JP2006108346A - チップ型半導体素子とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高濃度N型層1とN型エピタキシャル層2と高濃度P型半導体層3と相対結晶欠陥量の分布4と電極6と裏面メタル7を備え、スイッチング動作をさせた際に相対結晶欠陥量の分布4のピークが、高濃度P型半導体層3とN型エピタキシャル層2の接合面より高濃度N型層1側に離れた深さに位置することにより、結晶欠陥のキャリアライフタイムキラーとしての働きの速さを適切に制御することが出来るのでチップ型半導体素子の組み込まれる回路の誘導負荷成分に基づくリンギング現象を抑制する事が出来る。
【選択図】図1
Description
2 半導体基板のN型エピタキシャル層
3 高濃度P型半導体層
4 相対結晶欠陥量の分布
5、107 絶縁皮膜
5a 高濃度P型半導体層拡散窓
6 電極
7 裏面メタル
8 電子線
9 遮蔽マスク
9a 電子線照射窓
101 半導体基板
102 N型層
103 高濃度N型層
106 高濃度P型層
109 PN接合面
110 拡散調整用膜
111 重金属を含む膜
112 ランプ
112a 電源
112b 制御装置
113 赤外線
114 重金属拡散領域
Claims (5)
- 半導体基板の高濃度第一導電型層の上層に半導体基板の第一導電型エピタキシャル層を有し、
該半導体基板の前記第一導電型エピタキシャル層の表面から層内へ延在した高濃度第二導電型半導体層を有し、
前記半導体基板の第一主面を占める前記第一導電型エピタキシャル層の表面領域と前記高濃度第二導電型半導体層の表面領域とを該高濃度第二導電型半導体層の表面領域の中央部に窓開けされた絶縁皮膜が覆って形成され、
前記絶縁皮膜で覆われない前記高濃度第二導電型半導体層の表面から前記絶縁皮膜の表面周辺へ延在した電極を有し、
前記半導体基板の第二主面を占める半導体基板の高濃度第一導電型層の表面上に裏面メタルを有し、
前記半導体基板の前記第一主面と前記第二主面との間に、該第一と第二の主面に対して垂直方向に存在密度の分布をもった結晶欠陥を有する事を特徴とするチップ型半導体素子。 - 前記結晶欠陥の存在密度分布のピークが前記高濃度第二導電型半導体層と前記半導体基板の第一導電型エピタキシャル層との接合面よりも前記半導体基板の第二主面側に離れた深さに位置する事を特徴とする請求項1に記載のチップ型半導体素子。
- 高濃度第一導電型層の上層に第一導電型エピタキシャル層を有する半導体基板の第一導電型エピタキシャル層の表面に熱酸化法によって絶縁皮膜である酸化皮膜を形成し、
前記絶縁皮膜の中央部をフォトリソグラフィーにて選択的にエッチング除去して窓開けする事により前記半導体基板の第一導電型エピタキシャル層の表面を露出させ、
該露出させた半導体基板の第一導電型エピタキシャル層の表面上に第二導電型のドーパントを含む層を形成し、
前記第二導電型のドーパントを熱拡散法にてドライブ拡散して高濃度第二導電型半導体層を形成する高濃度第二導電型半導体層形成工程と、
前記高濃度第二導電型半導体層の露出面から前記絶縁皮膜の表面周辺へ延在した電極を蒸着法または、めっき法にて形成し、
前記半導体基板の高濃度第一導電型層の表面が占める前記半導体基板の第二主面を研削研磨して該半導体基板を厚み調整し、
前記半導体基板の第二主面上に裏面メタルを蒸着法にて形成する電極形成工程と、
前記半導体基板の第二主面側より500keVないし800keVの加速電圧で加速した電子線を照射する電子線照射工程とから成る事を特徴とするチップ型半導体素子の製造方法。 - 前記電子線照射工程で前記半導体基板の第二主面側より、窓開けされた遮蔽マスクを介して電子線を照射する事を特徴とする請求項3に記載のチップ型半導体素子の製造方法。
- 前記電子線照射工程で前記半導体基板の第二主面側より、厚みに変化をもたせた遮蔽マスクを介して電子線を照射する事を特徴とする請求項3または4に記載のチップ型半導体素子の製造方法。
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