JP2006100289A - 段差付き凹部の形成方法 - Google Patents
段差付き凹部の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006100289A JP2006100289A JP2002324801A JP2002324801A JP2006100289A JP 2006100289 A JP2006100289 A JP 2006100289A JP 2002324801 A JP2002324801 A JP 2002324801A JP 2002324801 A JP2002324801 A JP 2002324801A JP 2006100289 A JP2006100289 A JP 2006100289A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist layer
- substrate
- recess
- stepped
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
- B81C1/00103—Structures having a predefined profile, e.g. sloped or rounded grooves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/03—Static structures
- B81B2203/0323—Grooves
- B81B2203/033—Trenches
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Weting (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】所望形状の段差部が凹部内に形成できる段差付き凹部の形成方法を提供する。
【解決手段】基板10の一面側に開口された凹部18内に、基板面よりも低面の段差面が形成された段差部20を具備する段差付き凹部を形成する際に、該基板10の一面側に、凹部18を形成する箇所の基板表面が露出するように第1レジスト層12を形成した後、基板10の露出面に第2レジスト層16を形成し、次いで、第1レジスト層12及び第2レジスト層16から露出する基板10の露出面にエッチングを施し、所定深さの第1凹部15を形成した後、第2レジスト層16を選択的に除去して露出した段差形成面及び第1凹部15の底面を含む全面にエッチングを施し、前記段差付き凹部を形成し、その後、第1レジスト層12を除去することを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】基板10の一面側に開口された凹部18内に、基板面よりも低面の段差面が形成された段差部20を具備する段差付き凹部を形成する際に、該基板10の一面側に、凹部18を形成する箇所の基板表面が露出するように第1レジスト層12を形成した後、基板10の露出面に第2レジスト層16を形成し、次いで、第1レジスト層12及び第2レジスト層16から露出する基板10の露出面にエッチングを施し、所定深さの第1凹部15を形成した後、第2レジスト層16を選択的に除去して露出した段差形成面及び第1凹部15の底面を含む全面にエッチングを施し、前記段差付き凹部を形成し、その後、第1レジスト層12を除去することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は段付き凹部の形成方法に関し、更に詳細には基板の一面側に開口された凹部内に、前記基板面よりも低面の段差面が形成された段差部を具備する段差付き凹部の形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
基板の一面側に開口された凹部内に、基板面よりも低面の段差面が形成された段差部を具備する段差付き凹部を形成する方法としては、例えば下記の特許文献1に提案されている方法がある。
【0003】
【特許文献1】
特開平5−120734号公報([0019]、図5)
【0004】
かかる特許文献1に提案された方法を図5に示す。図5に示す方法では、先ず、基板100の一面側にレジスト層102を形成する[図5(a)]。このレジスト層102には、段付き凹部を形成する箇所の基板表面が底面に露出するように凹部104,104・・を形成する[図5(b)]。この凹部104,104・・は、例えばレジスト層102をフォトレジストによって形成した後、露光・現像することによって形成できる。
このレジスト層102に形成した凹部104,104・・の底面に露出している基板100の露出面には、エッチングを施して所定深さの第1凹部106,106・・を形成する[図5(c)]。
次いで、レジスト層102に形成した凹部104,104・・の各々を拡径して拡径凹部105,105・・を形成し、段差部を形成する部分の基板100の表面を露出する[図5(d)]。
