JP2006078478A - フィルム温度センサ及び温度測定用基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】
半導体ウエハの表面における複数箇所の温度をより精度良く測定する。
【解決手段】
フィルム温度センサ600は、絶縁材料製のベースフィルム57と、温度を測定するための薄膜状の複数の感熱素子55と、それらの感熱素子に接続された薄膜状の複数のリード56と、それらのリードの末端に接続された薄膜状の複数の端子58とを備える。感熱素子55とリード56と端子58は、ベースフィルム57の表面上又は厚み内に一体形成されている。ベースフィルム57は、パドル状の平面形状を有し、半導体ウエハ601の表面に貼り付けられるヘッド部57Aと、半導体ウエハ601の外へ延び出るストリップ状のテイル部57Bからなる。複数の感熱素子55はヘッド部57A上に同心円状、螺旋上、マトリックス状又はラスタ状に配列され、複数の端子58はテイル部57B上に配置される。
【選択図】 図9
半導体ウエハの表面における複数箇所の温度をより精度良く測定する。
【解決手段】
フィルム温度センサ600は、絶縁材料製のベースフィルム57と、温度を測定するための薄膜状の複数の感熱素子55と、それらの感熱素子に接続された薄膜状の複数のリード56と、それらのリードの末端に接続された薄膜状の複数の端子58とを備える。感熱素子55とリード56と端子58は、ベースフィルム57の表面上又は厚み内に一体形成されている。ベースフィルム57は、パドル状の平面形状を有し、半導体ウエハ601の表面に貼り付けられるヘッド部57Aと、半導体ウエハ601の外へ延び出るストリップ状のテイル部57Bからなる。複数の感熱素子55はヘッド部57A上に同心円状、螺旋上、マトリックス状又はラスタ状に配列され、複数の端子58はテイル部57B上に配置される。
【選択図】 図9
Description
本発明は、半導体ウエハ等の基板の温度又はそのような基板を加熱および冷却する温度調節ステージの温度を測定するために好適な温度センサ及び温度測定用基板に関する。
例えば半導体製品の製造工程では、加熱及び冷却能力をもった温度調節ステージの上に半導体ウエハを載置し、温度調節ステージにより半導体ウエハの温度を調節しつつ、その半導体ウエハにレジスト液を塗布してコーティングしたりその後にエッチングを施したり等の処理が行われる。上記半導体製造プロセスを開始する前の準備段階において、半導体ウエハをむらなく最適温度に制御するように、温度調節ステージの制御パラメータが設定される必要がある。この設定のプロセスにおいては、温度調節ステージ上に、温度センサが複数箇所に設けられた温度測定用の半導体ウエハ(以下、温度測定用基板と言う)が載置され、温度調節ステージが、所与の制御パラメータを用いて試験的に駆動されて、加熱、冷却動作を行い、その時の温度測定用基板の温度が測定され、測定された温度が最適であるか否かがチェックされる。その結果、最適でなければ、制御方法(例えば、目標温度や制御演算などの各種のパラメータ)が修正され、修正された制御パラメータを用いて再び上記試験的駆動が行われる。
このように温度調節ステージに温度測定用基板を載置して温度を測定する際、温度測定用基板の温度をなるべく正確に測定することが大事である。従来、温度測定用基板の温度を測定するための方法として、温度測定用基板上に温度センサを接着して、温度センサからワイヤーのリードを通じて信号を取り出す方法や、温度測定用基板上に温度センサとしての抵抗体とリードとを密着し、その温度測定用基板の表面上に設置されたリード端子部からワイヤーのリードを通じて信号を取り出す方法(特許文献1)等が知られている。
特許文献1に記載する技術によれば、温度測定用基板上にセンサとリードとをスクリーン印刷でパターニングすることができる。しかし、温度測定用基板上に印刷でセンサとリードとをパターニングした場合、リード端子部がウエハ上にあるので、結局は温度測定用基板上のリード端子部とワイヤーのリードとの接合処理が必要になる。また、複数のワイヤーのリードが温度測定用基板上を這っているので、温度測定用基板上方の熱分布及び気流を乱し、温度測定用基板の温度に影響を与えてしまう。また、洗浄が困難になるため、装置全体のクリーン度が低下してしまう。
