンクプリチャージコマンドBPがテスト回路2により供給された場合に、ビット線対を所定電位(例えば、電源電圧Vssの半分の電位)にチャージする。センスアンプ回路SAは、各ビット線対のデータを検知増幅する。なお、メモリマクロMCR1のセルアレイ及び周辺回路の構成は、ビット線とワード線との本数が異なる以外は、メモリマクロMCR2と同じである。
図1において、メモリマクロMCR2は、記憶回路3aと制御回路3bとを有している。記憶回路3aは、メモリマクロMCR2が有するメモリ容量、すなわちアドレス空間を記憶している。具体的には、記憶回路3aは、ビット線を選択するためのカラムアドレスと、ワード線を選択するためのロウアドレスとを記憶している。
制御回路3bは、記憶回路3aが記憶しているアドレス空間以上のアドレッシングがテスト回路2により行われた場合に、テスト回路2から送られるコマンドを制御する。図3は、図1に示した制御回路3bの構成を示すブロック図である。
制御回路3bは、アドレス判定回路3cと信号生成回路3dとを備えている。アドレス判定回路3cは、テストロウアドレスが記憶回路3aに記憶されているアドレス空間を超えているか否かを判定する。またアドレス判定回路3cは、テストカラムアドレスが記憶回路3aに記憶されているアドレス空間を超えているか否かを判定する。
信号生成回路3dは、アドレス判定回路3cの判定結果に基づいて、メモリマクロMCR2(具体的には、セルアレイCA、プリチャージ回路PC及びセンスアンプ回路SA)を制御するためのコマンドを生成する。
テスト回路2は、テスト動作をコマンド(ライトコマンドWT、リードコマンドRD、バンクアクティブコマンドBA及びバンクプリチャージコマンドBPを含む)によって制御する。ライトコマンドWTは、テスト入力データをメモリマクロMCR1,MCR2に送るためのコマンドである。リードコマンドRDは、テスト出力データをメモリマクロMCR1,MCR2から読み出すためのコマンドである。
バンクアクティブコマンドBAは、メモリマクロが有する複数のバンクのうちの1つのバンクをアクティブにするためのコマンドである。バンクプリチャージコマンドBPは、バンクのビット線を所定電位(例えば電源電圧Vddの半分の電圧)にチャージするためのコマンドである。なお、メモリマクロMCR1,MCR2は、複数のバンクに分割されていてもよいし、1つのバンクにより構成されていてもよい。
テスト回路2は、例えば外部から入力されるテスト入力データをメモリマクロMCR1,MCR2に書き込む。また、テスト回路2は、テスト出力データをメモリマクロMCR1,MCR2から読み出す。テスト回路2は、この読み出されたテスト出力データをデータ線8を介して外部に出力する。
テスト回路2は、テスト出力データを例えば8ビットに変換している。内部バスが128ビットの場合、1本のデータ線8に対して内部バスを16本割り当てる。そして、データ書き込み時、テスト回路2は、テスト入力データをシリアル−パラレル変換する。一方、データ読み出し時、テスト回路2は、メモリマクロから読み出されるテスト出力データをパラレル−シリアル変換する。すなわち、1本のデータ線8に複数の内部バスが並列につながっている構成をとっている。
また、テスト回路2は、カラムファーストスキャン方式(最初にカラム方向にスキャンし、次にロウアドレスをインクリメントしていく方式)とロウファーストスキャン方式(最初にロウ方向にスキャンし、次にカラムアドレスをインクリメントしていく方式)との2つのスキャン方式を実行することができる。これらの方式は、テストの種類等によって任意に選択可能である。
次に、メモリマクロのテスト方式について説明する。メモリマクロをテストする場合、テスト時間を短縮する方式としてマルチライト(Multi Write)方式とマルチリード(Multi Read)方式とがある。マルチライト方式は、各I/Oに並列につながっている内部バスに対して同時に書き込みすることで、書き込み時間を短縮する方式である。
一方、マルチリード方式は、メモリマクロから読み出したテスト出力データをテスト回路2にて各I/O毎にまとめてから半導体装置1の外部に出力する、もしくはテスト回路2にてコンパレートしその結果を出力する方式である。マルチリード方式を用いる場合、各I/Oにつながっている内部バスのデータは同じでなくてはならないなどの制限が生じる。
前述したように、内部バスが128ビットに対して入出力データ線8が8ビットの場合、1本の入出力データ線8に並列につながっている内部バスは16本になる。よって、マルチライト方式の場合、書き込み時間は、通常テストの16分の1になる。また、マルチリード方式の場合も同様で、読み出し時間は、通常テストの16分の1になる。
DRAMの量産試験は、不良セルを冗長回路で救済(以後、リダンダンシと称する)して良品とする為のテスト(以後、プリヒューズ(Pre-fuse)テストと称する)と、リダンダンシ後に不良セルを検出し不良品として選別する為のテスト(以下、ポストヒューズ(Post-fuse)テスト)とがある。
