JP2006108658A - 固体電解コンデンサ素子、固体電解コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に化成処理により誘電体層を形成した導電体の該誘電体層上に導電性重合体を含む半導体層及び電極層を順次形成した固体電解コンデンサ素子の製造方法において、半導体層形成後ドーパントを電解質とした電解液中で再化成処理することによって半導体層形成による誘電体層の修復を行うことを特徴とする固体電解コンデンサ素子を用いて固体電解コンデンサを作製する。
【選択図】無し
Description
固体電解コンデンサは、表面層に微細の細孔を有するアルミニウム箔や、内部に微小な細孔を有するタンタル粉の焼結体を一方の電極(導電体)として、その電極の表層に形成した誘電体層とその誘電体層上に設けられた他方の電極(通常は、半導体層)および他方の電極上に積層された電極層とから構成された固体電解コンデンサ素子を封口して作製されている。
従って、本発明の課題はESR値が良好な高容量固体電解コンデンサの製造方法を提供することにある。
1.表面に化成処理により誘電体層を形成した導電体の該誘電体層上に導電性重合体を含む半導体層、及び電極層を順次形成した固体電解コンデンサ素子の製造方法において、半導体層を形成後、ドーパントを電解質とした電解液中で再化成処理することを特徴とする固体電解コンデンサ素子の製造方法。
2.ドーパントが、半導体層中の導電性重合体に含有されているドーパントと同一である前記1に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
3.ドーパントが、電解重合時にドーピングしたときに電導度が101〜103S・cm-1の導電性重合体を与える電子供与性化合物である前記1に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
4.ドーパントが、スルホン酸基を有する化合物及びホウ素原子にカルボン酸が配位したホウ素化合物から選ばれる少なくとも1種である前記1乃至3のいずれかに記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
5.前記導電体が、タンタル、ニオブ、チタン及びアルミニウムから選ばれる少なくとも1種を主成分とする金属あるいは合金、酸化ニオブ、またはこれら金属、合金及び酸化ニオブから選ばれる少なくとも2種以上の混合物である前記1に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
6.半導体層が、下記一般式(1)または(2)
で示される繰り返し単位を含む重合体にドーパントをドープした導電性重合体を主成分とした半導体から選択される少なくとも1種の層である前記1に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
7.一般式(1)で示される繰り返し単位を含む重合体が、下記一般式(3)
で示される構造単位を繰り返し単位として含む重合体である前記6に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
8.導電性重合体が、ポリアニリン、ポリオキシフェニレン、ポリフェニレンサルファイド、ポリチオフェン、ポリフラン、ポリピロール、ポリメチルピロール、及びこれらの置換誘導体及び共重合体から選択される前記6に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
9.導電性重合体が、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)である前記8に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
10.半導体の電導度が、10-2〜103S・cm-1の範囲である前記6に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
11.前記1〜10のいずれかに記載の製造方法で得られた固体電解コンデンサ素子。
12.前記11に記載の固体電解コンデンサ素子を封口した固体電解コンデンサ。
13.前記12に記載の固体電解コンデンサを使用した電子回路。
14.前記12に記載の固体電解コンデンサを使用した電子機器。
導電体には引き出しリードを直接接続することが可能であるが、導電体を粉状にして成形体形状または成形後焼結した形状とする場合は、成形時に別途用意した引き出しリード線(またはリード箔)の一部を導電体と共に成形し、引き出しリード線(またはリード箔)の成形外部の箇所を、固体電解コンデンサ素子の一方の電極の引き出しリードとすることもできる。また、導電体の一部に半導体層を形成せずに残しておいて陽極部とすることもできる。陽極部と半導体層形成部の境界には、半導体層の這い上がりを防ぐために絶縁性樹脂を鉢巻状に付着硬化させておいても良い。
半導体層を形成することによって生じる誘電体層の微小な欠陥を修復するために、通常再化成を行うが、本発明ではドーパントを電解質とした電解液中で再化成を行うことが肝要である。