また、上述した設定プロセス中に、又は、半導体ウエハを処理する半導体製造プロセス中に、温度調節ステージの温度を測定したいという場合もある。この場合にも、上述した従来の温度センサでは、上記と同様の理由により、温度測定能力が落ちる。
従って、本発明の目的は、温度測定対象物がもつ広い表面における複数箇所の温度をより精度良く測定することができるようにすることにある。
本発明の別の目的は、半導体ウェハのような基板の温度をより精度良く測定することができるようにすることにある。
本発明の更なる目的は、後述する実施の形態の記載から明らかになるであろう。
本発明の第1の側面に従うフィルム温度センサは、絶縁材料製のベースフィルムと、ベースフィルムの表面上又は内部に一体的に形成される薄膜状の複数の感熱素子と、ベースフィルムの表面上又はその厚み内に一体的に形成され、前記複数の感熱素子と接続される薄膜状の複数のリードと、ベースフィルムの表面上又は内部に一体的に形成され、前記複数のリードと接続される複数の端子とを備える。
上記ベースフィルムの平面形状は、対象物の表面に接触、好ましくは密着、させて使用されるヘッド部と、そのヘッド部から外方へ延び出たテイル部とを含むようなパドル形とすることができる。その場合、複数の感熱素子はヘッド部に配置され、複数の端子はテイル部に配置され、そして、複数のリードが感熱素子と端子とを接続するようにしてヘッド部とテイル部の双方に配置されることができる。複数の感熱素子は、ベースフィルム上に同心円状、螺旋状、マトリックス状又はラスタ状に配列されることができる。
上述した複数の感熱素子の各々には、ベースフィルム上の複数の温度測定ゾーンをカバーするような、温度により変化する電気抵抗をもつ薄膜状の蛇行した抵抗体ラインから形成される抵抗体パターンを採用することができる。このような抵抗体パターンは、エッチング、印刷、スパッタリング又はめっき等の方法で、ベースフィルム上に形成することができる。この抵抗体パターンを形成する際には、その抵抗体パターンの測定温度範囲における代表的な抵抗値をR、その抵抗体パターンがカバーする温度測定ゾーンの長手方向での寸法をH、抵抗ラインの薄膜の厚さをT、導電材料の抵抗率をρ、その抵抗ラインの幅をA、抵抗ラインの幅Aに対する隣り合う抵抗ライン間のスペースの幅の比率をk、任意に選択される係数をCとしたとき、その抵抗ラインの幅Aは、
A2=C・H2・ρ/(1+k)・T・R
1≧C≧2/3
の範囲から選ぶことができる。係数Cは、抵抗体パターンがカバーする温度測定ゾーンの形状(例えば、正方形、正円形、長方形又は楕円形など)に応じて選択することができる。
A2=C・H2・ρ/(1+k)・T・R
1≧C≧2/3
の範囲から選ぶことができる。係数Cは、抵抗体パターンがカバーする温度測定ゾーンの形状(例えば、正方形、正円形、長方形又は楕円形など)に応じて選択することができる。
本発明に従うフィルム温度センサは、半導体製造プロセスにおける温度測定の用途、特に例えば半導体ウェハの表面の温度分布を計測する用途に使用されるように構成されることができる。この用途のための一つの実施形態にかかるフィルム温度センサでは、そのベースフィルムは、パドル状の平面形状を有する。このパドル形のベースフィルムのヘッド部は、半導体ウェハまたは温度調節ステージの表面の全体領域をカバーするようなサイズをもつ円形であり、半導体ウェハの表面に貼り付けられるか、温度調節ステージの表面に貼り付けられるか、又は、半導体ウェハと温度調節ステージとの間に挟みこまれた状態で使用される。ベースフィルムの円形のヘッド部にはストリップ状のテイル部が一体的に接続されており、このテイル部は、使用時には半導体ウェハ又は温度調節ステージの外方へ延び出て、外部装置に接続することができるようになっている。
本発明の第2の側面に従う温度測定用基板は、温度測定対象物である基板と、基板に取り付けられるフィルム温度センサとを備える。フィルム温度センサは、絶縁材料製のベースフィルムと、ベースフィルムの表面上又は内部に一体的に形成される薄膜状の1以上の感熱素子と、ベースフィルムの表面上又はその厚み内に一体的に形成され、前記1以上の感熱素子と接続される薄膜状の1以上のリードと、ベースフィルムの表面上又は内部に一体的に形成され、前記1以上のリードと接続される1以上の端子とを備える。