プリヒューズテストにおいては、上述の通り不良セルをリダンダンシする必要があることから、メモリマクロのテストにおいて不良となったセルのアドレス情報が必要となる。一方、ポストヒューズテストにおいては、メモリマクロの単純なパス/フェイル情報さえあれば良い。プリヒューズテストにおいては、不良となったセルのアドレス情報が必要となることからI/O毎に内部バスのテスト出力データをまとめてしまうマルチリード方式は使えず、マルチライト方式のみが適用可能である。
ポストヒューズテストにおいては、上述したように、単純なパス/フェイル情報さえあれば良いので、マルチライト方式とマルチリード方式との両方が適用可能となる。本実施形態のテスト回路2は、前述したマルチライト方式とマルチリード方式とを実行することができる。
また、テスト回路2は、複数のメモリマクロに対して同時にテストを実行する。すなわち、テスト回路2は、アドレス空間がもっとも大きいメモリマクロ(本実施例は、メモリマクロMCR1)に合わせたテストアドレスを各メモリマクロに送る。内部バス128ビットを有するメモリマクロで、且つ入出力データ線8が8ビットである場合、1本のデータ線8に並列につながっている内部バスは各メモリマクロに16本ずつある。
よって、テスト回路2が2つのメモリマクロに対して同時にテストを行う場合、2つのメモリマクロを合わせると合計32本の内部バスが1ビットのデータ線8につながっていることになる。すなわち、1つのメモリマクロを有する半導体装置において、各データ線8につながっている内部バスが16本から32本に増えたことと同じと考えられる。この場合、通常のテスト時間に比べて32分の1にまでテスト時間を短縮できる。
このように構成された半導体装置1の動作について説明する。図4は、ロウファーストスキャン方式においてメモリマクロMCR2が行う動作を説明するための図である。図4中の矢印は、スキャンの方向を表している。
すなわち、テスト回路2は、ロウ方向にスキャンを行い、最終のロウアドレスをスキャンした後、カラムアドレスをインクリメントする。そして、テスト回路2は、インクリメントされたカラムアドレスに対して、ロウ方向にスキャンを行い、最終のロウアドレスをスキャンした後、カラムアドレスを更にインクリメントする。テスト回路2は、これらの動作を最終のカラムアドレスについてのロウ方向のスキャンが終了するまで繰り返すことにより、メモリマクロMCR1,MCR2のアドレス空間に対してスキャンを行う。
また、前述したように、テスト回路2は、メモリマクロMCR1とMCR2とに対して同時に同じテストを実行する。すなわち、テスト回路2は、メモリマクロMCR1とMCR2とに対して、同じテストアドレスと同じコマンドとを送っている。
制御回路3bは、メモリマクロMCR2のアドレス空間内のアドレッシングが行われた場合、テスト回路2から送られたコマンドをそのままメモリマクロMCR2に実行させる。すなわち、制御回路3bは、テスト回路2から送られたコマンドに対して変換を行わない。
また、制御回路3bは、領域A(テストロウアドレスがアドレス空間を越えた領域)がアドレッシングされている期間は、テスト回路2が出力したコマンドを全て非活性化する。すなわち、制御回路3bは、テスト回路2が出力したコマンドをメモリマクロMCR2に供給しない。これにより、ロウ方向において、メモリセルが存在しない領域に対するアドレッシングを停止することができる。具体的には、領域Aに対して、テスト入力データの書き込み動作とテスト出力データの読み出し動作を停止することができる。
さらに、制御回路3bは、領域B(テストロウアドレスがアドレス空間を越えておらず、且つテストカラムアドレスがアドレス空間を越えた領域)がアドレッシングされている期間は、対応するメモリセルの記憶データをリフレッシュ(再書き込み)する。すなわち、制御回路3bは、テスト回路2が出力したコマンドBA/BPをそのままメモリマクロMCR2に供給し、且つコマンドWT/RDを非活性化する。これにより、選択されたワード線に接続されたメモリセルの記憶データは、リフレッシュされる。
具体的には、コマンドBPが供給されると、対応するビット線がプリチャージ回路PCによりプリチャージ電位にチャージされる。そして、対応するワード線が活性化されると、メモリセルからビット線に記憶データが転送される。そして、この転送されたデータがセンスアンプ回路SAにより検知増幅され、この増幅されたデータが再びメモリセルに記憶される。
なお、制御回路3bは、領域Bがアドレッシングされている期間は、テスト回路2が出力したコマンドを全て非活性化するようにしてもよい。
図5は、カラムファーストスキャン方式においてメモリマクロMCR2が行う動作を説明するための図である。図5中の矢印は、スキャンの方向を表している。すなわち、カラム方向にスキャンを行い、最終のカラムアドレスをスキャンした後、ロウアドレスをインクリメントしている。
この場合も、テスト回路2は、メモリマクロMCR1とMCR2とに対して同時に同じテストを実行する。すなわち、テスト回路2は、メモリマクロMCR1とMCR2とに対して、同じテストアドレスと同じコマンドとを送っている。
図5において、制御回路3bは、領域Aがアドレッシングされている期間は、テスト回路2が出力したコマンドを全て非活性化する。また、制御回路3bは、領域Bがアドレッシングされている期間は、対応するメモリセルの記憶データをリフレッシュする。
