JP2006080494A - 表示装置及びその作製方法、並びにテレビジョン装置 - Google Patents
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Images
Classifications
-
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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Abstract
【解決手段】 本発明の表示装置の一は、絶縁表面上に設けられたゲート電極層及び画素電極層を有し、ゲート電極層上にゲート絶縁層を有し、ゲート絶縁層上に結晶性半導体層を有し、結晶性半導体層に接して一導電型を有する半導体層を有し、一導電性を有する半導体層に接してソース電極層及びドレイン電極層を有し、ソース電極層、ドレイン電極層及び画素電極層上に絶縁層を有し、絶縁層はソース電極層又はドレイン電極層に達する第1の開口部を有し、ゲート絶縁層及び絶縁層は画素電極層に達する第2の開口部を有し、第1の開口部及び第2の開口部に、ソース電極層又はドレイン電極層と画素電極層とが電気的に接続する配線層を有する。
【選択図】 図1
Description
本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する本発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。
本発明の実施の形態について、図10を用いて説明する。本実施の形態は、実施の形態1において、結晶性半導体膜のゲッタリング工程が異なる例である。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
本発明の実施の形態として、図11を用いて説明する。本実施の形態は、nチャネル型薄膜トランジスタ及びpチャネル型薄膜トランジスタの2種類の薄膜トランジスタを作製する例である。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
本発明の実施の形態として、図12を用いて説明する。本実施の形態は、nチャネル型薄膜トランジスタ及びpチャネル型薄膜トランジスタの2種類の薄膜トランジスタを作製する例である。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
本発明の実施の形態として、図13を用いて説明する。本実施の形態は、nチャネル型薄膜トランジスタ及びpチャネル型薄膜トランジスタの2種類の薄膜トランジスタを作製する例であり、ゲッタリングの工程が異なる例である。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
本実施の形態を、図14乃至18を用いて説明する。本実施の形態は、画素領域を実施の形態1で作製した画素領域で、周辺駆動回路領域も本発明を用いた薄膜トランジスタにより作製され、実施の形態2で作製されるnチャネル型薄膜トランジスタ及びpチャネル型薄膜トランジスタからなるCMOSを適用している。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
本実施の形態では、実施の形態6における表示装置において、配線間の接続構造が異なる例を図19を用いて説明する。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
実施の形態1では、ゲート電極層と、ソース電極層又はドレイン電極層(ソース配線層も含む)及び容量配線層とがゲート絶縁層を介して積層し、ソース電極層又はドレイン電極層(ソース配線層も含む)とゲート配線層とが層間絶縁層を介して積層している多層構造を用いている。本実施の形態では、これらの積層構造が異なる例を図31乃至図36、及び図41を用いて説明する。図31(A)乃至図33(A)は、表示装置の上面図であり、図31(B)乃至図33(B)は、図31(A)乃至図33(A)において線X1−V1、線X2−V2、線X3−V3による断面図である。図34(A)乃至図36(A)は、表示装置の上面図であり、図34(B)乃至図36(B)は、図34(A)乃至図36(A)において線Y1−Z1、線Y2−Z2、線Y3−Z3による断面図である。
次に、実施の形態1乃至7によって作製される表示パネルに駆動用のドライバ回路を実装する態様について説明する。
本実施の形態では、上記実施の形態において、ゲート電極層とソース電極層及びドレイン電極層との端部の位置関係、即ちゲート電極層の幅とチャネル長の大きさの関係について、図25を用いて説明する。