本発明に従う温度測定用基板は、半導体製造プロセスにおける温度測定の用途、特に例えば半導体ウェハの表面の温度分布を把握する用途に使用されるように構成されることができる。この用途のための一つの実施形態にかかる温度測定基板は、基板としての半導体ウェハと、この半導体ウェハの表面に取り付けられた上記フィルム温度センサとを備える。
本発明に従うフィルム温度センサによれば、半導体ウェハ、温度調節ステージ又はその他の対象物の表面における複数箇所の温度をより精度良く測定することができる。
本発明に従う温度測定用基板によれば、半導体ウェハのような基板の温度をより精度良く測定することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図1は、半導体製造工程で、半導体ウエハの温度制御のために用いられる温度調節ステージの一例を示す。具体的には、図1Aは、温度調節ステージの平面図であり、図1Bは、その温度調節ステージのX−X断面図である。
温度調節ステージ400は、半導体ウエハを載置するための載置プレート403と、多数の熱電変換素子を有しペルチェ効果によって載置プレート403側及び後述の熱交換プレート550側を加熱又は冷却する熱電変換部405と、熱電変換部405と外部との間の熱交換を行うための熱交換プレート550とを備える。
載置プレート403は、上面と下面を有し、上面に、半導体ウエハを載置するための複数の突起(以下、これを「支持ピン」と言う)607、607、…が設けられている。半導体製造プロセスでは、処理対象の半導体ウエハが、これら複数の支持ピン607、607、…上に載置される。一方、半導体製造プロセスが開始する前に、温度調節ステージの制御パラメータを設定する準備段階では、本発明に従う1以上のフィルム温度センサ600が取り付けられた温度測定用の半導体ウエハ(温度測定用基板)402が、支持ピン607、607…上に載置されることになる。
載置プレート403の下面に熱電モジュール405が設けられている。熱電変換部405は、1又は複数の熱電変換モジュールを有する(図1Bには一つの熱電変換モジュールを例示している)。各熱電モジュールは、2次元配列された複数の熱電変換素子と、それら複数の熱電変換素子(401N、401P)を電気的に接続して両側の熱交換面を構成している複数の電極(514A、514B)とを持ち、それらが2枚の平板511A、511Bの間に挟まれた構成となっている。具体的に言うと、上側の薄型の平板(例えば厚さ0.1mm程度のセラミックス又はポリイミド樹脂から成る接着剤シート)511Aの下面上に備えられている上側の各電極(例えば銅板又は銅箔)514Aに、1つのP型半導体素子401Pと1つのN型半導体素子401Nが半田付けされたパイ型のユニット形成されており、更に、各パイ型ユニットのP型半導体素子401Pとその隣のパイ型ユニットのN型半導体素子401Nとが、下側の平板511Bの上面に備えられている下側の各電極514Bに半田付けされている。こうして、複数のP型半導体素子401Pと複数のN型半導体素子401Pが上側と下側の電極(514A、514B)によって電気的に直列に接続されている。そして、このP型半導体素子401PとN型半導体素子401Nの直列接続体に直流電流を流すと、電流の方向に応じて、上側の面(上側熱交換面)で吸熱し、下側の面(下側熱交換面)で放熱をするか、又は下側熱交換面で吸熱し、上側熱交換面で放熱をする。
熱交換プレート550は、内部に熱媒流体(例えば冷却水)を流すための流路551を有する。その流路551は、単純な形状をしたもの(例えば直方体状の空間)であっても良いし、熱交換プレート550の実質的全面に亘ってサーペンタイン状に巡っていても良い。なお、特に図示しないが、この熱交換プレート550の下方に、又は熱交換プレート550に代えて、空冷フィンが備えられていても良い。
本発明の一実施形態に従う温度測定用基板402は、半導体製造工程で用いられる処理対象の半導体ウエハと同じ仕様をもつ温度測定用の半導体ウエハ601と、その半導体ウエハ601の表面の温度を測定されるべき1以上の箇所(通常は数箇所以上)に、それぞれ貼り付けられた1以上のフィルム状の温度センサ(以下、フィルム温度センサと言う)600とから構成される。