図6は、メモリマクロMCR2が有する制御回路3bの動作を示すフローチャートである。テストを実行するために、テスト回路2がコマンド及びテストアドレスを生成し、且つコマンド及びテストアドレスをメモリマクロMCR1,MCR2に送るものとする。
制御回路3bは、テスト回路2から送られたコマンド及びテストアドレスを受け取る(ステップS6a)。次に、アドレス判定回路3cは、テストロウアドレスと記憶回路3aに記憶されたアドレス空間とを比較する(ステップS6b)。ステップS6bにおいてテストロウアドレスがアドレス空間を超えていない場合、アドレス判定回路3cは、テストカラムアドレスと記憶回路3aに記憶されたアドレス空間とを比較する(ステップS6c)。
そして、テストカラムアドレスがアドレス空間を超えていない場合、信号生成回路3dは、テスト回路2が出力したコマンドに基づいたテスト動作をメモリマクロMCR2(具体的には、セルアレイCA、プリチャージ回路PC及びセンスアンプ回路SA)に実行させる(ステップS6d)。すなわち、信号生成回路3dは、テスト回路2が出力したコマンドをそのままメモリマクロMCR2に供給する。
ステップS6bにおいてテストロウアドレスがアドレス空間を超えている場合、信号生成回路3dは、テスト回路2が出力したコマンドを全て非活性化する(ステップS6e)。これにより、ロウ方向において、メモリセルが存在しない領域に対するアドレッシングを停止することができる。
ステップS6cにおいてテストカラムアドレスがアドレス空間を超えている場合、信号生成回路3dは、リフレッシュ動作を実行する(ステップS6f)。すなわち、信号生成回路3dは、テスト回路2が出力したコマンドBA/BPをそのままメモリマクロMCR2に供給し、且つコマンドWT/RDを非活性化する。これにより、選択されたワード線に接続されたメモリセルの記憶データは、リフレッシュされる。
以上詳述したように本実施形態では、アドレス空間が異なるメモリマクロMCR1,MCR2を同時にテストする。そして、ロウアドレスがメモリマクロMCR2のアドレス空間を越えた場合には、全てのコマンドを非活性化する。一方、ロウアドレスがメモリマクロMCR2のアドレス空間を超えておらず且つカラムアドレスがメモリマクロMCR2のアドレス空間を越えた場合には、リフレッシュを行うようにしている。
したがって本実施形態によれば、各メモリマクロのサイズに合わせてコマンドを制御できるため、ロウ/カラム構成の大きいメモリマクロのテストと同時に、ロウ/カラム構成の小さいメモリマクロのテストを行うことができる。
また、メモリマクロMCR2に対して、メモリマクロMCR1が受けている電気的ストレスと同じストレスを与えることができる。これにより、テストを実施している間、メモリマクロMCR2のメモリセルに対して、メモリマクロMCR1のメモリセルと同じ補償ができる。
また、アドレス・コマンド線4及び書き込みデータ線5を共有できるため、本実施形態を実現するために各メモリマクロに新たにアドレスやコマンド等を供給するための配線を施す必要がない。さらに、既存のテスト回路2を用いて、アドレス空間が異なるメモリマクロMCR1,MCR2を同時にテストすることができる。
また、メモリマクロMCR2のメモリセルが記憶しているデータをリフレッシュすることが可能となる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態は、テスト回路2がメモリマクロMCR2のアドレス空間を記憶し、且つメモリマクロMCR2に対するコマンドを制御するようにしたものである。
第2の実施形態は、テスト回路2がメモリマクロMCR2のアドレス空間を記憶し、且つメモリマクロMCR2に対するコマンドを制御するようにしたものである。
図7は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置10の構成を示すブロック図である。テスト回路2は、記憶回路12aと制御回路12bとを有している。記憶回路12aは、メモリマクロMCR2が有するメモリ容量、すなわちアドレス空間を記憶している。具体的には、記憶回路3aは、ビット線を選択するためのカラムアドレスと、ワード線を選択するためのロウアドレスとを記憶している。
制御回路12bは、記憶回路12aが記憶しているアドレス空間以上のアドレッシングがテスト回路2により行われた場合に、コマンドを変換するための制御信号を生成する。そして、制御回路12bは、この生成した制御信号をメモリマクロMCR2に供給する。図8は、図7に示した制御回路12bの構成を示すブロック図である。
制御回路12bは、アドレス判定回路12cと信号生成回路12dとを備えている。アドレス判定回路12cは、テストロウアドレスが記憶回路12aに記憶されているアドレス空間を超えているか否かを判定する。またアドレス判定回路12cは、テストカラムアドレスが記憶回路12aに記憶されているアドレス空間を超えているか否かを判定する。
信号生成回路12dは、アドレス判定回路12cの判定結果に基づいて、メモリマクロMCR2(具体的には、セルアレイCA、プリチャージ回路PC及びセンスアンプ回路SA)を制御するための制御信号T1,T2を生成する。