上記実施の形態において、チャネル形成領域表面に対して垂直な端部を有するソース電極層及びドレイン電極層を示したが、この構造に限定されない。本実施の形態では、一導電型を有する半導体層の形状が異なる例を図24を用いて説明する。
本実施の形態では、上記実施の形態に適応可能な半導体膜の結晶化工程を図22及び図23を用いて説明する。
本発明の半導体装置に具備される保護回路の一例について説明する。
本発明を適用して薄膜トランジスタを形成し、該薄膜トランジスタを用いて表示装置を形成することができるが、発光素子を用いて、なおかつ、該発光素子を駆動するトランジスタとしてN型トランジスタを用いた場合、該発光素子から発せられる光は、下面放射、上面放射、両面放射のいずれかを行う。ここでは、それぞれの場合に応じた発光素子の積層構造について、図46を用いて説明する。
本実施の形態で示す表示パネルの画素の構成について、図47に示す等価回路図を参照して説明する。
図20は、本発明を適用して作製されるTFT基板2800を用いてEL表示モジュールを構成する一例を示している。図20において、TFT基板2800上には、画素により構成された画素部が形成されている。
上記実施の形態により作製される表示パネル(液晶表示パネル、EL表示パネル)によって、テレビジョン装置(液晶テレビジョン装置、ELテレビジョン装置)を完成させることができる。表示パネルには、図29(A)で示すような構成として画素部のみが形成されて走査線側駆動回路と信号線側駆動回路とが、図30(B)のようなTAB方式により実装される場合と、図30(A)のようなCOG方式により実装される場合と、図29(B)に示すようにSASでTFTを形成し、画素部と走査線側駆動回路を基板上に一体形成し信号線側駆動回路を別途ドライバICとして実装する場合、また図29(C)のように画素部と信号線側駆動回路と走査線側駆動回路を基板上に一体形成する場合などがあるが、どのような形態としても良い。
本発明を適用して、様々な表示装置を作製することができる。即ち、それら表示装置を表示部に組み込んだ様々な電子機器に本発明を適用できる。
本発明の実施の形態について、図48乃至図53、図7、図8、図9を用いて説明する。より詳しくは、本発明を適用した液晶表示装置の作製方法について説明する。まず、本発明を適用した、チャネルエッチ型の薄膜トランジスタを有する液晶表示装置の作製方法について説明する。図49〜図53(A)は液晶表示装置画素部の上面図であり、図49〜図53の(B)は、図49〜図53(A)における線a−bによる断面図、図49〜図53の(C)は、図49〜図53(A)における線c−dによる断面図である。
本実施の形態を、図54乃至59を用いて説明する。本実施の形態は、画素領域を実施の形態1で作製した画素領域で、画素が有する薄膜トランジスタがマルチゲート型である場合を適用したものである。また、周辺駆動回路領域も本発明を用いた薄膜トランジスタにより作製され、実施の形態2で作製されるnチャネル型薄膜トランジスタ及びpチャネル型薄膜トランジスタからなるCMOSを適用している。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
実施の形態1では、ゲート電極層と、ソース電極層又はドレイン電極層(ソース配線層も含む)及び容量配線層とがゲート絶縁層を介して積層し、ソース電極層又はドレイン電極層(ソース配線層も含む)とゲート配線層とが層間絶縁層を介して積層している多層構造を用いている。本実施の形態では、これらの積層構造が異なる例を図62乃至図67、及び図68を用いて説明する。図62(A)乃至図67(A)は、液晶表示装置の上面図であり、図62(B)乃至図64(B)は、図62(A)乃至図64(A)において線x1−v1、線x2−v2、線x3−v3による断面図である。図65(A)乃至図68(A)は、液晶表示装置の上面図であり、図65(B)乃至図68(B)は、図65(A)乃至図68(A)において線y1−z1、線y2−z2、線y3−z3による断面図である。
Claims (25)
- 絶縁表面上に設けられたゲート電極層及び画素電極層を有し、
前記ゲート電極層上にゲート絶縁層を有し、
前記ゲート絶縁層上に結晶性半導体層を有し、
前記結晶性半導体層に接して一導電型を有する半導体層を有し、
前記一導電性を有する半導体層に接してソース電極層及びドレイン電極層を有し、
前記ソース電極層、前記ドレイン電極層及び前記画素電極層上に絶縁層を有し、
前記絶縁層は前記ソース電極層または前記ドレイン電極層に達する第1の開口部を有し、
前記ゲート絶縁層及び前記絶縁層は画素電極層に達する第2の開口部を有し、
前記第1の開口部及び前記第2の開口部に、前記ソース電極層または前記ドレイン電極層と前記画素電極層とが電気的に接続する配線層を有することを特徴とする表示装置。 - 絶縁表面上に設けられたゲート電極層及び第1の電極層を有し、