フィルム温度センサ600は、後に具体的に説明するように、可撓な絶縁材料製のベースフィルムと、温度を測定するための1以上の薄膜状の感熱素子と、その感熱素子で検知した温度情報を電気信号として外部へ出力するための複数の端子と、感熱素子からの電気信号を端子へ伝達するための複数の薄膜状のリードとを備えている。そして、感熱素子と端子とリードとは、上記ベースフィルムの表面上又はその厚み内に一体的に形成されている。ベースフィルムはパドル形の平面形状を有していて、ヘッド部とそのヘッド部から外へ延び出たテイル部とを有する。このベースフィルムのヘッド部に感熱素子が設けられており、このヘッド部は、温度測定対象物である半導体ウエハ601の表面に密着するように貼り付けられる。また、ベースフィルムのテイル部には端子が設けられており、このテイル部は半導体ウエハ601の外へ延び出ている。このテイル部の端子に、外部装置(フィルム温度センサ600に電流を流して温度を示す電気信号を受け取る装置)が接続されることになる。
さて、前述した感熱素子の構成には、いくつかのバリエーションが考えられる。温度に応じて抵抗値が変わる測温抵抗体やサーミスタなどの感温素子・感温デバイスのように抵抗値の温度依存性があるものや、熱電対などを温度センサとして利用することができる。本発明の実施形態の中では、例として測温抵抗体を使用する。
図2は、本発明のフィルム温度センサ600の一実施形態の平面図を示す。このフィルム温度センサ600は、図2に示されるように、感熱素子としての抵抗体パターン55とこれに接続されたリード56とが、例えば合成樹脂製、とりわけ例えばポリイミド製、のベースフィルム57の表面上又はその厚み内に一体的に形成されている。
抵抗体パターン55は、温度によって電気抵抗率が変化する導電材料(例えば銅等の金属)製の薄膜状のサーペンタインな(蛇行した)抵抗ラインのパターンであって、所定の温度測定ゾーンをカバーしている。抵抗体パターン55に一定電流を流した場合、抵抗体パターン55の両端子間の電圧は、抵抗体パターン55の温度によって異なる。そのため、抵抗体パターン55の両端子間電圧の測定結果に基づいて、半導体ウエハ601の温度を測定することができる。
抵抗体パターン55は、ベースフィルム57上に、エッチングや、印刷や、スパッタリングや、めっき等の方法で所定の導体薄膜の蛇行した抵抗体パターンを形成するという方法で形成されることができる。その場合、抵抗体パターン55を構成する抵抗ラインの幅Aは、次式、
A2=C・H2・ρ/(1+k)・T・R
1≧C≧2/3
で示される範囲内から選ぶことができる。ここで、Rは、抵抗体パターン55の測定温度範囲内での代表的な抵抗値である。Hは、図2に示すように、抵抗体パターン55がカバーする温度測定ゾーンの長手方向における寸法である。kは、抵抗ラインの幅Aに対する隣り合う抵抗ライン間のスペースの幅Bの比率(つまり、B/A)であり、通常、kは1.0前後(つまり、BはAとはほぼ同じ)であり、それより小さい場合でもほぼ0.5以上である。ρは、抵抗体パターン55に使用される導電材料の電気抵抗率である。Tは、抵抗ラインの薄膜の厚さである。また、Cは、任意に選択できる係数であり、抵抗体パターン55がカバーする温度測定ゾーンの形状に応じて決めることができる。例えば、図2に示した例のように、温度測定ゾーンの形状(つまり、抵抗体パターン55の全体形状)がほぼ正方形の場合、C=1とすることができる。温度測定ゾーンの形状がほぼ正方形以外、例えば長方形や円形である場合、Cは1より小さくすることができ、例えば正円形の場合にはCは約3/4とすることができ、また、やや細長い長方形や楕円形の場合にはCは2/3に近い値にすることができる。
A2=C・H2・ρ/(1+k)・T・R
1≧C≧2/3
で示される範囲内から選ぶことができる。ここで、Rは、抵抗体パターン55の測定温度範囲内での代表的な抵抗値である。Hは、図2に示すように、抵抗体パターン55がカバーする温度測定ゾーンの長手方向における寸法である。kは、抵抗ラインの幅Aに対する隣り合う抵抗ライン間のスペースの幅Bの比率(つまり、B/A)であり、通常、kは1.0前後(つまり、BはAとはほぼ同じ)であり、それより小さい場合でもほぼ0.5以上である。ρは、抵抗体パターン55に使用される導電材料の電気抵抗率である。Tは、抵抗ラインの薄膜の厚さである。また、Cは、任意に選択できる係数であり、抵抗体パターン55がカバーする温度測定ゾーンの形状に応じて決めることができる。例えば、図2に示した例のように、温度測定ゾーンの形状(つまり、抵抗体パターン55の全体形状)がほぼ正方形の場合、C=1とすることができる。温度測定ゾーンの形状がほぼ正方形以外、例えば長方形や円形である場合、Cは1より小さくすることができ、例えば正円形の場合にはCは約3/4とすることができ、また、やや細長い長方形や楕円形の場合にはCは2/3に近い値にすることができる。