メモリマクロMCR2は、コマンド変換回路11を有している。コマンド変換回路11は、テスト回路2から供給される制御信号T1,T2に基づいてコマンドを変換する。そして、コマンド変換回路11は、この変換したコマンドをメモリマクロMCR2に供給する。
テスト回路2とメモリマクロMCR2とは、制御信号線13により接続されている。テスト回路2から出力された制御信号は、制御信号線13を介してメモリマクロMCR2に送られる。
なお、テスト回路2は、記憶回路12aと制御回路12bとを備えた以外は、第1の実施形態で示したテスト回路2と同じ動作を行っている。すなわち、テスト回路2は、テストアドレス及びコマンド(ライトコマンドWT、リードコマンドRD、バンクアクティブコマンドBA及びバンクプリチャージコマンドBPを含む)をメモリマクロMCR1,MCR2に供給している。
このように構成された半導体装置10の動作について説明する。図9は、テスト回路2が備える制御回路12bの動作を示すフローチャートである。
テスト回路2は、テストを実行するためのコマンドを生成し、メモリマクロMCR1,MCR2に送る。次に、テスト回路2は、テストアドレスを生成し、メモリマクロMCR1,MCR2に送る。
次に、アドレス判定回路12cは、テストロウアドレスと記憶回路12aに記憶されたメモリマクロMCR2のアドレス空間とを比較する(ステップS9a)。そして、テストロウアドレスがアドレス空間を超えてないと判定した場合、アドレス判定回路12cは、テストカラムアドレスと記憶回路12aに記憶されたメモリマクロMCR2のアドレス空間とを比較する(ステップS9b)。
ステップS9bにおいてテストカラムアドレスがアドレス空間を超えていない場合、信号生成回路12dは、通常のコマンドをメモリマクロMCR2に実行させる。すなわち、信号生成回路12dは、コマンドを変換するための制御信号をメモリマクロMCR2に供給しない。
ステップS9aにおいてテストロウアドレスがアドレス空間を超えている場合、信号生成回路12dは、コマンドを全て非活性化するための制御信号T1を生成する(ステップS9c)。この制御信号T1は、メモリマクロMCR2に送られる。
ステップS9bにおいてテストカラムアドレスがアドレス空間を超えている場合、信号生成回路12dは、メモリマクロMCR2に対してリフレッシュ動作を実行するための制御信号T2を生成する(ステップS9d)。この制御信号T2は、メモリマクロMCR2に送られる。
ところで、メモリマクロMCR2が有するコマンド変換回路11は、制御信号T1或いはT2に基づいてコマンドを変換する。コマンド変換回路11は、制御信号T1が入力された場合、テスト回路2から送られたコマンドWT,RD,BA,BPを全て非活性化する。また、コマンド変換回路11は、制御信号T2が入力された場合、テスト回路2から送られたコマンドBA,BPはそのままメモリマクロMCR2に供給し、コマンドWT,RDは非活性化する。さらに、コマンド変換回路11は、制御信号T1,T2のいずれも入力されない場合には、テスト回路2から送られたコマンドをそのままメモリマクロMCR2に供給する。
以上詳述したように本実施形態によれば、各メモリマクロのサイズに合わせてコマンドを制御できるため、ロウ/カラム構成の大きいメモリマクロのテストと同時に、ロウ/カラム構成の小さいメモリマクロのテストを行うことができる。
また、メモリマクロMCR2に対して、メモリマクロMCR1が受けている電気的ストレスと同じストレスを与えることができる。これにより、テストを実施している間、メモリマクロMCR2のメモリセルに対して、メモリマクロMCR1のメモリセルと同じ補償ができる。
また、メモリマクロMCR2のメモリセルが記憶しているデータをリフレッシュすることが可能となる。また、本実施形態は、メモリマクロMCR2の回路面積を大きくしたくない場合に有効である。
さらに、メモリマクロMCR2の各制御は、制御信号T1,T2によって行われる。よって、テスト回路2は、メモリマクロMCR1とMCR2とに対して、通常のテストを実行すればよい。すなわち、テスト回路2は、制御信号T1,T2を供給する動作以外は、メモリマクロMCR1とMCR2とに対して、同じコマンド及び同じテストアドレスを供給すればよい。これにより、既存のテスト回路をそのまま用いることができる。
本実施形態において、テスト回路2は、制御信号T1,T2を用いてメモリマクロMCR2の動作を制御するようにしている。しかし、テスト回路2が、メモリマクロMCR2の動作を制御するためのコマンドを直接メモリマクロMCR2に供給するように構成してもよい。このように構成しても、本実施形態と同様の効果を得ることができる。
(第3の実施形態)
第3の実施形態は、メモリマクロMCR2がダミーワード線を備える。そして、テストロウアドレスがメモリマクロMCR2のアドレス空間を越えた場合に、ダミーワード線を活性化するようにしたものである。
第3の実施形態は、メモリマクロMCR2がダミーワード線を備える。そして、テストロウアドレスがメモリマクロMCR2のアドレス空間を越えた場合に、ダミーワード線を活性化するようにしたものである。
