JP2006100653A - 配線基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】配線基板を、複数のスルーホールを備えたコア基板と、スルーホール内壁面を含むコア基板の裏面の所定部位に配設された二酸化珪素膜と、コア基板の表面の所定部位に形成された二酸化珪素絶縁層と、この二酸化珪素絶縁層の表面と同一面をなすように埋設された複数の配線と、上記スルーホール内に位置する表裏導通層と、この表裏導通層と所望の配線とを接続するビアと、を備えたものとし、上記のスルーホールの少なくとも一部はピッチ20〜200μmの範囲で穿設された内径10〜100μmのスルーホールであり、上記の配線の最小幅は0.1〜10μmの範囲とする。
【選択図】 図1
Description
このため、コア基板の製造方法として種々の配線方法が提案、実施されるようになり(特許文献1、特許文献2)、これらのコア基板上に配線層を形成した多層配線基板が用いられている。
また、狭ピッチ化と多ピン化による高密度実装に伴い、配線基板と半導体チップ等との電気的接続は、従来のワイヤーボンディング技術に代わり、半導体チップをフェースダウン実装するフリップチップ技術等が用いられるようになっている。しかし、半導体チップは、IC、LSI等の集積回路素子の高密度化が進むとともに動作速度が年々上昇し、半導体チップ内部で発生するスイッチングノイズが集積回路素子を誤動作させる要因になるという問題があった。このスイッチングノイズを低減させるためには、電源バスラインと接地バスラインとの間にキャパシタを配置することが有効である。
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、高密度配線が可能で信頼性に優れた配線基板と、このような配線基板を簡便に製造するための製造方法を提供することを目的とする。
本発明の他の態様として、下層である二酸化珪素絶縁層に埋設された配線と、上層である二酸化珪素絶縁層に埋設された配線とが、上層である二酸化珪素絶縁層を介して一対の電極として対向してなるキャパシタを備えるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記キャパシタを構成する一対の電極の一方が、抵抗配線を介して配線に接続しているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記抵抗配線は、クロム、チタン、窒化チタン、ニッケル、バナジウムの少なくとも1種を含有するような構成とした。
本発明の他の態様として、配線はパターンコイルからなるインダクタを含むような構成とした。
本発明の他の態様として、キャパシタとインダクタからなるフィルタ回路、あるいは、キャパシタと抵抗配線からなるフィルタ回路を具備するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記キャパシタは、前記二酸化珪素絶縁層を介して交互に積層された複数対の電極からなるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記コア基板は、XY方向の熱膨張係数が2〜20ppmの範囲内であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記コア基板は、シリコン基板であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記下地導電薄膜をクロム、チタン、窒化チタン、ニッケル、バナジウムの少なくとも1種を含有するものとし、前記下部電極および/または前記上部電極と配線との間に、前記下地導電薄膜のみからなる抵抗配線を形成するように前記電解めっき部位を研磨することにより、前記キャパシタと前記抵抗配線とからなるフィルタ回路を形成するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記キャパシタに接続する配線にパターンコイルからなるインダクタを形成し、該インダクタと前記キャパシタとでフィルタ回路を形成するような構成とした。