更に、拡径凹部105の形成によって露出した基板100の露出面及び第1凹部106の底面を含む全面にエッチングを施した後、レジスト層102を除去することによって、基板100の一面側に開口された凹部108内に、基板面よりも低面の段差面が形成された段差部100を具備する段差付き凹部を形成できる[図5(e)、図5(f)]。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
図5に示す方法によれば、エッチングによって、基板の一面側に開口された凹部内に、基板面よりも低面の段差面が形成された段差部を具備する段差付き凹部を形成できる。
ところで、図5に示す方法では、レジスト層102に形成した凹部104,104・・の各々を拡径して拡径凹部105,105・・を形成し、段差部を形成する部分の基板100の表面を露出している。かかる拡径凹部105,105・・を形成する際には、凹部104の壁面を形成するレジスト層102を横方向に等方的に拡径することが必要である。
しかし、レジスト層102を、その厚さ等が等しい均一層として形成することは極めて困難である。このため、拡径凹部105,105・・を形成する際に、凹部104の壁面を形成するレジスト層102を横方向に等方的に拡径するように制御することは困難である。
このため、形成した段差部110が所望形状と異なる事態が発生するおそれがある。
そこで、本発明の課題は、所望形状の段差部が凹部内に形成できる段差付き凹部の形成方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、前記課題を解決すべく検討を重ねた結果、基板の一面側に、段差付き凹部を形成する箇所の基板表面が露出するように第1レジスト層を形成した後、基板の露出面の段差部を形成する箇所に第2レジスト層を形成し、次いで、第1レジスト層と第2レジスト層とから露出する基板の露出面にエッチングを施した後、第2レジスト層を選択的に除去して露出した段差形成面及びエッチングが施されたエッチング面に、更にエッチングを施すことにより、所望形状の段差部が凹部内に形成できることを見出し、本発明に到達した。
【0007】
すなわち、本発明は、基板の一面側に開口された凹部内に、前記基板面よりも低面の段差面が形成された段差部を具備する段差付き凹部を形成する際に、該基板の一面側に、前記凹部を形成する箇所の基板表面が露出するように第1レジスト層を形成した後、前記基板の露出面の段差部を形成する箇所に第2レジスト層を形成し、次いで、前記第1レジスト層及び第2レジスト層から露出している前記基板の露出面にエッチングを施し、所定深さの第1凹部を形成した後、前記第2レジスト層を選択的に除去し露出した段差形成面及び前記第1凹部の底面を含む全面にエッチングを施して前記段差付き凹部を形成し、その後、前記第1レジスト層を除去することを特徴とする段差付き凹部の形成方法にある。
かかる本発明において、第2レジスト層を、第1レジスト層を形成するレジストと組成の異なるレジストによって形成することによって、第2レジスト層を容易に選択的に除去できる。
また、基板としては、シリコンウェーハを用いることによって、同時に多数個の段付き凹部を形成できる。
更に、第1レジスト層及び第2レジスト層を、基板を回転しつつ液状のレジストを滴下して塗布するスピンコート法によって形成することにより、レジスト層を容易に形成できる。
【0008】
本発明によれば、第1レジスト層及び第2レジスト層から露出している基板の露出面にエッチングを施し、所定深さの凹部を形成した後、第2レジスト層を選択的に除去することによって、基板の段差形成面を露出できる。このため、同一レジスト層に既に形成した凹部を拡径して基板の段差形成面を露出する従来の方法の如く、凹部の壁面を形成するレジスト層を横方向に等方的に拡径するように制御することを要しない。
したがって、本発明によれば、従来の方法に比較して、確実に且つ正確に基板の段差形成面を露出できる結果、所望形状の段差部が凹部内に形成された段差付き凹部を基板に形成できる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明に係る段付き凹部の形成方法の一例を図1に示す。図1は、凹部の中央部に段差部が形成された段付き凹部の形成方法である。
先ず、シリコンウェーハを基板10に用い、基板10を回転しつつ液状のレジストを、基板10の一面側に滴下して塗布するスピンコート法によって第1レジスト層12を形成する。
この第1レジスト層12、段差付き凹部を形成するする箇所の基板10の表面が露出するように凹部14を形成する[図1(a)]。この凹部14は、フォトレジストから成る第1レジスト層12を形成した後、露光・現像することによって形成できる。
【0010】
かかる凹部14の底面に露出する基板10の露出面には、その中央部に第2レジスト層16を形成する[図1(b)]。この第2レジスト層16は、段差部を形成する箇所に形成されている。
