JP2006080418A - キャンパッケージ型光半導体装置および光モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の光モジュールは、ステム貫通孔を有するステムと、ステム貫通孔を貫通する貫通リードピンと、貫通リードピンをステム貫通孔内に固定するガラスとを有するキャンパッケージ型光半導体装置と、ステムが載置されるフレキシブル基板とを含む光モジュールであって、ステム貫通孔が、第1の孔部と、第1の孔部より径が大きくステムの底面に開口端を有する第2の孔部とを有する。第1の孔部に充填され、第1の孔部からはみ出して形成されたガラスのフィレットが、第2の孔部の開口端より内方の、第2の孔部内に配置されていることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
上記ステム貫通孔が、
第1の孔部と、
上記第1の孔部より径が大きく上記ステムの底面に開口端を有する第2の孔部とを有し、
上記第1の孔部に充填され、上記第1の孔部からはみ出して形成された上記ガラスのフィレットが、上記第2の孔部の上記開口端より内方の、上記第2の孔部内に配置されていることを特徴とする。
図1は、本実施の形態の光モジュールを概略的に示す断面図である。光モジュール110は、キャンパッケージ型光半導体装置112、フレキシブル回路基板114、プリント回路基板115から構成されている。なお、一般的に、キャンパッケージ型光半導体装置も光モジュールと呼ばれることがあるが、本明細書では区別するために、光半導体装置を有する構造体を光モジュールと呼称している。
本実施の形態は、実施の形態1と異なる方法で、ガラスフィレットのステムの底面からの突出を防いでいる。実施の形態1と構造的に異なる点は、ステムの形状、特に、貫通孔であるため、そこを中心に説明する。他の光モジュールの構成要素は実施の形態1と同じであり、実施の形態1の符号の数字に100を加えて示している。
本実施の形態は、上記の2つの実施の形態の光モジュールにおいて、ステムの窪み部の形成が困難な場合に実施される。例えば、貫通リードピンが多い(ステム貫通孔が多い)場合、窪み部を設けるスペースが確保できないことがある。また、接合リードピンとステムの接合の強度を高めるために、接合部が大きく形成される場合がある。
110 光モジュール、 112 光半導体装置、 114 フレキシブル回路基板、 115 プリント回路基板、 116 ステム、 118 貫通リードピン、 120 接合リードピン、 122 光半導体素子、 124 キャップ、 126 レンズ、 128 レンズホルダ、 130 レセプタクル、 140 ステム貫通孔、 142 第1の孔部、 144 第2の孔部、 146 底面、 148 ボンディングワイヤ、 150 低融点ガラス、 152 ガラスフィレット、 154 深さ、 156 窪み部、 158 接合部、 160 深さ、 162 導電性接着剤、 164 貫通リードピン用基板貫通孔、 166 接合リードピン用基板貫通孔、 168 表面、 170 グラウンドプレーン、 172 はんだ接合部、 173 ドライバ、 174 ギャップ、
116’ ステム、 142’ 第1の孔部、 144’ 第2の孔部、 146’ 底面、 116” ステム、 142” 第1の孔部、 144” 第2の孔部、 146” 底面、
144a 第2の孔部、 144b 第2の孔部、 152a ガラスフィレット、 152b ガラスフィレット、
216 ステム、 218 貫通リードピン、 240 ステム貫通孔、 246 底面、 250 低融点ガラス、 252 ガラスフィレット、 274 膜、 276 第1の孔部の孔内面
314 フレキシブル回路基板、 316 ステム、 320 接合リードピン、 346 底面、 358 接合部、 366 接合リードピン用基板貫通孔、 368 表面、 380 接合部
Claims (14)
- ステム貫通孔を有するステムと、上記ステム貫通孔を貫通する貫通リードピンと、上記貫通リードピンを上記ステム貫通孔内に固定するガラスとを有するキャンパッケージ型光半導体装置と、上記ステムが載置されるフレキシブル基板とを含む光モジュールであって、
上記ステム貫通孔が、
第1の孔部と、
上記第1の孔部より径が大きく上記ステムの底面に開口端を有する第2の孔部とを有し、
上記第1の孔部に充填され、上記第1の孔部からはみ出して形成された上記ガラスのフィレットが、上記第2の孔部の上記開口端より内方の、上記第2の孔部内に配置されていることを特徴とする光モジュール。 - ステム貫通孔を有するステムと、上記ステム貫通孔を貫通する貫通リードピンと、上記貫通リードピンを上記ステム貫通孔内に固定するガラスとを有するキャンパッケージ型光半導体装置と、上記ステムが載置されるフレキシブル基板とを含む光モジュールであって、
上記ステム貫通孔が、
第1の孔部と、
上記第1の孔部より低い上記ガラスに対する接着性を有する孔内面と、上記ステムの底面に開口端とを有する第2の孔部とを有し、
上記第1の孔部に充填され、上記第1の孔部からはみ出して形成された上記ガラスのフィレットが、上記第2の孔部の上記開口端より内方の、上記第2の孔部内に配置されていることを特徴とする光モジュール。 - 上記第2の孔部の上記孔内面に、上記ガラスに対して非接着性または低接着性の材料からなる膜が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の光モジュール。
- 上記ステムが、上記ステムの上記底面に接合部を介して接合された接合リードピンを有し、
上記フレキシブル回路基板が、上記接合部が配置される接合リードピン用基板孔を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一に記載の光モジュール。 - ステムと、上記ステムに接合された接合リードピンとを含むキャンパッケージ型光半導体装置と、上記ステムが載置されるフレキシブル基板とを含む光モジュールであって、
上記ステムが、
底面に開口端を有する窪み部を有し、
上記接合リードピンが、
上記窪み部内で接合部を介して接合され、