また、本発明の製造方法では、配線用の溝部に電解めっき部位を埋めるようにして配線を形成するので、二酸化珪素絶縁層への溝部形成を高精細とすることにより、配線も高精細なものとすることが容易であり、また、スルーホール内の表裏導通層やビアの形成と同時に配線の形成が可能であり、製造効率が高いものとなる。
[配線基板]
図1は、本発明の配線基板の一実施形態を示す部分縦断面図である。図1において、本発明の配線基板11は、コア基板12と、このコア基板12に穿設された複数のスルーホール13と、スルーホール13内に位置する表裏導通層15と、コア基板12の表面12aに形成された二酸化珪素絶縁層16a,16bと、各二酸化珪素絶縁層16a,16bに、表面が二酸化珪素絶縁層と同一面となるように埋設された配線17a,17bと、上記の表裏導通層15と配線17aとを接続するビア18a、配線17aと配線17bとを接続するビア18bとを備えている。そして、コア基板12の裏面12bには表裏導通層15が露出している。
二酸化珪素絶縁層16aに、表面が同一面となるように埋設された配線17aは、1層目の配線であり、ビア18aを介して、表裏導通層15に接続されている。また、二酸化珪素絶縁層16bに、表面が同一面となるように埋設された配線17bは、2層目の配線であり、所望の配線17bがビア18bを介して1層目の配線17aに接続されている。このような配線17a,17bの最小幅は0.1〜10μmの範囲であり、これにより高密度配線が可能である。尚、上下導通のためのビア18a,18bのうち、ビア18aは、スルーホール13内に位置する表裏導通層15が延設された状態で形成されたものである。
上記のような表裏導通層15の材質、配線17a,17bの材質、ビア18a,18bの材質は、銅、銀、金等の導電材料とすることができる。
図1に示した配線基板11は、2層の二酸化珪素絶縁層16a,16b(2層の配線17a,17b)を備えたものであるが、本発明では二酸化珪素絶縁層が1層のみであってもよく、また、3層以上の二酸化珪素絶縁層を備えるものであってもよい。
この配線基板31は、キャパシタ40を備えている点、および、4層の二酸化珪素絶縁層36a,36b,36c,36d(4層の配線37a,37b,37c,37d)を備えている点を除いて、上述の配線基板11と基本構造が同じである。したがって、コア基板32、スルーホール33、二酸化珪素膜34、表裏導通層35、二酸化珪素絶縁層36a,36b,36c,36d、配線37a,37b,37c,37d、ビア38a,38b,38c,38dは、上述の配線基板11のコア基板12、スルーホール13、二酸化珪素膜14、表裏導通層15、二酸化珪素絶縁層16a,16b、配線17a,17b、ビア18a,18bと同様とすることができる。
各二酸化珪素絶縁層56a,56b,56c,56dは、それぞれ表面が二酸化珪素絶縁層と同一面となるように埋設された配線57a,57b,57c,57dを備えている。これら4層の配線57a,57b,57c,57dは、それぞれビア58a,58b,58c,58dを介して、下層に位置する表裏導通層55、配線57a,57b,57cに接続されている。
このような本発明の配線基板51では、受動素子であるキャパシタ60と抵抗配線63を備えるので、外付けで受動素子を実装する場合に比べて、半導体装置の小型化が可能となる。また、キャパシタ60と抵抗配線63とによりフィルタ回路が形成されている。
尚、図示例では、受動素子としてキャパシタ60と抵抗配線63を備えているが、受動素子の配設位置、種類、個数には特に制限はない。例えば、受動素子として、パターンコイルからなるインダクタを配線中に備えてもよく、この場合、キャパシタとインダクタからなるフィルタ回路を形成することができる。また、要求される静電容量に応じて、キャパシタを、複数の二酸化珪素絶縁層を介して交互に積層された複数対の電極からなるものとしてもよい。
次に、本発明の配線基板の製造方法を図面を参照しながら説明する。
図5〜図8は、本発明の配線基板の製造方法の一実施形態を、上述の配線基板11を例として説明するための工程図である。