ニオブインゴットの水素脆性を利用して粉砕したニオブ一次粉(平均粒径0.31μm)を造粒し平均粒径120μmのニオブ粉を得た(このニオブ粉は微粉であるため自然酸化され酸素が90000 ppm存在する。)。次に450℃の窒素雰囲気中に放置し、さらに700℃のアルゴン中に放置することにより、窒化量9000ppmの一部窒化したニオブ粉(CV274000μF・V/g)とした。このニオブ粉を0.48mmφのニオブ線と共に成形した後1270℃で焼結することにより、大きさ4.1×3.5×1.2mmの焼結体(導電体)を複数個作製した(各々の質量0.06g。ニオブのリード線が焼結体内部に3.7mm、外部に8mm存在する。)。
実施例1で1質量%燐酸水溶液中で再化成を行ったこと以外は実施例1と同様にしてチップ状固体電解コンデンサを作製した。
実施例1で0.1質量%硫酸水溶液中で再化成を行ったこと以外は実施例1と同様にしてチップ状固体電解コンデンサを作製した。
1mol/lのLiBF4プロピレンカーボネート溶液中で再化成を行ったこと以外は実施例1と同様にしてチップ状固体電解コンデンサを作製した。
実施例1で電解重合をアントラキノン−2−スルホン酸の代わりにナフタレン−2−スルホン酸、再化成のドーパントをアントラキノン−2−スルホン酸の代わりにナフタレン−2−スルホン酸としたこと以外は実施例1と同様にしてチップ状固体電解コンデンサを作製した。
再化成を0.1質量%酢酸水溶液中で行った以外は実施例2と同様にしてチップ状固体電解コンデンサを作製した。
CV(容量と化成電圧の積)15万μF・V/gのタンタル粉にタンタルリード線(0.40mmφ)を埋設し、焼結温度1300℃、焼結時間20分焼結して大きさ4.5×1.1×3.1mmの焼結体を作製した(焼結体密度5.9g/cm3、焼結体の4.5mm寸法の長手方向と平行にタンタルリード線の一部が埋設し焼結体から突き出たリード線部が陽極部となる。)。陽極となる焼結体を0.1質量%燐酸水溶液中にリード線の一部を除いて浸漬し、陰極のタンタル板電極との間に10Vを印加し、80℃で5時間化成してTa2O5からなる誘電体酸化皮膜層を形成した。この焼結体のリード線を除いて、20質量%モリブデン酸ナトリウム水溶液が入った槽に浸漬後乾燥することと10質量%水素化ホウ素ナトリウム水溶液が入った槽に浸漬して乾燥することを交互に行い、さらに0.1質量%酢酸水溶液中80℃で8V、10分、後化成することを複数回繰り返すことにより誘電体層に電気的な微小欠陥部分を作製した。
再化成を0.1質量%燐酸水溶液中で行ったこと以外は実施例3と同様にしてチップ状固体電解コンデンサを作製した。
実施例3で再化成を0.1質量%安息香酸水溶液中で行ったこと以外は実施例3と同様にしてチップ状固体電解コンデンサを作製した。
容量:ヒューレットパッカード社製LCR測定器を用い室温120Hzで測定した。
ESR:コンデンサの等価直列抵抗を100kHzで測定した。
LC:実施例1と2、比較例1〜4は、定格電圧4Vで、実施例3、比較例5と6は、定格電圧2.5Vで室温30秒で測定した。
Claims (14)
- 表面に化成処理により誘電体層を形成した導電体の該誘電体層上に導電性重合体を含む半導体層、及び電極層を順次形成した固体電解コンデンサ素子の製造方法において、半導体層を形成後、ドーパントを電解質とした電解液中で再化成処理することを特徴とする固体電解コンデンサ素子の製造方法。
- ドーパントが、半導体層中の導電性重合体に含有されているドーパントと同一である請求項1に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
- ドーパントが、電解重合時にドーピングしたときに電導度が101〜103S・cm-1の導電性重合体を与える電子供与性化合物である請求項1に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
- ドーパントが、スルホン酸基を有する化合物及びホウ素原子にカルボン酸が配位したホウ素化合物から選ばれる少なくとも1種である請求項1乃至3のいずれかに記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
- 前記導電体が、タンタル、ニオブ、チタン及びアルミニウムから選ばれる少なくとも1種を主成分とする金属あるいは合金、酸化ニオブ、またはこれら金属、合金及び酸化ニオブから選ばれる少なくとも2種以上の混合物である請求項1に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
- 導電性重合体が、ポリアニリン、ポリオキシフェニレン、ポリフェニレンサルファイド、ポリチオフェン、ポリフラン、ポリピロール、ポリメチルピロール、及びこれらの置換誘導体及び共重合体から選択される請求項6に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
- 導電性重合体が、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)である請求項8に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
- 半導体の電導度が、10-2〜103S・cm-1の範囲である請求項6に記載の固体電解コンデンサ素子の製造方法。
- 請求項1〜10のいずれかに記載の製造方法で得られた固体電解コンデンサ素子。
- 請求項11に記載の固体電解コンデンサ素子を封口した固体電解コンデンサ。
- 請求項12に記載の固体電解コンデンサを使用した電子回路。
- 請求項12に記載の固体電解コンデンサを使用した電子機器。
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