上記接合部が、上記窪み部の上記開口端より内方の、上記窪み部内に配置されていることを特徴とする光モジュール。 - 上記ステムの上記底面と上記フレキシブル回路基板の間の距離が、約0.05mm以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一に記載の光モジュール。
- 上記ステムの上記底面と上記フレキシブル回路基板の間に導電性接着剤が充填されている請求項6に記載の光モジュール。
- 上記ステムの上記底面と上記フレキシブル回路基板の間に非導電性接着剤が充填されている請求項6に記載の光モジュール。
- 上記ステムが導電性を有し、
上記ステムの上記底面と密着される上記フレキシブル回路基板の面に基準電位が印加された導電層を有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか一に記載の光モジュール。 - 請求項1〜9のいずれか一に記載の光モジュールと、
上記請求項1〜9のいずれか一に記載の光モジュールの上記フレキシブル回路基板が接続されるプリント回路基板とを有することを特徴とする光モジュール。 - ステム貫通孔を有するステムと、上記ステム貫通孔を貫通するリードピンと、上記リードピンを上記ステム貫通孔内に固定するガラスとを有するキャンパッケージ型光半導体装置であって、
上記ステム貫通孔が、
第1の孔部と、
上記第1の孔部より径が大きく上記ステムの底面に開口端を有する第2の孔部とを有し、
上記第1の孔部に充填され、上記第1の孔部からはみ出して形成された上記ガラスのフィレットが、上記第2の孔部の上記開口端より内方の、上記第2の孔部内に配置されていることを特徴とする光半導体装置。 - ステム貫通孔を有するステムと、上記ステム貫通孔を貫通するリードピンと、上記リードピンを上記ステム貫通孔内に固定するガラスとを有するキャンパッケージ型光半導体装置であって、
上記ステム貫通孔が、
第1の孔部と、
上記第1の孔部より低い上記ガラスに対する接着性を有する孔内面と、上記ステムの上記底面に開口端とを有する第2の孔部とを有し、
上記第1の孔部に充填され、上記第1の孔部からはみ出して形成された上記ガラスのフィレットが、上記第2の孔部の上記開口端より内方の、上記第2の孔部内に配置されていることを特徴とする光半導体装置。 - 上記第2の孔部の上記孔内面に、上記ガラスに対して非接着性または低接着性の材料からなる膜が形成されていることを特徴とする請求項9に記載の光半導体装置。
- ステムと、上記ステムに接合された接合リードピンとを含むキャンパッケージ型光半導体装置であって、
上記ステムが、
底面に開口端を有する窪み部を有し、
上記接合リードピンが、
上記窪み部内で接合部を介して接合され、
上記接合部が、上記窪み部の上記開口端より内方の、上記窪み部内に配置されていることを特徴とする光半導体装置。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008071784A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Mitsubishi Electric Corp | 光送受信器 |
JP2008130834A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Mitsubishi Electric Corp | 光モジュール |
US8106408B2 (en) | 2008-06-17 | 2012-01-31 | Opnext Japan, Inc. | Optical semiconductor device with flexible substrate |
JP2016018862A (ja) * | 2014-07-07 | 2016-02-01 | 日本オクラロ株式会社 | 光モジュール及び光モジュールの製造方法 |
JP2017005159A (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-05 | 日本オクラロ株式会社 | 光モジュール |
WO2018211636A1 (ja) * | 2017-05-17 | 2018-11-22 | 三菱電機株式会社 | 光モジュールおよびその製造方法 |
JP2019046922A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 日本オクラロ株式会社 | 光モジュール及び光伝送装置 |
US10310199B2 (en) | 2016-12-16 | 2019-06-04 | Oclaro Japan, Inc. | Optical module and transmission equipment |
JP6602479B1 (ja) * | 2018-02-09 | 2019-11-06 | 三菱電機株式会社 | 光モジュール |
JP2020096039A (ja) * | 2018-12-11 | 2020-06-18 | 新光電気工業株式会社 | ステム |
JP2021193740A (ja) * | 2017-10-09 | 2021-12-23 | ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG | 高い反射減衰量を備えるtoパッケージ |
JPWO2022113174A1 (ja) * | 2020-11-24 | 2022-06-02 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5821889A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-08 | Sony Corp | 半導体組立構造 |
JPS6185175A (ja) * | 1984-10-03 | 1986-04-30 | Shinwa Seisakusho:Kk | 生海苔洗浄装置 |
JPH0637401A (ja) * | 1992-07-20 | 1994-02-10 | Nec Corp | 光半導体容器 |
JP2001144366A (ja) * | 1999-11-15 | 2001-05-25 | Ricoh Co Ltd | Ld駆動回路 |