本発明の配線基板の製造方法では、まず、コア基板12の表面12aに二酸化珪素絶縁層16aを形成する(図5(A))。この二酸化珪素絶縁層16aは、プラズマCVD法等の真空成膜法、珪素酸化物の前駆体溶液等を用いた塗布方法等により形成することができる。
尚、コア基板12の裏面12bにもマスクパターンを形成し、両面からサンドブラスト法によりスルーホール13を形成してもよく、また、二酸化珪素絶縁層16a側からコア基板12に上述のいずれかの方法により所定の深さで微細孔を形成し、その後、コア基板12の裏面12bを研磨して微細孔を露出させることによりスルーホール13を形成してもよい。
次に、二酸化珪素膜14上と二酸化珪素絶縁層16a上に下地導電薄膜75aを形成する(図6(C))。二酸化珪素膜14および二酸化珪素絶縁層16aは、無電解めっき用の触媒を付与することが困難であり、また、微細なスルーホール13内部の二酸化珪素膜14上にも下地導電薄膜を確実に形成するために、本発明では、無電解めっき法を用いずに下地導電薄膜75aを形成する。例えば、まず、プラズマを利用したMOCVD(Metal Organic − Chemical Vapor Deposition)を用いて窒化チタン膜を二酸化珪素膜14および二酸化珪素絶縁層16a上に設けてバリアメタル層とする。次いで、この窒化チタン膜上に、スパッタリング法等により銅、Ni等の薄膜を形成して下地導電薄膜75aを形成する。
次に、1層目の二酸化珪素絶縁層16a上に第2の二酸化珪素絶縁層16bを積層する(図7(B))。この二酸化珪素絶縁層16bも、上述の二酸化珪素絶縁層16aと同様に、プラズマCVD法等の真空成膜法、珪素酸化物の前駆体溶液等を用いた塗布方法等により形成することができる。
次に、下層である二酸化珪素絶縁層16aに形成されている所望の配線17aが露出するように、二酸化珪素絶縁層16bに所定の大きさで微細孔を穿設してビア用孔部74を形成する(図7(D))。ビア用孔部74は、例えば、溝部72bを覆うように、所定の開口部を有するマスクパターンを二酸化珪素絶縁層16b上に形成し、このマスクパターンをマスクとしてエッチング加工により形成することができる。エッチング加工としては、例えば、ICP−RIE法によるドライエッチング、あるいは、ウエットエッチングを用いることができる。また、サンドブラスト法によりビア用孔部74を形成してもよい。形成するビア用孔部74の内径は、10〜100μm、好ましくは5〜50μmの範囲で適宜設定することができる。
次に、上記の下地導電薄膜75bを給電層として電解めっきにより、ビア用孔部74内、および、二酸化珪素絶縁層16bの溝部72bに電解めっき部位77bを形成する(図8(B))。電解めっきによる電解めっき部位77bの形成は、上述の電解めっき部位77aの形成方法と同様に行なうことができる。
また、上述の2層目形成工程を必要な数繰り返すことにより、多層構造の配線基板を容易に製造することができる。
本発明の配線基板の製造方法では、まず、上述の配線基板11の製造方法と同様にして、コア基板22に穿設された複数のスルーホール23と、コア基板22の表面22a側に形成された二酸化珪素絶縁層26aと、この二酸化珪素絶縁層26aに表面が露出するように埋設された複数の配線27aと、各スルーホール23内壁面とコア基板22の裏面22bに形成された二酸化珪素膜24と、各スルーホール23に充填された表裏導通層25を形成する(図9(A))。
次に、1層目の二酸化珪素絶縁層26a上に第2の二酸化珪素絶縁層26bを積層し、この二酸化珪素絶縁層26bに複数の溝部82を形成する(図9(B))。二酸化珪素絶縁層26bも、上述の二酸化珪素絶縁層16aと同様に、プラズマCVD法等の真空成膜法、珪素酸化物の前駆体溶液等を用いた塗布方法等により形成することができる。
新たなスルーホール23の形成は、上述の二酸化珪素絶縁層16aとコア基板12へのスルーホール13の形成と同様に行なうことができる。また、ビア用孔部84の形成は、上述のビア用孔部74の形成と同様に行うことができる。