第2レジスト層16は、基板10を回転しつつ液状のフォトレジストを、基板10の一面側に滴下して塗布するスピンコート法によって、凹部14の底面上及び第1レジスト層12の表面上にレジスト層を形成した後、凹部14の中央部のレジスト層のみに露光し、次いで未露光部分を除去する現像によって形成できる。かかる露光及び現像は、凹部14内の液状のフォトレジストの厚さ等が、メニスカス等の影響によって不均一になり易いため、従来よりも時間を掛けて施すことが好ましい。
【0011】
所定箇所に第1レジスト層12と第2レジスト層16とが形成された基板10の露出面には、エッチングを施し、所定深さの第1凹部15を基板10の一面側に形成する[図1(c)]。このエッチングは、公知のエッチング法を採用でき、エッチング液を用いたウェットエッチング又はプラズマやレーザを用いたドライエッチングを採用できる。
かかるエッチングの際に、第2レジスト層16が形成された基板10の部分は、第2レジスト層16がマスクとなってエッチングされず、第2レジスト層16を選択的に除去することによって、第1凹部15の中央部に突出する段差部20aを形成できる[図1(d)]。
【0012】
この様に、第2レジスト層16を選択的に除去するには、第2レジスト層16を、第1レジスト層12を形成するレジストとは組成を異にするレジストによって形成することが好ましい。
例えば、第1レジスト層12としては、主成分がフェノール系樹脂から成り、副成分としてメラミン系、エポキシ系及び感光剤等を含む液状のレジストを、基板10の一面側に塗布した後、加熱処理を施して耐環境性を付与した第1レジスト層12が好適である。
一方、第2レジスト層16としては、主成分がノボラック樹脂やナフトキノンジアジド誘電体から成る液状のフォトレジストから成る第2レジスト層16が好適である。この第2レジスト層16によれば、専用剥離液によって第2レジスト層16を容易に剥離できるが、この専用剥離液に対して第1レジスト層12は耐久性を呈するからである。
【0013】
次いで、第1凹部15の中央部に突出する段差部20aの段差形成面及び第1凹部15の底面を含む全面にエッチングを施すことによって、基板10の一面側に開口された凹部18の中央部に、基板10の基板面よりも低面の段差面が形成された段差部20を具備する段差付き凹部を形成できる[図1(e)]。かかるエッチングも、公知のエッチング法を採用でき、エッチング液を用いたウェットエッチング又はプラズマやレーザを用いたドライエッチングを採用できる。
その後、第1レジスト層12を、アッシング等によって除去し、段差付き凹部が形成された基板10を得ることができる。
【0014】
得られた段差付き凹部が形成された基板10は、例えば図2に示す様に、キャップ30として用いることができる。
図2に示すキャップ30は、携帯電話等に用いられるものであって、配線基板40に実装された半導体素子42を他の部品からの電磁波等から隔離されるように被着される。この際に、基板10の段付き凹部は、その凹部18の中央部に形成された段差部20の段差面は、半導体素子42の背面に当接し、基板10の基板面は、配線基板40の基板面に当接する。
【0015】
図1において、第1レジスト層12及び第2レジスト層16を略同一厚さに形成しているが、第2レジスト層16を第1レジスト層12よりも薄く形成してもよい。
また、図1において、第1レジスト層12に形成した凹部14の底面に露出する基板面の中央部のみに第2レジスト層16を形成しているが、図3に示す様に、第1レジスト層12の上面及び凹部14の底面に露出する基板面の中央部に第2レジスト層16を形成してもよい。この場合、第2レジスト層16を、第1レジスト層12よりも薄く形成することが、凹部14の中央部に第2レジスト層16を確実に且つ正確に形成できる。
かかる図3に示す第1レジスト層12を5〜8μmの厚さとし、第2レジスト層16を1〜2μmの厚さとすることが好ましい。
【0016】
図1〜図3においては、凹部18の中央部に段差部20が形成された段付き凹部の形成方法について説明したが、図4には、凹部18の壁面近傍に段差部20が形成された段付き凹部の形成方法を示す。
先ず、図1(a)に示す様に、シリコンウェーハを基板10に用い、基板10を回転しつつ液状のレジストを、基板10の一面側に滴下して塗布するスピンコート法によって第1レジスト層12を形成する。この第1レジスト層12、段差付き凹部を形成するする箇所の基板10の表面が露出するように凹部14を形成する。
かかる凹部14内には、その壁面に沿って第2レジスト層16を形成する[図4(a)]。この第2レジスト層16には、底面に基板10の基板面が露出する凹部17が形成されている。
第2レジスト層16は、基板10を回転しつつ液状のレジストを基板10の一面側に滴下して塗布するスピンコート法によって、凹部14の底面上及び第1レジスト層12の表面上にレジスト層を形成した後、凹部14の壁面に沿って壁面近傍のレジスト層のみに露光し、次いで未露光部分を除去する現像により形成できる。
【0017】
凹部17の底面に露出する基板10の基板面には、エッチングを施し所定深さの第1凹部19を基板10に形成する[図4(b)]。このエッチングは、公知のエッチング法を採用でき、エッチング液を用いたウェットエッチング又はプラズマやレーザを用いたドライエッチングを採用できる。
