JP2006108546A - 積層型圧電セラミックス素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の圧電セラミックス層2の相互間に、貴金属もしくは卑金属を主成分とする複数の内部電極層3をそれぞれ配置する。内部電極層の露出部に外部電極4を電気的に接続する。さらに、圧電セラミックス層と内部電極層との間に中間層7を形成し、圧電セラミックス層と内部電極層との反応を緩和する。
【選択図】 図2
Description
2 圧電セラミックス層
3 内部電極層
4 外部電極
5 リード線
6 変位方向
7 中間層
Claims (9)
- 複数の圧電セラミックス層と、前記圧電セラミックス層の相互間にそれぞれ配置された貴金属もしくは卑金属を主成分とする複数の内部電極層と、前記内部電極層の露出部に電気的に接続された外部電極と、前記圧電セラミックス層と前記内部電極層との間に形成された、前記圧電セラミックス層と前記内部電極層との反応を緩和する中間層とを含むことを特徴とする積層型圧電セラミックス素子。
- 前記中間層は、PbO、SiO2、Li2O、Bi2O3、GeO2、ZnO、BaO、SrO、CaOのうち少なくとも1つを含む複合酸化物である、請求項1に記載の積層型圧電セラミックス素子。
- 前記圧電セラミックス層は、ジルコン酸チタン酸鉛系セラミックスまたはジルコン酸チタン酸鉛に第3成分を加えてなる、マグネシウムニオブ酸鉛系、ニッケルニオブ酸鉛系、マンガンニオブ酸鉛系、アンチモンニオブ酸鉛系、亜鉛ニオブ酸鉛系、及びこれらの複合の組成のうちの一つからなる、請求項1に記載の積層型圧電セラミックス素子。
- 前記内部電極層は、銀、銀パラジウム合金、及び銅のうちの一つを含む、請求項1に記載の積層型圧電セラミックス素子。
- 前記銀パラジウム合金のパラジウム含有量が30%未満である、請求項4に記載の積層型圧電セラミックス素子。
- 複数の圧電セラミックス層と、前記圧電セラミックス層の相互間に配置された貴金属もしくは卑金属を主成分とする複数の内部電極層と、前記内部電極層の露出部に電気的に接続された外部電極とを含む積層型圧電セラミックス素子の製造方法であって、前記圧電セラミックス層と前記内部電極層との間に、前記圧電セラミックス層と前記内部電極層との反応を緩和する中間層を形成することを特徴とする積層型圧電セラミックス素子の製造方法。
- 前記圧電セラミックス層は圧電セラミックス仮焼粉末を用いて作られ、前記内部電極層は内部電極原料粉末を用いて作られ、前記圧電セラミックス仮焼粉末及び前記内部電極原料粉末の少なくとも一方に、SiO2、Li2O、Bi2O3、GeO2、ZnO、BaO、SrO、CaOのうち少なくとも1つを含む複合酸化物を0.2重量%以上、5重量%以下になるように添加し、焼結工程の後に、熱処理工程を有する、請求項6に記載の積層型圧電セラミックス素子の製造方法。
- 前記焼結工程が750℃以上かつ1000℃以下の焼結温度で行われ、熱処理工程が前記焼結温度以上かつ1000℃以下で行われる、請求項7に記載の積層型圧電セラミックス素子の製造方法。
- 前記熱処理工程の保持時間が10分以上かつ10時間未満である、請求項7に記載の積層型圧電セラミックス素子の製造方法。
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