JP2006090251A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006090251A5 JP2006090251A5 JP2004279163A JP2004279163A JP2006090251A5 JP 2006090251 A5 JP2006090251 A5 JP 2006090251A5 JP 2004279163 A JP2004279163 A JP 2004279163A JP 2004279163 A JP2004279163 A JP 2004279163A JP 2006090251 A5 JP2006090251 A5 JP 2006090251A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004279163A JP4594689B2 (ja) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004279163A JP4594689B2 (ja) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | 真空ポンプ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006090251A JP2006090251A (ja) | 2006-04-06 |
| JP2006090251A5 true JP2006090251A5 (enExample) | 2007-07-12 |
| JP4594689B2 JP4594689B2 (ja) | 2010-12-08 |
Family
ID=36231469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004279163A Expired - Lifetime JP4594689B2 (ja) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4594689B2 (enExample) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006016405B4 (de) * | 2006-04-07 | 2024-08-01 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit Antriebsgerät |
| JP5024507B2 (ja) * | 2006-04-12 | 2012-09-12 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ、及び真空装置 |
| JP4929939B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2012-05-09 | 株式会社島津製作所 | 一体型ターボ分子ポンプ |
| WO2008062598A1 (en) * | 2006-11-22 | 2008-05-29 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
| JP5156649B2 (ja) * | 2007-02-06 | 2013-03-06 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| CN102483069B (zh) * | 2009-08-28 | 2016-09-07 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵以及真空泵中使用的部件 |
| US9353755B2 (en) | 2010-03-11 | 2016-05-31 | Shimadzu Corporation | Turbomolecular pump device |
| JP5353838B2 (ja) * | 2010-07-07 | 2013-11-27 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| JP5673497B2 (ja) * | 2011-11-08 | 2015-02-18 | 株式会社島津製作所 | 一体型ターボ分子ポンプ |
| JP5768670B2 (ja) * | 2011-11-09 | 2015-08-26 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ装置 |
| JP6390098B2 (ja) | 2013-12-25 | 2018-09-19 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| JP6449551B2 (ja) * | 2014-03-12 | 2019-01-09 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプの制御装置とこれを備えた真空ポンプ |
| JP5700158B2 (ja) * | 2014-04-24 | 2015-04-15 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ装置 |
| JP6916413B2 (ja) * | 2017-04-25 | 2021-08-11 | 株式会社島津製作所 | 電源一体型真空ポンプ |
| JP6942610B2 (ja) * | 2017-07-14 | 2021-09-29 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法 |
| JP7022265B2 (ja) * | 2017-10-25 | 2022-02-18 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| JP7087418B2 (ja) * | 2018-02-02 | 2022-06-21 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| JP7124787B2 (ja) * | 2019-04-17 | 2022-08-24 | 株式会社島津製作所 | 電源一体型真空ポンプ |
| JP7467882B2 (ja) * | 2019-10-28 | 2024-04-16 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| IT202000004870A1 (it) * | 2020-03-09 | 2021-09-09 | Dab Pumps Spa | Elettropompa ad isolamento perfezionato della parte elettronica ed elemento dissipatore di calore per tale parte elettronica |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5890385U (ja) * | 1981-12-15 | 1983-06-18 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ポンプ |
| JP3519759B2 (ja) * | 1993-09-30 | 2004-04-19 | Ｎｔｎ株式会社 | 磁気軸受スピンドル |
| JP3476142B2 (ja) * | 2001-05-24 | 2003-12-10 | 日本電気株式会社 | 結露防止構造を備えた電子デバイス |
| JP2003269367A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
-
2004
- 2004-09-27 JP JP2004279163A patent/JP4594689B2/ja not_active Expired - Lifetime