次いで、第2レジスト層16を選択的に除去し、段差部を形成する基板面を第1レジスト層12に形成した凹部14の底面に露出する[図4(c)]。
この様に、第2レジスト層16を選択的に除去する際に、図1に示す第2レジスト層16と同様に、第2レジスト層16を、第1レジスト層12を形成するレジストとは組成を異にするレジストによって形成することが好ましい。この場合においても、第1レジスト層12としては、主成分がフェノール系樹脂から成り、副成分としてメラミン系、エポキシ系及び感光剤等を含む液状のレジストを、基板10の一面側に塗布した後、加熱処理を施して耐環境性を付与した第1レジスト層12が好適である。
更に、第2レジスト層16としては、主成分がノボラック樹脂やナフトキノンジアジド誘電体から成る液状のフォトレジストから成る第2レジスト層16が好適である。
【0018】
図4(c)に示す第2レジスト層が除去されて露出した基板面及び第1凹部19の底面を含む面には、再度、エッチングを施すことによって、凹部18の壁面近傍に段差部20が形成された段付き凹部を形成できる[図4(d)]。このエッチングも、公知のエッチング法を採用でき、エッチング液を用いたウェットエッチング又はプラズマやレーザを用いたドライエッチングを採用できる。
その後、第1レジスト層12をアッシング等によって除去することによって、段付き凹部が形成された基板を得ることができる。
【0019】
以上説明した図1〜図4では、基板10に1個の段差付き凹部を形成する例について説明してきたが、基板10に複数個の段差付き凹部を同時に形成してもよい。
また、基板10としても、セラミックウェーハの他に、ガラス基板や樹脂基板を用いることができる。
更に、図1に示す方法で形成した段差付き凹部を具備する基板は、半導体素子のキャップとして用いられているが、種々の形状の段差付き凹部を基板に形成でき、キャップ以外の種々の用途に用いられる段付き凹部を基板に形成できる。
【0020】
【発明の効果】
本発明によれば、所望形状の段差部が凹部内に形成された段差付き凹部を基板に形成でき、種々の用途に用いられる段付き凹部が形成された基板を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る段付き凹部の形成方法の一例を説明する工程図である。
【図2】図1で得られた段付き凹部を具備する基板の用途の一例を説明する部分断面図である。
【図3】本発明に係る段付き凹部の形成方法の他の例を説明する部分断面図である。
【図4】本発明に係る段付き凹部の形成方法の他の例を説明する工程図である。
【図5】従来の段付き凹部の形成方法を説明する工程図である。
【符号の説明】
10 基板
12 第1レジスト層
14 第1レジスト層12に形成した凹部
15,19 基板10に形成した第1凹部
18 基板10に形成した凹部
16 第2レジスト層
17 第2レジスト層16に形成した凹部
20a エッチング前の段差部
20 段差部
【発明の属する技術分野】
本発明は段付き凹部の形成方法に関し、更に詳細には基板の一面側に開口された凹部内に、前記基板面よりも低面の段差面が形成された段差部を具備する段差付き凹部の形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
基板の一面側に開口された凹部内に、基板面よりも低面の段差面が形成された段差部を具備する段差付き凹部を形成する方法としては、例えば下記の特許文献1に提案されている方法がある。
【0003】
【特許文献1】
特開平5−120734号公報([0019]、図5)
【0004】
かかる特許文献1に提案された方法を図5に示す。図5に示す方法では、先ず、基板100の一面側にレジスト層102を形成する[図5(a)]。このレジスト層102には、段付き凹部を形成する箇所の基板表面が底面に露出するように凹部104,104・・を形成する[図5(b)]。この凹部104,104・・は、例えばレジスト層102をフォトレジストによって形成した後、露光・現像することによって形成できる。
このレジスト層102に形成した凹部104,104・・の底面に露出している基板100の露出面には、エッチングを施して所定深さの第1凹部106,106・・を形成する[図5(c)]。
次いで、レジスト層102に形成した凹部104,104・・の各々を拡径して拡径凹部105,105・・を形成し、段差部を形成する部分の基板100の表面を露出する[図5(d)]。
更に、拡径凹部105の形成によって露出した基板100の露出面及び第1凹部106の底面を含む全面にエッチングを施した後、レジスト層102を除去することによって、基板100の一面側に開口された凹部108内に、基板面よりも低面の段差面が形成された段差部100を具備する段差付き凹部を形成できる[図5(e)、図5(f)]。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
