JP2006089345A - 導電性多孔質セラミックス焼結体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸化チタンを主成分としNb、Taから選ばれる元素を少なくとも一種類以上含有し、その結晶格子定数が、4.5935Å<a<4.6006Å、または2.9590Å<c<2.9608Åであり、且つ体積抵抗率が105〜107Ω・cmの範囲内の導電性多孔質セラミックスとする。
【選択図】図2
Description
Claims (8)
- 酸化チタンを主成分としNb、Taから選ばれる元素を少なくとも一種類以上含有し、且つその結晶格子定数が、4.5935Å<a<4.6006Å、または2.9590Å<c<2.9608Åであり、且つ体積抵抗率が105〜107Ω・cmの範囲内であることを特徴とする導電性多孔質セラミックス焼結体。
- Nb、Taから選ばれる元素の含有量の合計が酸化物換算で0.3mol%〜1.5mol%であることを特徴とする請求項1に記載の導電性多孔質セラミックス焼結体。
- 抗折強度が50MPa以上であることを特徴とする請求項1〜請求項2のいずれかに記載の導電性多孔質セラミックス焼結体。
- 気孔率が10%〜45%の範囲にあることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の導電性多孔質セラミックス焼結体。
- 原料を調合、粉砕、乾燥、成型、焼成、加工を経て請求項1〜請求項4のいずれかに記載の導電性多孔質セラミックス焼結体を製造する方法であって、原料を湿式粉砕した後、粉砕したスラリーに有機バインダーを加えてスプレードライヤーで乾燥造粒させ、得られた造粒体と有機バインダーと調合水とを加え押出成形することを特徴とする導電性多孔質セラミックス焼結体の製造方法。
- 上記成形後、酸化雰囲気で焼成することを特徴とする請求項5に記載の導電性多孔質セラミックス焼結体の製造方法。
- 焼成時における最高温度を1000℃〜1300℃とすることを特徴とする請求項6に記載の導電性多孔質セラミックス焼結体の製造方法。
- 上記焼成後、焼結体の表面を0.01mm以上研削あるいは研磨することを特徴とする請求項5〜請求項7のいずれかに記載の導電性多孔質セラミックス焼結体の製造方法。
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