JP2004013935A (ja) * | 2002-06-03 | 2004-01-15 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 光ヘッド装置 |
JP2004102174A (ja) * | 2002-09-12 | 2004-04-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光モジュール生産物 |
-
2004
- 2004-09-13 JP JP2004264940A patent/JP4756840B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5821889A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-08 | Sony Corp | 半導体組立構造 |
JPS6185175A (ja) * | 1984-10-03 | 1986-04-30 | Shinwa Seisakusho:Kk | 生海苔洗浄装置 |
JPH0637401A (ja) * | 1992-07-20 | 1994-02-10 | Nec Corp | 光半導体容器 |
JP2001144366A (ja) * | 1999-11-15 | 2001-05-25 | Ricoh Co Ltd | Ld駆動回路 |
JP2004013935A (ja) * | 2002-06-03 | 2004-01-15 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 光ヘッド装置 |
JP2004102174A (ja) * | 2002-09-12 | 2004-04-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光モジュール生産物 |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008071784A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Mitsubishi Electric Corp | 光送受信器 |
JP2008130834A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Mitsubishi Electric Corp | 光モジュール |
US8106408B2 (en) | 2008-06-17 | 2012-01-31 | Opnext Japan, Inc. | Optical semiconductor device with flexible substrate |
JP2016018862A (ja) * | 2014-07-07 | 2016-02-01 | 日本オクラロ株式会社 | 光モジュール及び光モジュールの製造方法 |
US9530907B2 (en) | 2014-07-07 | 2016-12-27 | Oclaro Japan, Inc. | Optical module and method of manufacturing optical module |
JP2017005159A (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-05 | 日本オクラロ株式会社 | 光モジュール |
US10310199B2 (en) | 2016-12-16 | 2019-06-04 | Oclaro Japan, Inc. | Optical module and transmission equipment |
WO2018211636A1 (ja) * | 2017-05-17 | 2018-11-22 | 三菱電機株式会社 | 光モジュールおよびその製造方法 |
JPWO2018211636A1 (ja) * | 2017-05-17 | 2019-11-07 | 三菱電機株式会社 | 光モジュールおよびその製造方法 |
JP2019046922A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 日本オクラロ株式会社 | 光モジュール及び光伝送装置 |
JP7028587B2 (ja) | 2017-08-31 | 2022-03-02 | 日本ルメンタム株式会社 | 光モジュール及び光伝送装置 |
JP2021193740A (ja) * | 2017-10-09 | 2021-12-23 | ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG | 高い反射減衰量を備えるtoパッケージ |
JP6602479B1 (ja) * | 2018-02-09 | 2019-11-06 | 三菱電機株式会社 | 光モジュール |
US11862930B2 (en) | 2018-02-09 | 2024-01-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Optical module having restriction body fixed to stem and having a linear thermal expansion coefficient smaller than that of the stem |
JP2020096039A (ja) * | 2018-12-11 | 2020-06-18 | 新光電気工業株式会社 | ステム |
JP7240160B2 (ja) | 2018-12-11 | 2023-03-15 | 新光電気工業株式会社 | ステム |
JPWO2022113174A1 (ja) * | 2020-11-24 | 2022-06-02 | ||
JP7204065B2 (ja) | 2020-11-24 | 2023-01-13 | 三菱電機株式会社 | 光モジュール |
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