各リード56は、抵抗体パターン55に電流を流し、そして抵抗体パターン55の両端子間電圧を外部装置へ出力する導体ラインである。そして、このリード56も、抵抗体パターン55と同時に同じ方法で、その一端にて抵抗体パターン55と一体につながった薄膜状の導体ラインのパターンとして形成されている。リード56には、抵抗体パターン55の抵抗値の大きさや、リード56自体の抵抗キャンセルなどの目的に応じて、2導線式、3導線式、4導線式といった異なった種類の配線形式等があるが、図2の実施例では、リード56は4導線式である。リード56の末端には、図示しない外部装置と電気的に接続するための端子58が設けられる。端子58も、抵抗体パターン55やリード56と同時に同じ方法で、薄膜ラインであるリード56と一体につながった薄膜状の導体片のパターンとして形成されている。
ベースフィルム57は、図2に示すようにパドル形の平面形状をもつ可撓な例えばポリイミドのフィルムであり、上述した抵抗体パターン55が形成されたヘッド部57Aと、このヘッド部57Aから外方へ延び出たテイル部57Bとを有する。ヘッド部57Aに、上述した抵抗体パターン55が形成され、テイル部57Bに、上述した端子58が形成されている。リード56は、ヘッド部57Aとテイル部57Bの双方に形成されて、ヘッド部57A上の抵抗体パターン55とテイル部57B上の端子58とを接続している。
ベースフィルム57のヘッド部57Aは、半導体ウエハ601の温度測定用箇所の表面に密着して貼り付けられている。また、ベースフィルム57のテイル部57Bは、半導体ウエハ601の外まで延び出ており、その先端部に端子58が配置されている。
従来、半導体ウエハの温度を測定する際は、半導体ウエハの表面の複数箇所にそれぞれ複数の円筒形の井戸のような穴をあけ、各穴内に温度センサを接着し固定している。さらに穴近傍にワイヤーのリード線をとりつけ、取り付けられたワイヤーリード線から抵抗体パターン55の両端子間電圧を外部へ出力している。そのため、ワイヤーリード線の存在が基板上に微妙な気流の変化を生じさせてしまい、結果的に微妙な温度変化を生じさせてしまい正確な温度を測定できなかった。そして、ワイヤーリード線を基板上にハンダ等で固定していたため、リード線が壊れやすく、そのような従来の温度測定用半導体ウエハはハンディではない。
また、特許文献1に記載された温度センサを用いた場合でも、半導体ウエハ上の端子部にワイヤーリード線を接続する必要があり、やはり上記と同様の問題がある。
これに対して、本実施形態のように、抵抗体パターン55とリード56と端子58がベースフィルム57に一体的に形成されている場合だと、抵抗体パターン55とリード56との接続部分の耐久性が高い。また、半導体ウエハ601の外へ延び出ているリード56が半導体ウエハ601の表面に密着したベースフィルム57と一体になっているため、半導体ウエハ601上に気流の乱れを造ってしまう恐れが少ない。よって、このフィルム温度センサ600は半導体ウェハ601の表面の温度を正確に計ることを可能とする。さらに、このフィルム温度センサ600は、可撓性のフィルムなので容易に曲がることができるので、平面だけでなく、曲面に貼ることもできる。よって、このフィルム温度センサ600は、半導体ウェハだけでなく、他の物体の曲がった表面の温度の測定にも利用できる。
図3は、本発明のフィルム温度センサ600の別の実施形態を示す平面図である。
リード56は、図3に示されているように、二導線式であって、二本のラインパターンから構成される。リード56は、抵抗体パターン55と同様にベースフィルム57上又は内部に一体形成されて実装されている。他の部分の構成は、図2に記載したフィルム温度センサ600と同じである。
図4は、本発明のフィルム温度センサ600のまた別の実施形態を示す平面図である。
リード56は、図4に示されているように、三導線式であって、三本のラインパターンから構成される。他の部分の構成は、図2に示したフィルム温度センサ600と同じである。