次に、コア基板22の両面(下地導電薄膜85上)に所望のレジストパターン86を形成し、上記の下地導電薄膜85を給電層として電解めっきにより、スルーホール23内、ビア用孔部84内、および、二酸化珪素絶縁層26bの溝部82に電解めっき部位87を形成する(図10(A))。レジストパターン86の形成、および、電解めっき部位87の形成は、上述のレジストパターン76aの形成方法、電解めっき部位77aの形成方法と同様に行なうことができる。
次いで、上述の図7(B)〜図8(C)と同様の工程により、3層目の二酸化珪素絶縁層26c、配線27c、ビア28cを積層して形成することにより、本発明の配線基板21が得られる(図10(C))。
本発明の配線基板の製造方法では、まず、上述の図5(A)〜図6(D)までの工程と同様にして、コア基板32の表面32a側に二酸化珪素絶縁層36aを形成し、この二酸化珪素絶縁層36aに配線用の溝部92aを形成し、コア基板32と二酸化珪素絶縁層36aに複数のスルーホール33を形成し、スルーホール33の内壁面を含むコア基板32の裏面32bに二酸化珪素膜34を形成し、二酸化珪素膜34上と二酸化珪素絶縁層36a上に下地導電薄膜95aを形成し、コア基板32の両面(下地導電薄膜95a上)に所望のレジストパターン96aを形成し、上記の下地導電薄膜95aを給電層として電解めっきにより、スルーホール33の内壁面、および、二酸化珪素絶縁層36aの溝部92aに電解めっき部位97aを形成する(図11(A))。ただし、上記の溝部92aの一部は、配線に接続した電極を形成するための溝部とする。
次に、1層目の二酸化珪素絶縁層36a上に第2の二酸化珪素絶縁層36bを積層し、この二酸化珪素絶縁層36bに配線用の複数の溝部92bを形成する(図11(C))。ただし、上記の溝部92bの一部は、配線に接続した電極を形成するための溝部とする。二酸化珪素絶縁層36bは、上述の二酸化珪素絶縁層16aと同様に、プラズマCVD法等の真空成膜法、珪素酸化物の前駆体溶液等を用いた塗布方法等により形成することができる。また、溝部92bの形成は、上述の二酸化珪素絶縁層16aへの溝部72aの形成と同様に行なうことができる。
次いで、上述の図7(B)〜図8(C)と同様の工程により、二酸化珪素絶縁層36c,36d、配線37c,37d、ビア38c,38dを積層して形成することにより、本発明の配線基板31が得られる(図12(B))。
本発明の配線基板の製造方法では、まず、上述の図5(A)〜図6(B)までの工程と同様にして、コア基板52の表面52a側に二酸化珪素絶縁層56aを形成し、この二酸化珪素絶縁層56aに配線用の溝部102を形成し、コア基板52と二酸化珪素絶縁層56aに複数のスルーホール53を形成し、スルーホール53の内壁面を含むコア基板52の裏面52bに二酸化珪素膜54を形成する(図13(A))。ただし、上記の溝部102の一部は、配線に接続した電極を形成するための溝部とし、また、この電極と配線とを接続するための抵抗配線用の溝部102′を備えたものとする。この溝部102′は、後述する下地導電薄膜の厚みに相当する深さ(0.05〜0.2μm程度)を有するものとする。
次に、コア基板52の両面(下地導電薄膜105上)に所望のレジストパターン106を形成し、上記の下地導電薄膜105を給電層として電解めっきにより、スルーホール53内、および、二酸化珪素絶縁層56aの溝部102,102′に電解めっき部位107を形成する(図13(C))。レジストパターン106は、上述のレジストパターン76aと同様にして形成することができる。また、電解めっきは、電解銅めっき、電解銀めっき、電解金めっき等により行なうことができる。
次に、1層目の二酸化珪素絶縁層56a上に、上述の図11(C)〜図12(A)と同様の工程で、二酸化珪素絶縁層56bに配線57b、ビア58bと、配線57bに接続した上部電極62を形成する(図14(B))。この上部電極62は、二酸化珪素絶縁層56bを介して上記の下部電極61と対向する位置に配設され、これにより、キャパシタ60が形成される。
次いで、上述の図7(B)〜図8(C)の工程と同様にして、二酸化珪素絶縁層56c,56d、配線57c,57d、ビア58c,58dを積層して形成することにより、本発明の配線基板51が得られる(図14(C))。
[実施例1]