前記ゲート電極層上にゲート絶縁層を有し、
前記ゲート絶縁層上に結晶性半導体層を有し、
前記結晶性半導体層に接して一導電型を有する半導体層を有し、
前記一導電性を有する半導体層に接してソース電極層及びドレイン電極層を有し、
前記ソース電極層、前記ドレイン電極層及び前記第1の電極層上に第1の絶縁層を有し、
前記第1の絶縁層は前記ソース電極層または前記ドレイン電極層に達する第1の開口部を有し、
前記ゲート絶縁層及び前記第1の絶縁層は前記第1の電極層に達する第2の開口部を有し、
前記第1の開口部及び前記第2の開口部に、前記ソース電極層または前記ドレイン電極層と前記第1の電極層とが電気的に接続する配線層を有し、
前記第1の電極層の一部、及び前記配線層を覆う第2の絶縁層を有し、
前記第1の電極層上に電界発光層を有し、
前記電界発光層上に第2の電極層を有することを特徴とする表示装置。 - 請求項1又は請求項2において、前記一導電性を有する半導体層は金属元素を含むことを特徴とする表示装置。
- 絶縁表面上に設けられたゲート電極層及び画素電極層を有し、
前記ゲート電極層上にゲート絶縁層を有し、
前記ゲート絶縁層上にソース領域及びドレイン領域が設けられた結晶性半導体層を有し、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接してソース電極層及びドレイン電極層を有し、
前記ソース電極層、前記ドレイン電極層及び前記画素電極層上に絶縁層を有し、
前記絶縁層は前記ソース電極層または前記ドレイン電極層に達する第1の開口部を有し、
前記ゲート絶縁層及び前記絶縁層は画素電極層に達する第2の開口部を有し、
前記第1の開口部及び前記第2の開口部に、前記ソース電極層または前記ドレイン電極層と前記画素電極層とが電気的に接続する配線層を有することを特徴とする表示装置。 - 絶縁表面上に設けられたゲート電極層及び第1の電極層を有し、
前記ゲート電極層上にゲート絶縁層を有し、
前記ゲート絶縁層上にソース領域及びドレイン領域が設けられた結晶性半導体層を有し、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接してソース電極層及びドレイン電極層を有し、
前記ソース電極層、前記ドレイン電極層及び前記第1の電極層上に第1の絶縁層を有し、
前記第1の絶縁層は前記ソース電極層または前記ドレイン電極層に達する第1の開口部を有し、
前記ゲート絶縁層及び前記第1の絶縁層は前記第1の電極層に達する第2の開口部を有し、
前記第1の開口部及び前記第2の開口部に、前記ソース電極層または前記ドレイン電極層と前記第1の電極層とが電気的に接続する配線層を有し、
前記第1の電極層の一部、及び前記配線層を覆う第2の絶縁層を有し、
前記第1の電極層上に電界発光層を有し、
前記電界発光層上に第2の電極層を有することを特徴とする表示装置。 - 請求項4又は請求項5において、前記ソース領域及び前記ドレイン領域は金属元素を含むことを特徴とする表示装置。
- 請求項1又は請求項4において、前記ゲート電極層及び前記画素電極層はタングステン、モリブデン、ジルコニア、ハフニウム、ビスマス、ニオブ、タンタル、クロム、コバルト、ニッケル、及び白金から選ばれる一つ又は複数からなることを特徴とする表示装置。
- 請求項1又は請求項4において、前記ゲート電極層及び前記画素電極層はインジウム錫酸化物、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム酸化亜鉛合金からなることを特徴とする表示装置。
- 請求項2又は請求項5において、前記ゲート電極層及び前記第1の電極層はタングステン、モリブデン、ジルコニア、ハフニウム、ビスマス、ニオブ、タンタル、クロム、コバルト、ニッケル、及び白金から選ばれる一つ又は複数からなることを特徴とする表示装置。
- 請求項2又は請求項5において、前記ゲート電極層及び前記第1の電極層はインジウム錫酸化物、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム酸化亜鉛合金からなることを特徴とする表示装置。
- 請求項1乃至10のいずれか一項において、前記ゲート絶縁層及び前記第1の絶縁層は前記ゲート電極層に達する第3の開口部を有し、
前記第3の開口部に前記ゲート電極層に接するゲート配線層を有することを特徴とする表示装置。 - 画素領域及び駆動回路領域を同一基板上に有し、
前記駆動回路領域において前記基板上に第1のゲート電極層及び第2のゲート電極層を有し、
前記第1のゲート電極層及び前記第2のゲート電極層上にゲート絶縁層を有し、