図2〜図4に示したフィルム温度センサ600は、一つの感熱素子をもつものであり、半導体ウエハ601上での温度を測定したい複数の箇所の各々に貼り付けられる。これに対して、以下に説明する図5〜図8に示すフィルム温度センサ600は、複数の感熱素子を有していて、それ1枚で半導体ウエハ601の表面の異なる箇所の温度を同時に測定することができる。
図5は、そのようなフィルム温度センサ600の一つの実施形態を示す。
ベースフィルム57は、パドル形の平面形状をもち、半導体ウエハ601の表面全体に密着するように貼り付け可能な正円形のヘッド部57Aを有する。ベースフィルム57のヘッド部57Aの全体領域内に、マトリックス状配列された複数の扇形の温度測定ゾーンが設けられており、それら複数の温度測定ゾーンをそれぞれカバーするような各扇形の複数個の感熱素子55、55、…が、ヘッド部57Aの表面上またはその厚み内に形成されている。ベースフィルム57は、また、上述した円形のヘッド部57Aから外方へ延び出た長いストリップ状のテイル部57B分を有する。そして、ヘッド部57Aとテイル部57Bの双方の表面上又はその厚み内に、上述した複数の抵抗体パターン55、55、…とそれぞれ一体につながった複数本のリード56、56、…が形成されている。さらに、テイル部57Bの表面上又はその厚み内に、上述した複数本のリード56、56、…とそれぞれ一体につながった複数の端子58、58、…が形成されている。各感熱素子55、各端子58及び各リード56は、図2を参照して説明したような薄膜状の抵抗体または導体のパターンであり、それらの形成方法としては、前述したように、貼り付け、印刷など種々の方法が採用し得る。複数の抵抗体パターン55はそれぞれの扇形ゾーンの温度を測定し、それらの温度測定値から、半導体ウエハ601表面全体の温度分布が判る。
尚、抵抗体パターン55の数は、図示のように4つに限らず、それ以上でも以下でもいい。また、抵抗体パターン55の形状は、図5に示されているように扇形でなく、他の形でも構わない。また、ベースフィルム57は、抵抗体パターン55毎に分離されていても良い。
図6は、本発明のフィルム温度センサのまた別の実施形態の平面図を示す。
図6に示されているように、ベースフィルム57は、半導体ウエハ601の表面全体に密着するように貼り付けられる正円形のヘッド部57Aと、ヘッド部57Aから外方へ延び出たストリップ状のテイル部57Bとを有する。ヘッド部57Aの全体領域内に、マトリックス状又はラスター状に配列された多数の矩形の温度測定ゾーンが設けられ、それら多数の温度測定ゾーンをそれぞれカバーするような多数の感熱素子55,55,…が、ヘッド部57Aの表面上またはその厚み内に形成される。また、ベースフィルム57のテイル部57Bには、複数個の端子58、58、…が形成され、さらに、ヘッド部57Aとテイル部57Bの双方に、感熱素子55、55、…と端子58、58、…を接続する複数本のリード56、56、…が形成されている。各感熱素子55、各端子58及び各リード56は、図2を参照して説明したような薄膜状の抵抗体または導体のパターンである。各抵抗体パターン55は、図示のように、複数の矩形ゾーンの全てに設けられても良いし、任意に選択された1又は2以上のゾーンのみに設けられても良い。リード56は、抵抗体パターン55と一体的につながって形成され、ベースフィルム57のヘッド部57Aから延び出たストリップ状のテイル部57Bの表面上又は内部に形成されている。
図7は、本発明のまた別の実施形態の平面図を示す。
図7に示されているように、ベースフィルム57の正円形のヘッド部57Aの全体領域内に、同心円状に配列された複数の矩形の温度測定ゾーンが設けられ、それらの温度測定ゾーンをそれぞれカバーするような感熱素子55、55、…が、ヘッド部57Aの表面上またはその厚み内に形成されている。また、ベースフィルム57のテイル部57Bには、複数個の端子58、58、…が形成され、さらに、ヘッド部57Aとテイル部57Bの双方に、感熱素子55、55、…と端子58、58、…を接続する複数本のリード56、56、…が形成されている。各感熱素子55、各端子58及び各リード56は、図2を参照して説明したような薄膜状の抵抗体または導体のパターンである。尚、抵抗体パターン55、55、…の円状の配列のバリエーションには、図7に示されているような同心円状だけでなく、螺旋状等のような他の配列があり得る。複数本のリード56、56、…は、ベースフィルム57のヘッド部57A上では、同心の複数円に沿って延びて、ベースフィルム57のテイル部58Bに集まり、テイル部58Bに沿って外方へ延びる。
