JP2006100263A - 洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、マスク10を所定の洗浄液により洗浄処理する第1及び第2の洗浄槽21,22と、当該洗浄槽21,22の洗浄液を真空蒸留する真空蒸留器30と、真空蒸留された洗浄液を室温に冷却する第1の冷却器31と、第1の冷却器31により冷却された洗浄液を第2の洗浄槽22に還流させる第1の還流管101と、マスク10を所定のリンス液によりリンス処理する第1及び第2のリンス槽51,52と、当該リンス槽51,52のリンス液を常圧下で蒸留する常圧蒸留器60と、常圧蒸留されたリンス液を室温に冷却する第2の冷却器61と、第2の冷却器61により冷却されたリンス液を第2のリンス槽52に還流させる第2の還流管102と、を備える。
【選択図】 図1
Description
ポンプ42を介して第2の洗浄槽22へ適宜流入する。
10 マスク 11 孔 12 金属フレーム 13 係止部
21 第1の洗浄槽 22 第2の洗浄槽
21a,22a 第1の超音波振動器
21b,22b 第1の攪拌器
21c,22c 第1の温度センサ
21d,22d 第1の液中キャリア
30 真空蒸留器 31 第1の冷却器
40 第1の温度調整器
51 第1のリンス槽 52 第2のリンス槽
51a,52a 第2の超音波振動器
51b,52b 第2の攪拌器
51c,52c 第2の温度センサ
51d,52d 第2の液中キャリア
54 回収槽 55 第3の冷却器
60 常圧蒸留器 61 第2の冷却器
70 第2の温度調整器
80 水分離槽
90 分離器
91 プール槽 91f 上限センサ 91e 下限センサ
101 第1の還流管 102 第2の還流管
200 ステージ
210 カセット
220 第1の移載装置
230 第2の移載装置
240 搬送装置 241 保持具 242 鉤部
Claims (14)
- マスクに付着した有機EL用の有機材料を除去する洗浄装置であって、
前記マスクを所定の洗浄液により洗浄処理する洗浄槽と、
前記洗浄槽からオーバーフローした前記洗浄液を真空蒸留する真空蒸留器と、
前記真空蒸留器により真空蒸留された前記洗浄液を室温に冷却する第1の冷却器と、
前記第1の冷却器により冷却された前記洗浄液を前記洗浄槽に還流させる第1の還流管と、
前記洗浄槽で洗浄された前記マスクを所定のリンス液によりリンス処理するリンス槽と、
前記リンス槽からオーバーフローした前記リンス液を常圧下で蒸留する常圧蒸留器と、
前記常圧蒸留器で常圧蒸留された前記リンス液を室温に冷却する第2の冷却器と、
前記第2の冷却器により冷却された前記リンス液を前記リンス槽に還流させる第2の還流管と、を備えることを特徴とする洗浄装置。 - 前記洗浄槽内に、前記洗浄液を振動させる第1の超音波振動器を備えることを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。
- 前記洗浄槽の洗浄液の温度を検出する第1の温度センサと、
前記第1の温度センサの検出結果に応じて前記洗浄槽内の前記洗浄液を室温に調整する第1の温度調整器と、を備えることを特徴とする請求項2記載の洗浄装置。 - 前記第1の温度調整器に第1の熱交換器を備え、
当該第1の温度調整器は、当該第1の熱交換器により冷却された前記洗浄液を前記洗浄槽へ流入させることにより当該洗浄槽内の前記洗浄液の温度を調整することを特徴とする請求項3記載の洗浄装置。 - 前記リンス槽内に、前記リンス液を振動させる第2の超音波振動器を備えることを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。
- 前記リンス槽のリンス液の温度を検出する第2の温度センサと、
前記第2の温度センサの検出結果に応じて前記リンス槽内の前記リンス液を室温に調整する第2の温度調整器と、を備えることを特徴とする請求項5記載の洗浄装置。 - 前記第2の温度調整器に第2の熱交換器を備え、
当該第2の温度調整器は、当該第2の熱交換器により冷却された前記リンス液を前記リンス槽へ流入させることにより当該リンス槽内の前記リンス液の温度を調整することを特徴とする請求項6記載の洗浄装置。 - 第3の冷却器を有した回収槽を備え、
前記回収槽は、当該第3の冷却器によって冷却されることにより、前記リンス槽内で蒸発した前記リンス液を回収し、
前記回収槽に回収された前記リンス液を、前記第2の還流管を通して前記リンス槽に還流させることを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。 - 前記回収槽に、当該回収槽内の温度を検出する第3の温度センサを備え、
前記第3の冷却器は、前記第3の温度センサを用いて、前記リンス槽内と前記回収槽内とで蒸気圧差が生じるように前記回収槽内を冷却することを特徴とする請求項8記載の洗浄装置。 - 前記第2の冷却器によって冷却された前記リンス液中の水分を分離する水分離槽を備え、
前記水分離槽を通した前記リンス液を、前記第2の還流管を通して前記リンス槽に還流させることを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。 - 前記回収槽によって回収された前記リンス液中の水分を分離する水分離槽を備え、
前記水分離槽を通した前記リンス液を、前記第2の還流管を通して前記リンス槽に還流させることを特徴とする請求項8または請求項9に記載の洗浄装置。 - 洗浄液を含有するリンス液を、洗浄液とリンス液とに分離する分離器と、
当該分離器により分離された洗浄液、及び前記常圧蒸留器の洗浄液を含有するリンス液を蓄積して再び前記分離器へ流入させるプール槽と、を備えることを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。 - 前記プール槽に、前記洗浄液及び前記リンス液の液面の下限を検出する下限センサを備え、
当該下限センサの検出結果に応じて、分離された洗浄液を前記真空蒸留器へ流入させることを特徴とする請求項12記載の洗浄装置。 - 前記所定のリンス液は、フッ素系溶媒であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13のいずれかに記載の洗浄装置。
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