図10は、本発明の第3の実施形態に係る半導体装置20の構成を示すブロック図である。テスト回路2は、記憶回路12aと制御回路22とを有している。記憶回路12aは、メモリマクロMCR2が有するアドレス空間を記憶している。
制御回路22は、記憶回路12aが記憶しているアドレス空間以上のアドレッシングがテスト回路2により行われた場合に、コマンドを変換するための制御信号を生成する。そして、制御回路22は、この生成した制御信号をメモリマクロMCR2に供給する。図11は、図10に示した制御回路22の構成を示すブロック図である。
制御回路22は、アドレス判定回路22aと信号生成回路22bとダミーワード線制御回路22cとを備えている。アドレス判定回路22aは、テストロウアドレスが記憶回路12aに記憶されているアドレス空間を超えているか否かを判定する。またアドレス判定回路22aは、テストカラムアドレスが記憶回路12aに記憶されているアドレス空間を超えているか否かを判定する。
信号生成回路22bは、アドレス判定回路22aの判定結果に基づいて、メモリマクロMCR2(具体的には、セルアレイCA、プリチャージ回路PC及びセンスアンプ回路SA)を制御するための制御信号T20,T21を生成する。ダミーワード線制御回路22cは、後述するダミーワード線DWL1,DWL2を制御する。
メモリマクロMCR2は、コマンド変換回路21を有している。コマンド変換回路21は、テスト回路2から供給される制御信号に基づいてコマンドを変換する。そして、コマンド変換回路21は、この変換したコマンドをメモリマクロMCR2(具体的には、セルアレイCA、プリチャージ回路PC及びセンスアンプ回路SA)に供給する。
また、メモリマクロMCR2は、ダミーワード線DWL1,DWL2を有している。ダミーワード線DWL1,DWL2には、例えば接地したダミートランジスタDT1,DT2が接続されている。すなわち、トランジスタDT1のゲートは、ダミーワード線DWL1に接続されている。トランジスタDT1のソースは、接地電位Vssに接続されている。トランジスタDT1のドレインは、ビット線BL0に接続されている。
トランジスタDT2のゲートは、ダミーワード線DWL2に接続されている。トランジスタDT2のソースは、接地電位Vssに接続されている。トランジスタDT2のドレインは、ビット線/BL0に接続されている。ダミートランジスタは、他のビット線対にも接続されている。他のビット線対に接続されたダミートランジスタの構成は、前述したダミートランジスタDT1,DT2と同様である。ダミーワード線DWL1,DWL2は、テスト回路2から供給される制御信号に基づいて活性化される。
テスト回路2とメモリマクロMCR2とは、制御信号線23により接続されている。テスト回路2から出力された制御信号は、制御信号線23を介してメモリマクロMCR2に送られる。
このように構成された半導体装置20の動作について説明する。先ず、ロウファーストスキャン方式の場合について説明する。図12は、メモリマクロMCR1,MCR2が行うロウファーストスキャン動作を説明するための図である。図13は、メモリマクロMCR2が行う動作を説明するための図である。図12中の矢印は、スキャンの方向を表している。
テスト回路2は、メモリマクロMCR1とMCR2とに対して同時に同じテストを実行する。すなわち、テスト回路2は、メモリマクロMCR1とMCR2とに対して、同じテストアドレスと同じコマンドとを送っている。
図13において、制御回路22は、メモリマクロMCR2のアドレス空間内のアドレッシングが行われた場合、テスト回路2から送られたコマンドをそのままメモリマクロMCR2に実行させる。すなわち、制御回路22は、テスト回路2から送られたコマンドに対して変換を行わない。
また、制御回路22は、領域C(テストロウアドレスがアドレス空間を越えた領域)がアドレッシングされている期間は、ダミーワード線DWL1或いはDWL2を活性化する。これにより、メモリマクロMCR2のビット線には、メモリマクロMCR1のビット線と同様の電気的ストレスがかかる。また、領域Cの期間は、テスト回路2が出力したコマンドを全て非活性化するようにしてもよい。領域Cの期間において、ダミーワード線を活性化するか、或いはコマンドを全て非活性化するかは、ユーザが任意に設定可能である。
さらに、制御回路22は、領域B(テストロウアドレスがアドレス空間を越えておらず、且つテストカラムアドレスがアドレス空間を越えた領域)がアドレッシングされている期間は、対応するメモリセルの記憶データをリフレッシュする。すなわち、制御回路3bは、テスト回路2が出力したコマンドBA/BPをそのままメモリマクロMCR2に供給し、且つコマンドWT/RDを非活性化する。これにより、選択されたワード線に接続されたメモリセルの記憶データは、リフレッシュされる。
図14は、メモリマクロMCR2のカラム方向のサイズがメモリマクロ1と同じで、メモリマクロMCR2のロウ方向のサイズがメモリマクロMCR1より小さい場合の例である。制御回路22は、ロウ方向のアドレッシングがメモリマクロMCR2のサイズを超えると、ダミーワード線DWL1或いはDWL2を活性化する。メモリマクロMCR2がこのような構成の場合、メモリマクロMCR2の全てのビット線に対して、メモリマクロMCR1のビット線と同様の電気的ストレスを与えることができる。