厚み300μmのシリコン基板を準備し、このシリコン基板の表面に、1050℃、120分間の熱酸化処理を施して二酸化珪素絶縁層(厚み1μm)を形成した。
次に、上記の二酸化珪素絶縁層上にプラズマCVD法により窒化シリコン膜(厚み5μm)を成膜した。次いで、この窒化シリコン膜上に、ポジ型フォトレジスト(東京応化工業(株)製 OFPR−800)を塗布し、配線および下部電極を形成するためのフォトマスクを介して露光、現像することによりレジストパターンを形成した。次に、CF4をエッチングガスとして、レジストパターンから露出している窒化シリコン膜をドライエッチングし、その後、レジストパターンを専用剥離液で剥離し、窒化シリコンからなるマスクパターンを形成した。このマスクパターンは、配線用の開口(幅1μm)と、この配線用の開口の所望の先端に形成された下部電極用の開口(100μm×100μmの正方形)を備えるものであった。
次に、アセトンを用いてマスクパターンを除去した後、二酸化珪素絶縁層に形成した溝部を覆うように、再度、プラズマCVD法により窒化シリコン膜(厚み5μm)を成膜した。次いで、この窒化シリコン膜上に、ポジ型フォトレジスト(東京応化工業(株)製 OFPR−800)を塗布し、スルーホール形成用のフォトマスクを介して露光、現像することによりレジストパターンを形成した。次に、CF4をエッチングガスとして、レジストパターンから露出している窒化シリコン膜をドライエッチングし、その後、レジストパターンを専用剥離液で剥離し、窒化シリコンからなるマスクパターンを形成した。このマスクパターンは、上記の配線用の溝部の各端部に、直径が30μmである円形開口を有するものであり、各円形開口には、配線用の溝部の端部が約30μm露出したものであった。
次に、アセトンを用いてマスクパターンを除去した。次いで、スルーホールが形成されたシリコン基板に熱酸化処理(1050℃、20分間)を施して、スルーホール内壁面を含むシリコン基板の裏面に二酸化珪素膜を形成した。
次いで、シリコン基板の両面にドライフィルムレジスト(旭化成(株)製APR)をラミネートした。そして、二酸化珪素絶縁層を備える面のドライフィルムレジストを、上記の溝部(配線用、下部電極用)とスルーホールを露出させるためのフォトマスクを介し露光、現像してレジストパターン(厚み15μm)を形成した。また、他方の面のドライフィルムレジストを、電極パッド形成用のフォトマスクを介し露光、現像してレジストパターン(厚み15μm)を形成した。
次いで、アセトンを用いてレジストパターンを除去し、その後、化学的機械研磨により、シリコン基板の両面に露出している電解めっき部位と下地導電薄膜、窒化チタン膜を除去し、スルーホール内と、溝部内のみに電解めっき部位を残した。これにより、図11(B)に示されるように、溝部に配線と下部電極が形成され、スルーホールには表裏導通層が充填され、これに連設したビアを有する1層目の二酸化珪素絶縁層を形成した。形成された配線は、上記の溝部の形状と同様に微細なパターンであり、かつ、断線のないものであった。
次に、この1層目の二酸化珪素絶縁層上に、上記と同様にして第2の二酸化珪素絶縁層を形成した。
次に、第2の二酸化珪素絶縁層上に、プラズマCVD法により窒化シリコン膜(厚み5μm)を成膜した。次いで、この窒化シリコン膜上に、ポジ型フォトレジスト(東京応化工業(株)製 OFPR−800)を塗布し、ビア形成用のフォトマスクを介して露光、現像することによりレジストパターンを形成した。次に、CF4をエッチングガスとして、レジストパターンから露出している窒化シリコン膜をドライエッチングし、その後、レジストパターンを専用剥離液で剥離し、窒化シリコンからなるマスクパターンを形成した。次に、ICP−RIE装置により、マスクパターンから露出している第2の二酸化珪素絶縁層を、エッチングガスにSF6を用いてドライエッチングしてビア用孔部を形成した。このビア用孔部は、開口径が10μmであり、1層目の二酸化珪素絶縁層が備えている配線、ビアが露出するものであった。