前記ゲート絶縁層上に第1の結晶性半導体層及び第2の結晶性半導体層を有し、
前記第1の結晶性半導体層に接してn型を有する半導体層を有し、
前記第1の結晶性半導体層に接してp型を有する半導体層を有し、
前記n型を有する半導体層に接する第1のソース電極層及び第1のドレイン電極層を有し、
前記p型を有する半導体層に接する第2のソース電極層及び第2のドレイン電極層を有し、
前記画素領域において前記基板上に画素電極層を有し、
前記画素電極層の一部がゲート絶縁層で覆われていることを特徴とする表示装置。 - 画素領域及び駆動回路領域を同一基板上に有し、
前記駆動回路領域において前記基板上に第1のゲート電極層及び第2のゲート電極層を有し、
前記第1のゲート電極層及び前記第2のゲート電極層上にゲート絶縁層を有し、
前記ゲート絶縁層上に第1の結晶性半導体層及び第2の結晶性半導体層を有し、
前記第1の結晶性半導体層に接してn型を有する半導体層を有し、
前記第1の結晶性半導体層に接してp型を有する半導体層を有し、
前記n型を有する半導体層に接する第1のソース電極層及び第1のドレイン電極層を有し、
前記p型を有する半導体層に接する第2のソース電極層及び第2のドレイン電極層を有し、
前記画素領域において前記基板上に第1の電極層を有し、
前記第1の電極層上に電界発光層を有し、
前記電界発光層上に第2の電極層を有し、
前記第1の電極層の一部がゲート絶縁層で覆われていることを特徴とする表示装置。 - 請求項1乃至14のいずれか一項における表示装置によって表示画面を構成されたテレビジョン装置。
- 絶縁表面上に導電層を形成し、
前記導電層上にレジストを形成し、
前記レジストをレーザ光で露光してパターニングし、マスクを形成し、
前記マスクを用いて前記導電層をパターニングし、ゲート電極層及び画素電極層を形成し、
前記ゲート電極層及び前記画素電極層上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上に非晶質半導体層を形成し、
前記非晶質半導体層に金属元素を添加して加熱し、前記非晶質半導体層を結晶化し、結晶性半導体層を形成し、
前記結晶性半導体層に接して一導電型を有する半導体層を形成し、
前記結晶性半導体層及び前記一導電型を有する半導体層を加熱し、
前記一導電型を有する半導体層をパターニングし、ソース領域及びドレイン領域を形成し、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接してソース電極層及びドレイン電極層を形成し、
前記ソース電極層、前記ドレイン電極層及び前記ゲート絶縁層上に絶縁層を形成し、
前記絶縁層に前記ソース電極層または前記ドレイン電極層に達する第1の開口部、及び前記絶縁層と前記ゲート絶縁層に前記画素電極層に達する第2の開口部を形成し、
前記第1の開口部及び前記第2の開口部に、前記ソース電極層または前記ドレイン電極層及び前記画素電極層を電気的に接続する配線層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 絶縁表面上に導電層を形成し、
前記導電層上にレジストを形成し、
前記レジストをレーザ光で露光してパターニングし、マスクを形成し、
前記マスクを用いて前記導電層をパターニングし、ゲート電極層及び第1の電極層を形成し、
前記ゲート電極層及び前記第1の電極層上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上に非晶質半導体層を形成し、
前記非晶質半導体層に金属元素を添加して加熱し、前記非晶質半導体層を結晶化し、結晶性半導体層を形成し、
前記結晶性半導体層に接して一導電型を有する半導体層を形成し、
前記結晶性半導体層及び前記一導電型を有する半導体層を加熱し、
前記一導電型を有する半導体層をパターニングし、ソース領域及びドレイン領域を形成し、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接してソース電極層及びドレイン電極層を形成し、
前記ソース電極層、前記ドレイン電極層及び前記ゲート絶縁層上に第1の絶縁層を形成し、
前記第1の絶縁層に前記ソース電極層または前記ドレイン電極層に達する第1の開口部、及び前記第1の絶縁層と前記ゲート絶縁層に前記第1の電極層に達する第2の開口部を形成し、
前記第1の開口部及び前記第2の開口部に、前記ソース電極層または前記ドレイン電極層及び前記第1の電極層を電気的に接続する配線層を形成し、
前記第1の電極層の一部、及び前記配線層を覆う第2の絶縁層を形成し、
前記第1の電極層上に電界発光層を形成し、
前記電界発光層上に第2の電極層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 絶縁表面上に導電層を形成し、