図5に示す方法によれば、エッチングによって、基板の一面側に開口された凹部内に、基板面よりも低面の段差面が形成された段差部を具備する段差付き凹部を形成できる。
ところで、図5に示す方法では、レジスト層102に形成した凹部104,104・・の各々を拡径して拡径凹部105,105・・を形成し、段差部を形成する部分の基板100の表面を露出している。かかる拡径凹部105,105・・を形成する際には、凹部104の壁面を形成するレジスト層102を横方向に等方的に拡径することが必要である。
しかし、レジスト層102を、その厚さ等が等しい均一層として形成することは極めて困難である。このため、拡径凹部105,105・・を形成する際に、凹部104の壁面を形成するレジスト層102を横方向に等方的に拡径するように制御することは困難である。
このため、形成した段差部110が所望形状と異なる事態が発生するおそれがある。
そこで、本発明の課題は、所望形状の段差部が凹部内に形成できる段差付き凹部の形成方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、前記課題を解決すべく検討を重ねた結果、基板の一面側に、段差付き凹部を形成する箇所の基板表面が露出するように第1レジスト層を形成した後、基板の露出面の段差部を形成する箇所に第2レジスト層を形成し、次いで、第1レジスト層と第2レジスト層とから露出する基板の露出面にエッチングを施した後、第2レジスト層を選択的に除去して露出した段差形成面及びエッチングが施されたエッチング面に、更にエッチングを施すことにより、所望形状の段差部が凹部内に形成できることを見出し、本発明に到達した。
【0007】
すなわち、本発明は、基板の一面側に開口された凹部内に、前記基板面よりも低面の段差面が形成された段差部を具備する段差付き凹部を形成する際に、該基板の一面側に、前記凹部を形成する箇所の基板表面が露出するように第1レジスト層を形成した後、前記基板の露出面の段差部を形成する箇所に第2レジスト層を形成し、次いで、前記第1レジスト層及び第2レジスト層から露出している前記基板の露出面にエッチングを施し、所定深さの第1凹部を形成した後、前記第2レジスト層を選択的に除去し露出した段差形成面及び前記第1凹部の底面を含む全面にエッチングを施して前記段差付き凹部を形成し、その後、前記第1レジスト層を除去することを特徴とする段差付き凹部の形成方法にある。
かかる本発明において、第2レジスト層を、第1レジスト層を形成するレジストと組成の異なるレジストによって形成することによって、第2レジスト層を容易に選択的に除去できる。
また、基板としては、シリコンウェーハを用いることによって、同時に多数個の段付き凹部を形成できる。
更に、第1レジスト層及び第2レジスト層を、基板を回転しつつ液状のレジストを滴下して塗布するスピンコート法によって形成することにより、レジスト層を容易に形成できる。
【0008】
本発明によれば、第1レジスト層及び第2レジスト層から露出している基板の露出面にエッチングを施し、所定深さの凹部を形成した後、第2レジスト層を選択的に除去することによって、基板の段差形成面を露出できる。このため、同一レジスト層に既に形成した凹部を拡径して基板の段差形成面を露出する従来の方法の如く、凹部の壁面を形成するレジスト層を横方向に等方的に拡径するように制御することを要しない。
したがって、本発明によれば、従来の方法に比較して、確実に且つ正確に基板の段差形成面を露出できる結果、所望形状の段差部が凹部内に形成された段差付き凹部を基板に形成できる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明に係る段付き凹部の形成方法の一例を図1に示す。図1は、凹部の中央部に段差部が形成された段付き凹部の形成方法である。
先ず、シリコンウェーハを基板10に用い、基板10を回転しつつ液状のレジストを、基板10の一面側に滴下して塗布するスピンコート法によって第1レジスト層12を形成する。
この第1レジスト層12、段差付き凹部を形成するする箇所の基板10の表面が露出するように凹部14を形成する[図1(a)]。この凹部14は、フォトレジストから成る第1レジスト層12を形成した後、露光・現像することによって形成できる。
【0010】
かかる凹部14の底面に露出する基板10の露出面には、その中央部に第2レジスト層16を形成する[図1(b)]。この第2レジスト層16は、段差部を形成する箇所に形成されている。
第2レジスト層16は、基板10を回転しつつ液状のフォトレジストを、基板10の一面側に滴下して塗布するスピンコート法によって、凹部14の底面上及び第1レジスト層12の表面上にレジスト層を形成した後、凹部14の中央部のレジスト層のみに露光し、次いで未露光部分を除去する現像によって形成できる。かかる露光及び現像は、凹部14内の液状のフォトレジストの厚さ等が、メニスカス等の影響によって不均一になり易いため、従来よりも時間を掛けて施すことが好ましい。
【0011】