次いで、下地導電薄膜上、およびシリコン基板の裏面に感光性レジスト(東京応化工業(株)製 LA900)を塗布した。そして、下地導電薄膜を被覆している感光性レジストを、第2の二酸化珪素絶縁層に形成した溝部(配線用、上部電極用)とビア用孔部とスルーホールとを露出させるためのフォトマスクを介し露光、現像してレジストパターン(厚み15μm)を形成した。また、他方の面の感光性レジストを露光、現像して全面にレジスト層(厚み15μm)を形成した。
次いで、アセトンを用いてレジストパターンを除去し、その後、化学的機械研磨により、シリコン基板の表面側に露出している電解めっき部位と下地導電薄膜、窒化チタン膜を除去し、溝部内、ビア用孔部内のみに電解めっき部位を残した。これにより、図12(A)に示されるように、溝部に配線と上部電極が形成され、ビア用孔部にビアが形成された2層目の二酸化珪素絶縁層を形成した。形成された配線は、上記の溝部の形状と同様に微細なパターンであり、かつ、断線のないものであった。
上記のように形成した下部電極と上部電極が2層目の二酸化珪素絶縁層を介して対向する箇所はキャパシタを構成するものであり、このキャパシタの静電容量を測定した結果、約0.1μF/cm2であり、十分な静電容量をもつことが確認された。
実施例1における1層目の二酸化珪素絶縁層への溝部形成において、下部電極用の溝部に連設された配線用の溝部に、抵抗配線用の溝部(幅500μm、深さ0.1μm)を、1000μmの長さ形成し、下地導電薄膜として、スパッタリング法によりクロムと銅からなる下地導電薄膜(厚み0.05μm)を形成した他は、実施例1と同様にして、スルーホールを充填し、かつ、二酸化珪素絶縁層に形成された溝部を埋めた電解めっき部位を形成する工程まで進めた。
12,22,32,52…コア基板
13,23,33,53…スルーホール
14,24,34,54…二酸化珪素膜
15,25,35,55…表裏導通層
16a,16b,26a,26b,26c,36a,36b,36c,36d,56a,56b,56c,56d…二酸化珪素絶縁層
17a,17b,27a,27b,27c,36a,37b,37c,37d,57a,57b,57c,57d…配線
18a,18b,28a,28b,28c,38a,38b,38c,38d,58a,58b,58c,58d…ビア
40,60…キャパシタ
41,61…下部電極
42,62…上部電極
63…抵抗配線
72a,72b,82,92a,92b,102,102′…溝部
77a,77b,87,97a,107…電解めっき部位
Claims (16)
- 複数のスルーホールを備えたコア基板と、前記スルーホール内壁面を含むコア基板の裏面の所定部位に配設された二酸化珪素膜と、前記コア基板の表面の所定部位に形成された二酸化珪素絶縁層と、該二酸化珪素絶縁層の表面と同一面をなすように埋設された複数の配線と、前記スルーホール内に位置する表裏導通層と、該表裏導通層と所望の前記配線とを接続するビアと、を備え、前記スルーホールの少なくとも一部はピッチ20〜200μmの範囲で穿設された内径10〜100μmのスルーホールであり、前記配線の最小幅は0.1〜10μmの範囲であることを特徴とする配線基板。
- 前記二酸化珪素絶縁層は2層以上の多層構造であることを特徴とする請求項1に記載の配線基板。
- 下層である二酸化珪素絶縁層に埋設された配線と、上層である二酸化珪素絶縁層に埋設された配線とが、上層である二酸化珪素絶縁層を介して一対の電極として対向してなるキャパシタを備えることを特徴とする請求項2に記載の配線基板。
- 前記キャパシタを構成する一対の電極の一方が、抵抗配線を介して配線に接続していることを特徴とする請求項3に記載の配線基板。
- 前記抵抗配線は、クロム、チタン、窒化チタン、ニッケル、バナジウムの少なくとも1種を含有することを特徴とする請求項4に記載の配線基板。
- 前記抵抗配線を介してキャパシタに接続されている前記配線が、前記コア基板のスルーホール内の前記表裏導通層に接続されていることを特徴とする請求項4または請求項5に記載の配線基板。
- 配線はパターンコイルからなるインダクタを含むことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の配線基板。
