JP2011020260A - ダイシング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークWを載置するワークテーブル31には、外周に沿って一定の間隔で複数のノズル71A〜71Fが設置される。各ノズルは、洗浄液噴射の開始及び停止のタイミングがコントローラによって個別に制御される。コントローラは、ワークWの加工位置の変化に対応させて、洗浄液を噴射させるノズルの選択と、噴射の開始及び停止のタイミングとを制御し、ワークWの加工位置の変化に対応させて、ワーク上を流れる洗浄液の液流方向を変化させる。
【選択図】図5
Description
Claims (4)
- スピンドルにより高速に回転されるブレードと、ワークを載置して前記ブレードと相対的な運動を行うワークテーブルとを有し、前記ブレードによりワークに溝加工や切断加工を施すダイシング装置において、
前記ワークテーブルの外周に沿って一定の間隔で複数設けられ、それぞれ前記ワークテーブルに載置されたワークに向けて異なる方向から洗浄液を噴射するノズルと、
洗浄液噴射の開始及び停止のタイミングを個々のノズル毎に個別に制御する制御手段と、
を備え、前記制御手段は、ワークの加工位置の変化に対応させて、前記複数のノズルの中から洗浄液を噴射させるノズルの選択と、噴射の開始及び停止のタイミングとを制御することにより、ワークの加工位置の変化に対応させて、前記ワーク上を流れる洗浄液の液流方向を変化させることを特徴とするダイシング装置。 - 前記ワークテーブルは、円盤状に形成され、前記ノズルは、前記ワークテーブルの片側半分の外周に沿って一定の間隔で複数設けられることを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。
- 前記制御手段は、洗浄液噴射の開始及び停止のタイミングを個々のノズル毎に個別に制御するとともに、前記ワークテーブルの回転を制御し、加工終了後は、前記ワークテーブルを往復回転させながら前記各ノズルより洗浄液を噴射してコンタミの除去を行うことを特徴とする請求項1又は2に記載のダイシング装置。
- 対向した2本のスピンドルを備えたことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のダイシング装置。
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