所定箇所に第1レジスト層12と第2レジスト層16とが形成された基板10の露出面には、エッチングを施し、所定深さの第1凹部15を基板10の一面側に形成する[図1(c)]。このエッチングは、公知のエッチング法を採用でき、エッチング液を用いたウェットエッチング又はプラズマやレーザを用いたドライエッチングを採用できる。
かかるエッチングの際に、第2レジスト層16が形成された基板10の部分は、第2レジスト層16がマスクとなってエッチングされず、第2レジスト層16を選択的に除去することによって、第1凹部15の中央部に突出する段差部20aを形成できる[図1(d)]。
【0012】
この様に、第2レジスト層16を選択的に除去するには、第2レジスト層16を、第1レジスト層12を形成するレジストとは組成を異にするレジストによって形成することが好ましい。
例えば、第1レジスト層12としては、主成分がフェノール系樹脂から成り、副成分としてメラミン系、エポキシ系及び感光剤等を含む液状のレジストを、基板10の一面側に塗布した後、加熱処理を施して耐環境性を付与した第1レジスト層12が好適である。
一方、第2レジスト層16としては、主成分がノボラック樹脂やナフトキノンジアジド誘電体から成る液状のフォトレジストから成る第2レジスト層16が好適である。この第2レジスト層16によれば、専用剥離液によって第2レジスト層16を容易に剥離できるが、この専用剥離液に対して第1レジスト層12は耐久性を呈するからである。
【0013】
次いで、第1凹部15の中央部に突出する段差部20aの段差形成面及び第1凹部15の底面を含む全面にエッチングを施すことによって、基板10の一面側に開口された凹部18の中央部に、基板10の基板面よりも低面の段差面が形成された段差部20を具備する段差付き凹部を形成できる[図1(e)]。かかるエッチングも、公知のエッチング法を採用でき、エッチング液を用いたウェットエッチング又はプラズマやレーザを用いたドライエッチングを採用できる。
その後、第1レジスト層12を、アッシング等によって除去し、段差付き凹部が形成された基板10を得ることができる。
【0014】
得られた段差付き凹部が形成された基板10は、例えば図2に示す様に、キャップ30として用いることができる。
図2に示すキャップ30は、携帯電話等に用いられるものであって、配線基板40に実装された半導体素子42を他の部品からの電磁波等から隔離されるように被着される。この際に、基板10の段付き凹部は、その凹部18の中央部に形成された段差部20の段差面は、半導体素子42の背面に当接し、基板10の基板面は、配線基板40の基板面に当接する。
【0015】
図1において、第1レジスト層12及び第2レジスト層16を略同一厚さに形成しているが、第2レジスト層16を第1レジスト層12よりも薄く形成してもよい。
また、図1において、第1レジスト層12に形成した凹部14の底面に露出する基板面の中央部のみに第2レジスト層16を形成しているが、図3に示す様に、第1レジスト層12の上面及び凹部14の底面に露出する基板面の中央部に第2レジスト層16を形成してもよい。この場合、第2レジスト層16を、第1レジスト層12よりも薄く形成することが、凹部14の中央部に第2レジスト層16を確実に且つ正確に形成できる。
かかる図3に示す第1レジスト層12を5〜8μmの厚さとし、第2レジスト層16を1〜2μmの厚さとすることが好ましい。
【0016】
図1〜図3においては、凹部18の中央部に段差部20が形成された段付き凹部の形成方法について説明したが、図4には、凹部18の壁面近傍に段差部20が形成された段付き凹部の形成方法を示す。
先ず、図1(a)に示す様に、シリコンウェーハを基板10に用い、基板10を回転しつつ液状のレジストを、基板10の一面側に滴下して塗布するスピンコート法によって第1レジスト層12を形成する。この第1レジスト層12、段差付き凹部を形成するする箇所の基板10の表面が露出するように凹部14を形成する。
かかる凹部14内には、その壁面に沿って第2レジスト層16を形成する[図4(a)]。この第2レジスト層16には、底面に基板10の基板面が露出する凹部17が形成されている。
第2レジスト層16は、基板10を回転しつつ液状のレジストを基板10の一面側に滴下して塗布するスピンコート法によって、凹部14の底面上及び第1レジスト層12の表面上にレジスト層を形成した後、凹部14の壁面に沿って壁面近傍のレジスト層のみに露光し、次いで未露光部分を除去する現像により形成できる。
【0017】
凹部17の底面に露出する基板10の基板面には、エッチングを施し所定深さの第1凹部19を基板10に形成する[図4(b)]。このエッチングは、公知のエッチング法を採用でき、エッチング液を用いたウェットエッチング又はプラズマやレーザを用いたドライエッチングを採用できる。
次いで、第2レジスト層16を選択的に除去し、段差部を形成する基板面を第1レジスト層12に形成した凹部14の底面に露出する[図4(c)]。