図15は、テスト回路2が有する制御回路22が生成する制御信号の構成を示す図である。制御回路22は、2つの制御信号T20,T21によりメモリマクロMCR2を制御する。
(T20,T21)=(0,0)の場合、メモリマクロMCR2は、通常動作(すなわち、テスト回路2から送られるコマンドをそのまま実行する)を実行する。(T20,T21)=(0,1)の場合、メモリマクロMCR2は、ダミーワード線DWL1或いはDWL2を活性化する。(T20,T21)=(1,0)の場合、メモリマクロMCR2は、リフレッシュ動作を実行する。(T20,T21)=(1,1)の場合、メモリマクロMCR2は、全てのコマンドを非活性化する。
図16は、ロウファーストスキャン方式における制御回路22の動作を示すフローチャートである。なお、テスト回路2は、メモリマクロMCR1に対して実行するコマンドをメモリマクロMCR2にも送っている。
先ず、アドレス判定回路22aは、テストロウアドレスと記憶回路12aに記憶されたアドレス空間とを比較する(ステップS16a)。そして、テストロウアドレスがアドレス空間を超えていないと判定した場合、アドレス判定回路22aは、テストカラムアドレスと記憶回路12aに記憶されたアドレス空間とを比較する(ステップS16b)。
ステップS16bにおいてテストカラムアドレスがアドレス空間を超えていないと判定された場合、信号生成回路22bは、制御信号(T20,T21)=(0,0)を出力する(ステップS16a)。一方、ステップS16bにおいてテストカラムアドレスがアドレス空間を超えていると判定された場合、信号生成回路22bは、制御信号(T20,T21)=(1,0)を出力する(ステップS16d)。
ステップS16aにおいてテストロウアドレスがアドレス空間を超えていると判定された場合、ダミーワード線制御回路22cは、ダミーワード線DWL1或いはDWL2を活性化するか否かを判定する(ステップS16e)。ダミーワード線を活性化する場合、信号生成回路22bは、制御信号(T20,T21)=(0,1)を出力する(ステップS16f)。一方、ダミーワード線を活性化しない場合、信号生成回路22bは、制御信号(T20,T21)=(1,1)を出力する(ステップS16g)。
そして、制御回路22は、テストカラムアドレスがインクリメントされる毎に上記動作を実行する。
次に、メモリマクロMCR2が有するコマンド変換回路21の構成について説明する。図17は、コマンド変換回路21の構成を示す回路ブロック図である。
コマンド変換回路21は、NOR回路21aと、インバータ回路21b,21cと、AND回路21d,21e,21fとを有する。制御信号T20は、NOR回路21aと、AND回路21e,21fとの入力部に入力されている。また、制御信号T20は、インバータ回路21bを介してAND回路21dに入力されている。
制御信号T21は、NOR回路21aと、AND回路21d,21fとの入力部に入力されている。また、制御信号T21は、インバータ回路21cを介してAND回路21eに入力されている。
NOR回路21aは、メモリマクロMCR2が通常動作を実行するためのコマンドを出力する。AND回路21eは、メモリマクロMCR2がリフレッシュ動作を行うためのコマンドを出力する。AND回路21fは、テスト回路2が供給するコマンドを非活性化するコマンドを出力する。
さらに、コマンド変換回路21は、ダミーワード線選択回路21gを有している。AND回路21dの出力信号は、ダミーワード線選択回路21gに入力されている。また、ダミーワード線制御回路22cから出力された制御信号T22は、ダミーワード線選択回路21gに入力されている。
ダミーワード線選択回路21gは、制御信号T22に基づいてダミーワード線DWL1とDWL2とのいずれかを活性化する。これにより、メモリマクロMCR2のビット線対に対して電位差を与えることができる。
なお、前述したように、ダミーワード線制御回路22cは、活性化するダミーワード線を選択するための制御信号T22を生成する。活性化するダミーワード線は、常に所定のダミーワード線を活性化するようにしてもよい。或いは、メモリマクロMCR1に対応したメモリマクロMCR2のビット線対の電位差が、メモリマクロMCR1のビット線対の電位差と同じになるように、活性化するダミーワード線を選択するようにしてもよい。
次に、カラムファーストスキャン方式の場合について説明する。図18は、メモリマクロMCR2が行う動作を説明するための図である。図18中の矢印は、スキャンの方向を表している。
図18において、領域Bがアドレッシングされている期間は、対応するメモリセルの記憶データがリフレッシュされている。領域Cがアドレッシングされている期間は、ダミーワード線DWL1或いはDWL2が活性化される。これにより、メモリマクロMCR2のビット線は、メモリマクロMCR1のビット線と同様の電気的ストレスがかかる。
