JP2006080220A - ダイシング装置 - Google Patents
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Abstract
ワークの凹凸部分や特定の場所にコンタミが残留するのを防止することができるダイシング装置を提供すること。
【解決手段】
ダイシング装置1の加工部2には、ワークWに噴射する洗浄液の噴射方向を、ワークの加工中に任意の方向に変更可能な噴射手段91を設けた。これによりワークWの特定位置へ集中して洗浄液を供給することが可能となり、ワークWに残るコンタミを効果的に除去できるようにした。
【選択図】図3
Description
Claims (5)
- スピンドルにより高速に回転されるブレードと、ワークを載置して前記ブレードと相対的な運動を行うワークテーブルとを有し、前記ブレードによりワークに溝加工や切断加工を施すダイシング装置において、
前記ワークに噴射する洗浄液の噴射方向を、ワークの加工中に任意の方向に変更可能な噴射手段が設けられていることを特徴とするダイシング装置。 - 前記噴射手段は、
前記スピンドルの下部側面に姿勢制御可能に設けられた噴射部材と、
該噴射部材の姿勢を制御する制御手段とからなることを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。 - 前記制御手段は、洗浄液をワークの特定位置に所定時間噴射するように前記噴射部材の姿勢を制御することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のダイシング装置。
- 前記噴射手段は、
前記ワークテーブルの外周に沿って設けられた複数の噴射部材と、
洗浄液噴射の開始及び停止のタイミングを個々の噴射部材毎に制御する制御手段とからなることを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。 - 前記制御手段は、ワークの加工位置の変化に対応させて、前記複数の噴射部材の中から洗浄液を噴射させる噴射部材の選択と噴射の開始及び停止のタイミングとを制御することを特徴とする請求項4に記載のダイシング装置。
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2004
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