前記導電層上にレジストを形成し、
前記レジストをレーザ光で露光してパターニングし、マスクを形成し、
前記マスクを用いて前記導電層をパターニングし、ゲート電極層及び画素電極層を形成し、
前記ゲート電極層及び前記画素電極層上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上に第1の半導体層を形成し、
前記第1の半導体層に金属元素を添加して加熱し、
前記第1の半導体層に接して第1の不純物元素を有する第2の半導体層を形成し、
前記第1の半導体層及び前記第1の不純物元素を有する第2の半導体層を加熱し、
前記第1の不純物元素を有する第2の半導体層を除去し、
前記第1の半導体層に第2の不純物元素を添加してソース領域及びドレイン領域を形成し、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接してソース電極層またはドレイン電極層を形成し、
前記ソース電極層、前記ドレイン電極層及び前記ゲート絶縁層上に絶縁層を形成し、
前記絶縁層に前記ソース電極層または前記ドレイン電極層に達する第1の開口部、及び前記絶縁層と前記ゲート絶縁層とに前記画素電極層に達する第2の開口部を形成し、
前記第1の開口部及び前記第2の開口部に、前記ソース電極層または前記ドレイン電極層及び前記画素電極層を電気的に接続する配線層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 絶縁表面上に導電層を形成し、
前記導電層上にレジストを形成し、
前記レジストをレーザ光で露光してパターニングし、マスクを形成し、
前記マスクを用いて前記導電層をパターニングし、ゲート電極層及び第1の電極層を形成し、
前記ゲート電極層及び前記第1の電極層上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上に第1の半導体層を形成し、
前記第1の半導体層に金属元素を添加して加熱し、
前記第1の半導体層に接して第1の不純物元素を有する第2の半導体層を形成し、
前記第1の半導体層及び前記第1の不純物元素を有する第2の半導体層を加熱し、
前記第1の不純物元素を有する第2の半導体層を除去し、
前記第1の半導体層に第2の不純物元素を添加してソース領域及びドレイン領域を形成し、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接してソース電極層またはドレイン電極層を形成し、
前記ソース電極層、前記ドレイン電極層及び前記ゲート絶縁層上に第1の絶縁層を形成し、
前記第1の絶縁層に前記ソース電極層または前記ドレイン電極層に達する第1の開口部、及び前記第1の絶縁層と前記ゲート絶縁層とに前記第1の電極層に達する第2の開口部を形成し、
前記第1の開口部及び前記第2の開口部に、前記ソース電極層または前記ドレイン電極層及び前記第1の電極層を電気的に接続する配線層を形成し、
前記第1の電極層の一部、及び前記配線層を覆う第2の絶縁層を形成し、
前記第1の電極層上に電界発光層を形成し、
前記電界発光層上に第2の電極層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 請求項17又は請求項18において、前記第1の不純物元素としてHe、Ne、Ar、Kr、Xeから選ばれた一種または複数種を有する半導体層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
- 請求項17乃至19のいずれか一項において、前記第2の不純物元素としてリン、窒素、ヒ素、アンチモン、ビスマスから選ばれた一種または複数種を添加することを特徴とする表示装置の作製方法。
- 請求項15乃至20のいずれか一項において、前記導電層、前記ソース電極層及びドレイン電極層は、導電性材料を含む組成物を吐出して選択的に形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
- 画素領域及び駆動回路領域において、基板上に導電層を形成し、
前記導電層をレーザ光を用いて露光して、パターニングし、駆動回路領域に第1のゲート電極層及び第2のゲート電極層、画素領域に第3のゲート電極層及び画素電極層を形成し、
前記第1のゲート電極層、前記第2のゲート電極層、前記第3のゲート電極層、及び前記画素電極層上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上に、半導体膜を形成し、
前記半導体膜に金属元素を添加して加熱し、
前記半導体膜上にn型を有する半導体膜を形成し、