図19は、メモリマクロMCR2のカラム方向のサイズがメモリマクロ1と同じで、メモリマクロMCR2のロウ方向のサイズがメモリマクロ1より小さい場合の例である。ロウ方向のアドレッシングがメモリマクロMCR2のサイズを超えると、ダミーワード線DWL1或いはDWL2が活性化される。メモリマクロMCR2がこのような構成の場合、メモリマクロMCR2の全てのビット線に対して、メモリマクロMCR1のビット線と同様の電気的ストレスを与えることができる。
図20は、カラムファーストスキャン方式における制御回路22の動作を示すフローチャートである。なお、テスト回路2は、メモリマクロMCR1に対して実行するコマンドをメモリマクロMCR2にも送っている。
先ず、アドレス判定回路22aは、テストカラムアドレスと記憶回路12aに記憶されたアドレス空間とを比較する(ステップS20a)。そして、テストカラムアドレスがアドレス空間を超えていないと判定した場合、アドレス判定回路22aは、テストロウアドレスと記憶回路12aに記憶されたアドレス空間とを比較する(ステップS20b)。
ステップS20bにおいてテストロウアドレスがアドレス空間を超えていないと判定された場合、信号生成回路22bは、制御信号(T20,T21)=(0,0)を出力する(ステップS20c)。一方、ステップS20bにおいてテストロウアドレスがアドレス空間を超えていると判定された場合、信号生成回路22bは、制御信号(T20,T21)=(0,1)を出力する(ステップS20d)。
ステップS20aにおいてテストカラムアドレスがアドレス空間を超えていると判定された場合、アドレス判定回路22aは、テストロウアドレスと記憶回路12aに記憶されたアドレス空間とを比較する(ステップS20e)。そして、ステップS20eにおいてテストロウアドレスがアドレス空間を超えていると判定された場合、信号生成回路22bは、制御信号(T20,T21)=(0,1)を出力する。一方、ステップ20eにおいてテストロウアドレスがアドレス空間を超えていないと判定された場合、信号生成回路22bは、制御信号(T20,T21)=(1,0)を出力する。
これにより、メモリマクロMCR2は、通常動作、リフレッシュ動作、或いはダミーワード線の活性化のいずれかの動作を実行することが可能となる。
以上詳述したように本実施形態によれば、各メモリマクロのサイズに合わせてコマンドを制御できるため、ロウ/カラム構成の大きいメモリマクロのテストと同時に、ロウ/カラム構成の小さいメモリマクロのテストを行うことができる。
また、メモリマクロMCR1がスキャンされ、メモリマクロMCR2がスキャンされていないときでも、各メモリマクロのビット線にメモリマクロMCR1と同じ電気的ストレスを与えることができる。すなわち、メモリマクロMCR2に対して、メモリマクロMCR1と同じ条件でテストすることが可能となる。これにより、テストを実施している間、メモリマクロMCR2のメモリセルに対して、メモリマクロMCR1のメモリセルと同じ補償ができる。
また、メモリマクロMCR2に対して、メモリマクロMCR1のビット線対と同じ電位差を与えることができる。これにより、メモリマクロMCR2に対して、より正確に電気的ストレスを与えることができる。
また、第3の実施形態において、テスト回路2が備える記憶回路12aと制御回路22とを、メモリマクロMCR2が備えるようにしてもよい。すなわち、上記第1の実施形態と同様の構成にしてもよい。このように構成しても、第3の実施形態と同様に実施可能である。
なお、上記各実施形態において、メモリセルとしてDRAMを用いて説明したが、DRAMに限定されず、SRAM等の他のメモリであっても同様に実施可能である。
この発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その他、本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形して実施可能である。
BL…ビット線、WL…ワード線、CT…セルトランジスタ、CC…セルキャパシタ、CA…セルアレイ、PC…プリチャージ回路、SA…センスアンプ回路、MCR1,MCR2…メモリマクロ、DWL1,DWL2…ダミーワード線、DT1,DT2…ダミートランジスタ、1,10,20…半導体装置、2…テスト回路、3a,12a…記憶回路、3b,12b,22…制御回路、3c,12c,22a…アドレス判定回路、3d,12d,22b…信号生成回路、11,21…コマンド変換回路、22c…ダミーワード線制御回路、4…アドレス・コマンド線、5…書き込み込みデータ線、6,7…読み出しデータ線、8…入出力データ線、13,23…制御信号線、21a…NOR回路、21b,21c…インバータ回路、21d,21e,21f…AND回路、21g…ダミーワード線選択回路。
Claims (7)
- 第1アドレス空間を有する第1メモリブロックと、
前記第1アドレス空間より小さい第2アドレス空間を有する第2メモリブロックと、
前記第1及び第2メモリブロックに対してテストアドレス及びテスト制御信号を供給し、且つ前記第1及び第2メモリブロックのテストを同時に行うテスト回路と
を具備し、
前記第2メモリブロックは、
前記第2アドレス空間に対応するアドレスを記憶する記憶回路と、