- キャパシタとインダクタからなるフィルタ回路、あるいは、キャパシタと抵抗配線からなるフィルタ回路を具備することを特徴とする請求項4乃至請求項7のいずれかに記載の配線基板。
- 前記キャパシタは、前記二酸化珪素絶縁層を介して交互に積層された複数対の電極からなることを特徴とする請求項3乃至請求項8のいずれかに記載の配線基板。
- 前記コア基板は、XY方向の熱膨張係数が2〜20ppmの範囲内であることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれかに記載の配線基板。
- 前記コア基板は、シリコン基板であることを特徴とする請求項10に記載の配線基板。
- コア基板の表面に二酸化珪素絶縁層を形成する工程と、
該二酸化珪素絶縁層の所望部位に配線用の溝部を形成する工程と、
該溝部の一部に掛かるように前記二酸化珪素絶縁層とコア基板に微細孔を穿設してスルーホールを形成する工程と、
該スルーホール内壁面を含む前記コア基板の裏面の所定の部位に二酸化珪素膜を形成する工程と、
該二酸化珪素膜上および前記二酸化珪素絶縁層上に下地導電薄膜を形成する工程と、
該下地導電薄膜上に所望のレジストパターンを形成し、前記下地導電薄膜を給電層として電解めっきにより、前記スルーホール内壁面と前記二酸化珪素絶縁層の前記溝部に電解めっき部位を形成する工程と、
前記レジストパターンを除去し、前記溝部に電解めっき部位が残るように不要な電解めっき部位と下地導電薄膜を研磨して除去することにより、前記スルーホール内に表裏導通層を形成するとともに、二酸化珪素絶縁層の表面に露出した配線と、該配線と前記表裏導通層とを接続したビアを形成する工程と、を有することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記配線を覆うように、前記二酸化珪素絶縁層上に更に第2の二酸化珪素絶縁層を形成する工程と、
該第2の二酸化珪素絶縁層の所望部位に配線用の溝部を形成する工程と、
下層の所望の配線が露出するように、前記溝部の一部に掛かるようにビア用孔部を形成する工程、および/または、前記溝部の一部に掛かるように、積層状態の二酸化珪素絶縁層とコア基板とに微細孔を穿設してスルーホールとし、該スルーホール内壁面に二酸化珪素膜を形成する工程と、
前記ビア用孔部、および/または、前記スルーホール内壁面を含む前記コア基板表面側に下地導電薄膜を形成する工程と、
該下地導電薄膜上に所望のレジストパターンを形成し、前記下地導電薄膜を給電層として電解めっきにより、少なくとも第2の二酸化珪素絶縁層の前記溝部に電解めっき部位を形成する工程と、
前記レジストパターンを除去し、前記溝部に電解めっき部位が残るように不要な電解めっき部位と下地導電薄膜を研磨して除去することにより、ビアを介して下層の配線や表裏導通層と接続された配線を、第2の二酸化珪素絶縁層の表面に露出した状態で形成する工程と、
からなる第2層目形成工程を有し、該第2層目形成工程を1回以上行なって多層構造の配線を形成することを特徴とする請求項12に記載の配線基板の製造方法。 - 下層に位置する前記二酸化珪素絶縁層が備える配線の一部に下部電極を形成し、上層に位置する前記二酸化珪素絶縁層が備える配線の一部に上部電極を形成し、上層である前記二酸化珪素絶縁層を介して前記下部電極と前記上部電極が対向するキャパシタを形成することを特徴とする請求項13に記載の配線基板の製造方法。
- 前記下地導電薄膜をクロム、チタン、窒化チタン、ニッケル、バナジウムの少なくとも1種を含有するものとし、前記下部電極および/または前記上部電極と配線との間に、前記下地導電薄膜のみからなる抵抗配線を形成するように前記電解めっき部位を研磨することにより、前記キャパシタと前記抵抗配線とからなるフィルタ回路を形成することを特徴とする請求項14に記載の配線基板の製造方法。
- 前記キャパシタに接続する配線にパターンコイルからなるインダクタを形成し、該インダクタと前記キャパシタとでフィルタ回路を形成することを特徴とする請求項14または請求項15に記載の配線基板の製造方法。
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