この様に、第2レジスト層16を選択的に除去する際に、図1に示す第2レジスト層16と同様に、第2レジスト層16を、第1レジスト層12を形成するレジストとは組成を異にするレジストによって形成することが好ましい。この場合においても、第1レジスト層12としては、主成分がフェノール系樹脂から成り、副成分としてメラミン系、エポキシ系及び感光剤等を含む液状のレジストを、基板10の一面側に塗布した後、加熱処理を施して耐環境性を付与した第1レジスト層12が好適である。
更に、第2レジスト層16としては、主成分がノボラック樹脂やナフトキノンジアジド誘電体から成る液状のフォトレジストから成る第2レジスト層16が好適である。
【0018】
図4(c)に示す第2レジスト層が除去されて露出した基板面及び第1凹部19の底面を含む面には、再度、エッチングを施すことによって、凹部18の壁面近傍に段差部20が形成された段付き凹部を形成できる[図4(d)]。このエッチングも、公知のエッチング法を採用でき、エッチング液を用いたウェットエッチング又はプラズマやレーザを用いたドライエッチングを採用できる。
その後、第1レジスト層12をアッシング等によって除去することによって、段付き凹部が形成された基板を得ることができる。
【0019】
以上説明した図1〜図4では、基板10に1個の段差付き凹部を形成する例について説明してきたが、基板10に複数個の段差付き凹部を同時に形成してもよい。
また、基板10としても、セラミックウェーハの他に、ガラス基板や樹脂基板を用いることができる。
更に、図1に示す方法で形成した段差付き凹部を具備する基板は、半導体素子のキャップとして用いられているが、種々の形状の段差付き凹部を基板に形成でき、キャップ以外の種々の用途に用いられる段付き凹部を基板に形成できる。
【0020】
【発明の効果】
本発明によれば、所望形状の段差部が凹部内に形成された段差付き凹部を基板に形成でき、種々の用途に用いられる段付き凹部が形成された基板を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る段付き凹部の形成方法の一例を説明する工程図である。
【図2】図1で得られた段付き凹部を具備する基板の用途の一例を説明する部分断面図である。
【図3】本発明に係る段付き凹部の形成方法の他の例を説明する部分断面図である。
【図4】本発明に係る段付き凹部の形成方法の他の例を説明する工程図である。
【図5】従来の段付き凹部の形成方法を説明する工程図である。
【符号の説明】
10 基板
12 第1レジスト層
14 第1レジスト層12に形成した凹部
15,19 基板10に形成した第1凹部
18 基板10に形成した凹部
16 第2レジスト層
17 第2レジスト層16に形成した凹部
20a エッチング前の段差部
20 段差部
Claims (4)
- 基板の一面側に開口された凹部内に、前記基板面よりも低面の段差面が形成された段差部を具備する段差付き凹部を形成する際に、
該基板の一面側に、前記凹部を形成する箇所の基板表面が露出するように第1レジスト層を形成した後、前記基板の露出面の段差部を形成する箇所に第2レジスト層を形成し、
次いで、前記第1レジスト層及び第2レジスト層から露出している前記基板の露出面にエッチングを施し、所定深さの第1凹部を形成した後、
前記第2レジスト層を選択的に除去し露出した段差形成面及び前記第1凹部の底面を含む全面にエッチングを施して前記段差付き凹部を形成し、
その後、前記第1レジスト層を除去することを特徴とする段差付き凹部の形成方法。 - 第2レジスト層を、第1レジスト層を形成するレジストと組成の異なるレジストによって形成する請求項1記載の段付き凹部の形成方法。
- 基板として、シリコンウェーハを用いる請求項1又は請求項2記載の段付き凹部の形成方法。
- 第1レジスト層及び第2レジスト層を、基板を回転しつつ液状のレジストを滴下して塗布するスピンコート法によって形成する請求項1〜3のいずれか一項記載の段付き凹部の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002324801A JP2006100289A (ja) | 2002-11-08 | 2002-11-08 | 段差付き凹部の形成方法 |
PCT/JP2003/013654 WO2004041711A1 (ja) | 2002-11-08 | 2003-10-24 | 段差付き凹部の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002324801A JP2006100289A (ja) | 2002-11-08 | 2002-11-08 | 段差付き凹部の形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006100289A true JP2006100289A (ja) | 2006-04-13 |
Family
ID=32310454
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002324801A Pending JP2006100289A (ja) | 2002-11-08 | 2002-11-08 | 段差付き凹部の形成方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006100289A (ja) |