図8は、さらにまた別の実施形態の実施形態の平面図を示す。
図8に示されているように、ベースフィルム57の正円形のヘッド部57Aの全体領域内に、中央の円形の温度測定ゾーンとその周囲の三つの円弧帯形の温度測定ゾーンとが設けられ、これらの同心円状に配列された複数の温度測定ゾーンをそれぞれカバーするような感熱素子55、55、…が、ヘッド部57Aの表面上またはその厚み内に形成されている。また、ベースフィルム57のテイル部57Bには、複数個の端子58、58、…が形成され、さらに、ヘッド部57Aとテイル部57Bの双方に、感熱素子55、55、…と端子58、58、…を接続する複数本のリード56、56、…が形成されている。各感熱素子55、各端子58及び各リード56は、図2を参照して説明したような薄膜状の抵抗体または導体のパターンである。尚、図8の例では、ベースフィルム57上の中心に、一つの円形のゾーン、その外縁の外に、同心円レイヤの一部分となった円弧帯状の三つの温度測定ゾーンが備えられるが、これに限らず、処理目的等に応じて温度測定ゾーンの形状、個数及び配列をアレンジすることができる。また、温度測定ゾーン毎に、そこに設けられる抵抗体パターン55の形態や抵抗値をアレンジすることができる。
図9は、さらにまた別の実施形態の実施形態の平面図を示す。
図9に示されているように、ベースフィルム57の正円形のヘッド部57Aの全体領域内に、同心円状に配列された複数の矩形の温度測定ゾーンが設けられ、それらの温度測定ゾーンをそれぞれカバーするような感熱素子55、55、…が、ヘッド部57Aの表面上またはその厚み内に形成されている。また、ベースフィルム57のテイル部57Bには、複数個の端子58、58、…が形成され、さらに、ヘッド部57Aとテイル部57Bの双方に、感熱素子55、55、…と端子58、58、…を接続する複数本のリード56、56、…が形成されている。各感熱素子55、各端子58及び各リード56は、図2を参照して説明したような薄膜状の抵抗体または導体のパターンである。複数本のリード56、56、…は、ベースフィルム57のヘッド部57A上では、抵抗体パターン55、55、…を通る複数の半径線にそれぞれ沿って延びて一つの円周上に集まり、その一つの円周に沿って延びてベースフィルム57のテイル部58Bに集まり、テイル部58Bに沿って外方へ延びる。なお、変形例として、ベースフィルム57の形状は、パドル形ではなくて、抵抗パターン55、55、…、リード56、56、…及び端子58、58、…に相当する領域の平面形状と同じか、又は、その領域の平面形状を外方へ若干のマージン分だけ拡張させた形状とすることもできる。
次に、上で紹介したフィルム温度センサ600の製造方法について説明する。
製造方法の概略は、次の通りになる。まず、接着、スパッタ、印刷、めっき等の方法で金属(例えば、Ni, Cu, Ptなど)の薄膜が表面に形成された絶縁材料製のフィルム、例えばポリイミドフィルムを用意する。次に、そのポリイミドフィルム表面の金属箔に対して、抵抗体パターン55及びリード56を形成するためのパターンエッチングをする。パターンエッチングの流れは工程順に、(1)レジスト処理(感光性樹脂塗布またはドライフィルムのラミネート)、(2)露光(導体パターン焼き付け)、(3)現像(不要感光性樹脂除去)、(4)エッチング(不要銅箔溶解除去)、(5)剥離(エッチングレジスト除去)である。パターンエッチングにより、ポリイミドフィルム上に金属薄膜の抵抗体パターンとリードが同時に一体形成されたフィルムセンサができる。
上述した製造方法のいくつかの実施形態を、以下、図10以降を参照して説明する。
図10は、フィルム温度センサ600の製造方法の第1の実施形態を示す説明図である。
図10に示すように、円形のヘッド部57Aとそこから延び出たストリップ状のテイル部57Bからなるパドル形の一枚のベースフィルム57上に、抵抗体パターン(感熱素子)55及びリード56と端子58がパターンエッチングにより一体的に形成される。ベースフィルム57は、例えばポリイミドフィルムであって、変性ポリイミドのように変性層があるものでも変性層がないものでも、いずれも利用できる。そして、ベースフィルム57の抵抗体パターン55及びリード56が形成された側の表面には、薬品による防錆処理、又はめっき又は電着などの方法による樹脂コーティングにより、抵抗体パターン55及びリード56を保護するための処理が施される。