前記半導体膜及び前記n型を有する半導体膜を加熱し、
前記半導体膜及び前記n型を有する半導体膜をパターニングし、駆動回路領域において第1の半導体層、第2の半導体層、第1のn型を有する半導体層、及び第2のn型を有する半導体層を形成し、画素領域において、第3の半導体層及び第3のn型を有する半導体層を形成し、
第1のn型を有する半導体層、及び第3のn型を有する半導体層を覆う第1のマスクを形成し、
前記第2のn型を有する半導体層にp型を付与する不純物元素を添加し、前記第2のn型を有する半導体層をp型を有する半導体層に反転し、
前記第1のn型を有する半導体層に接して第1のソース電極層及び第1のドレイン電極層を、前記p型を有する半導体層に接して第2のソース電極層及び第2のドレイン電極層を、前記第3のn型を有する半導体層に接して第3のソース電極層及び第3のドレイン電極層を形成し、
前記第1のソース電極層、前記第1のドレイン電極層、前記第2のソース電極層、前記第2のドレイン電極層、前記第3のソース電極層、前記第3のドレイン電極層及び前記ゲート絶縁層上に絶縁層を形成し、
前記絶縁層に前記第3のソース電極層または前記第3のドレイン電極層に達する第1の開口部と、
前記絶縁層及び前記ゲート絶縁層に、前記画素電極層に達する第2の開口部を形成し、
前記第1の開口部及び前記第2の開口部に、前記第3のソース電極層または前記第3のドレイン電極層及び前記画素電極層を電気的に接続する配線層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 画素領域及び駆動回路領域において、基板上に導電層を形成し、
前記導電層をレーザ光を用いて露光して、パターニングし、駆動回路領域に第1のゲート電極層及び第2のゲート電極層、画素領域に第3のゲート電極層及び第1の電極層を形成し、
前記第1のゲート電極層、前記第2のゲート電極層、前記第3のゲート電極層、及び前記第1の電極層上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上に、半導体膜を形成し、
前記半導体膜に金属元素を添加して加熱し、
前記半導体膜上にn型を有する半導体膜を形成し、
前記半導体膜及び前記n型を有する半導体膜を加熱し、
前記半導体膜及び前記n型を有する半導体膜をパターニングし、駆動回路領域において第1の半導体層、第2の半導体層、第1のn型を有する半導体層、及び第2のn型を有する半導体層を形成し、画素領域において、第3の半導体層及び第3のn型を有する半導体層を形成し、
第1のn型を有する半導体層、及び第3のn型を有する半導体層を覆う第1のマスクを形成し、
前記第2のn型を有する半導体層にp型を付与する不純物元素を添加し、前記第2のn型を有する半導体層をp型を有する半導体層に反転し、
前記第1のn型を有する半導体層に接して第1のソース電極層及び第1のドレイン電極層を、前記p型を有する半導体層に接して第2のソース電極層及び第2のドレイン電極層を、前記第3のn型を有する半導体層に接して第3のソース電極層及び第3のドレイン電極層を形成し、
前記第1のソース電極層、前記第1のドレイン電極層、前記第2のソース電極層、前記第2のドレイン電極層、前記第3のソース電極層、前記第3のドレイン電極層及び前記ゲート絶縁層上に第1の絶縁層を形成し、
前記第1の絶縁層に前記第3のソース電極層または前記第3のドレイン電極層に達する第1の開口部と、
前記第1の絶縁層及び前記ゲート絶縁層に、前記第1の電極層に達する第2の開口部を形成し、
前記第1の開口部及び前記第2の開口部に、前記第3のソース電極層または前記第3のドレイン電極層及び前記第1の電極層を電気的に接続する配線層を形成し、
前記第1の電極層の一部、及び前記配線層を覆う第2の絶縁層を形成し、
前記第1の電極層上に電界発光層を形成し、
前記電界発光層上に第2の電極層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 請求項22又は請求項23において、前記導電層、前記第1のソース電極層、前記第1のドレイン電極層、前記第2のソース電極層、前記第2のドレイン電極層、前記第3のソース電極層、及び前記第3のドレイン電極層は、導電性材料を含む組成物を吐出して選択的に形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
- 請求項22乃至24いずれか一項において、前記第1の絶縁層及び前記第2の絶縁層は、絶縁性材料を含む組成物を吐出して選択的に形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
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