WO (1) | WO2004041711A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4992576B2 (ja) * | 2007-06-29 | 2012-08-08 | 富士通株式会社 | マイクロ構造体製造方法およびマイクロ構造体 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2778996B2 (ja) * | 1989-06-30 | 1998-07-23 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
JPH03196522A (ja) * | 1989-12-25 | 1991-08-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP3309620B2 (ja) * | 1995-01-27 | 2002-07-29 | 富士電機株式会社 | ドライエッチングによる部品の製造方法 |
JPH10269541A (ja) * | 1997-03-28 | 1998-10-09 | Citizen Watch Co Ltd | 多段形状の形成方法と磁気ヘッドスライダの製造方法 |
KR100499118B1 (ko) * | 2000-02-24 | 2005-07-04 | 삼성전자주식회사 | 단결정 실리콘 웨이퍼를 이용한 일체형 유체 노즐어셈블리 및 그 제작방법 |
-
2002
- 2002-11-08 JP JP2002324801A patent/JP2006100289A/ja active Pending
-
2003
- 2003-10-24 WO PCT/JP2003/013654 patent/WO2004041711A1/ja not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2004041711A1 (ja) | 2004-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4534984B2 (ja) | 金属フォトエッチング製品の製造方法 | |
US8530147B2 (en) | Patterning process | |
CN116825618A (zh) | 台阶微结构的制备方法 | |
JP4206669B2 (ja) | エッチングパターン形成方法 | |
JP2004221450A (ja) | プリント配線板およびその製造方法 | |
US20090061635A1 (en) | Method for forming micro-patterns | |
JP2006100289A (ja) | 段差付き凹部の形成方法 | |
JP3879478B2 (ja) | レジストパターンの形成方法、該レジストパターンを用いたパターニング方法及び薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
JPH08272107A (ja) | レジストパターンの形成方法 | |
KR100673099B1 (ko) | 반도체소자의 미세패턴 형성 방법 | |
JP3874268B2 (ja) | パターン化薄膜およびその形成方法 | |
KR100866681B1 (ko) | 반도체 소자의 패턴 형성방법 | |
KR100596860B1 (ko) | 반도체소자의 미세패턴 형성 방법 | |
US6951708B2 (en) | Method of forming photosensitive film pattern | |
JPH09320981A (ja) | 深溝底部における電極パターン形成方法 | |
JP4267298B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
KR20030032179A (ko) | 레지스트 패턴의 형성방법 | |
JP2000260765A (ja) | 有機絶縁膜のパターン形成方法 | |
KR20050059820A (ko) | 반도체 소자의 미세패턴 형성방법 | |
KR0144229B1 (ko) | 반도체 소자의 미세 콘택 형성 방법 | |
JP2003198101A (ja) | パターン転写用型の製造方法 | |
JPH0821574B2 (ja) | パタ−ン形成方法 | |
JP2005084312A (ja) | レジストパターニング方法及び半導体装置の製造方法 | |
JPH06268073A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH01302841A (ja) | 半導体装置の配線形成方法 |