前記第2アドレス空間を超えたアドレスが前記テスト回路により指定された場合に、前記テスト制御信号を不活性にする制御回路とを具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記第1メモリブロックは、複数の第1メモリセルと、前記第1メモリセルに接続された複数の第1ビット線と、前記第1メモリセルに接続された複数の第1ワード線とを含み、
前記第2メモリブロックは、複数の第2メモリセルと、前記第2メモリセルに接続された複数の第2ビット線と、前記第2メモリセルに接続された複数の第2ワード線とを含み、
前記テストアドレスは、前記第1及び第2ビット線を選択するための第1テストアドレスと、前記第1及び第2ワード線を選択するための第2テストアドレスとを含み、
前記制御回路は、前記第2テストアドレスが前記第2アドレス空間を超えた場合に、前記テスト制御信号を不活性にすることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 第1アドレス空間を有する第1メモリブロックと、
前記第1アドレス空間より小さい第2アドレス空間を有する第2メモリブロックと、
前記第1及び第2メモリブロックに対してテストアドレス及びテスト制御信号を供給し、且つ前記第1及び第2メモリブロックのテストを同時に行うテスト回路と
を具備し、
前記テスト回路は、
前記第2アドレス空間に対応するアドレスを記憶する記憶回路と、
前記テストアドレスが前記第2アドレス空間を超えた場合に、前記第2メモリブロックに供給する前記テスト制御信号を不活性にする制御回路とを具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記第1メモリブロックは、複数の第1メモリセルと、前記第1メモリセルに接続された複数の第1ビット線と、前記第1メモリセルに接続された複数の第1ワード線とを含み、
前記第2メモリブロックは、複数の第2メモリセルと、前記第2メモリセルに接続された複数の第2ビット線と、前記第2メモリセルに接続された複数の第2ワード線とを含み、
前記テストアドレスは、前記第1及び第2ビット線を選択するための第1テストアドレスと、前記第1及び第2ワード線を選択するための第2テストアドレスとを含み、
前記制御回路は、前記第2テストアドレスが前記第2アドレス空間を超えた場合に、前記第2メモリブロックに供給する前記テスト制御信号を不活性にすることを特徴とする請求項3記載の半導体装置。 - 複数の第1メモリセルと、前記第1メモリセルに接続された複数の第1ビット線対と、前記第1メモリセルに接続された複数の第1ワード線とを有し、且つ第1アドレス空間を有する第1メモリブロックと、
複数の第2メモリセルと、前記第2メモリセルに接続された複数の第2ビット線対と、前記第2メモリセルに接続された複数の第2ワード線とを有し、且つ前記第1アドレス空間より小さい第2アドレス空間を有する第2メモリブロックと、
前記複数の第2ビット線対の一方のビット線と接地電位との間に直列に接続された複数の第1ダミートランジスタと、
前記複数第2ビット線対の他方のビット線と前記接地電位との間に直列に接続された複数の第2ダミートランジスタと、
前記各第1ダミートランジスタのゲート電極に接続された第1ダミーワード線と、
前記各第2ダミートランジスタのゲート電極に接続された第2ダミーワード線と、
前記第1及び第2ビット線対を選択するための第1テストアドレスと前記第1及び第2ワード線を選択するための第2テストアドレスとを含むテストアドレスと、テスト制御信号とを前記第1及び第2メモリブロックに対して供給し、且つ前記第1及び第2メモリブロックのテストを同時に行うテスト回路と
を具備し、
前記第2メモリブロックは、
前記第2アドレス空間に対応するアドレスを記憶する記憶回路と、
前記第2アドレス空間を超えた第2テストアドレスが前記テスト回路により指定された場合に、前記第1ダミーワード線或いは前記第2ダミーワード線を活性化する制御回路とを具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記制御回路は、前記第1テストアドレスが前記第2アドレス空間を超え且つ前記第2テストアドレスが前記第2アドレス空間を超えない場合に、前記第2メモリセルが記憶するデータを再書き込みすることを特徴とする請求項2、4及び5のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第2メモリブロックは、前記第2ビット線を所定電位にチャージするプリチャージ回路と、前記第2ビット線に転送されたデータを増幅するセンスアンプ回路とを含み、
前記制御回路は、前記第1テストアドレスが前記第2アドレス空間を超え且つ前記第2テストアドレスが前記第2アドレス空間を超えない場合に、前記第2ビット線を前記所定電位にチャージし且つ前記第2テストアドレスに対応するワード線を活性化することを特徴とする請求項2、4、5及び6のいずれかに記載の半導体装置。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070417 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070821 |