図11は、フィルム温度センサ600の製造方法の第2の実施形態を示す説明図である。
図11に示すように、図10に示した方法が行われた後に、さらにベースフィルム57の抵抗体パターン55及びリード56が形成された側の表面に、ベースフィルム57と同じパドル形のカバーレイ701が積層される。
カバーレイ701は、抵抗体パターン55やリード56の絶縁、防錆及び機械的保護の役目を持つ。カバーレイ701の材料としては、接着剤あるいは接着層を持つフィルム状の樹脂や、ポリイミドやワニス等の液状樹脂や、ソルダレジスト、感光性樹脂や、めっきなどが採用出来る。カバーレイ701にフィルム状の樹脂を用いる場合、それは、変性ポリイミドのように変性層があるものでも、ポリイミド、ポリエチレン、PETなどのように接着剤層がないものでも、両方利用できる。そして、これらの材料を用いてカバーレイ701を実装する方法としては、加熱加圧、印刷、電着、塗布などがある。
図12は、フィルム温度センサ600の製造方法の第3の実施形態を示す説明図である。
図12に示すように、図11に示す方法でカバーレイ701をベースフィルム57に積層する際、接着シート702が両者間に挟み込まれ、この三者が積層される。
接着シート702には、樹脂系接着シート及び接着剤が採用でき、その種類としては例として、ポリイミド系、エポキシ系、シリコーン系、アクリル系等がある。そして、ベースフィルム57、接着シート702、カバーレイ701の順に積層し、加熱・加圧処理を行うことで、フィルム温度センサ600が製作される。なお、接着シート702は、必ずしもシート状である必要はなく、液状体を接着対象物に塗布することで代替することができる。
図13は、フィルム温度センサ600の製造方法の第4の実施形態を示す説明図である。
図13に示すように、半導体ウエハ601の表面上で、図11に示した方法でフィルム温度センサ600が製造される。すなわち、半導体ウエハ601、ベースフィルム57、カバーレイ701が順に積層され、加熱・加圧処理が行われ、それにより温度測定用基板402が製作される。この場合、ベースフィルム57及びカバーレイ701に変性層をもつ合成樹脂フィルムが用いられ、その変性層が融着性を有する機能を利用して、半導体ウエハ601、ベースフィルム57及びカバーレイ701の接着が行われる。
図14は、フィルム温度センサ600の製造方法の第5の実施形態を示す説明図である。
図14に示すように、半導体601、接着シート702、ベースフィルム57が順に積層され、加熱・加圧処理が行われることで、温度測定用基板402が製作される。ベースフィルム57の下面(接着シート702の側の面)上に抵抗体パターン55、リード56及び端子58が形成される。接着シート702は電気絶縁層も兼ねている。ベースフィルム57がカバーレイ701としての機能も兼ねる。
図15は、フィルム温度センサ600の製造方法の第6の実施形態を示す説明図である。
図15に示すように、半導体ウエハ601、接着シート702、ベースフィルム57、カバーレイ701の順に積層し、加熱・加圧処理を行い温度測定用基板を製作する。
図16は、フィルム温度センサ600の製造方法の第7の実施形態を示す説明図である。
図16に示すように、半導体ウエハ601、接着シート702、ベースフィルムセンサ57、接着シート702、カバーレイ701の順に積層し、加熱・加圧処理を行い温度測定用基板を製作する。
以上、本発明の好適な実施形態を説明したが、これらは本発明の説明のための例示であって、本発明の範囲をこれらの実施例にのみ限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨を逸脱することなく、他の種々の形態でも実施することができる。
樹脂フィルムに抵抗体パターン55及びリード56等の導体膜を一体形成する方法として、(1)スパッタ膜+エッチング、(2)銅めっき膜+パターンエッチング、(3)パターン銅めっき、(4)スクリーン印刷などが採用できる。
また、2以上の感熱素子を同一位置で積層し、熱流束センサとして機能させても良い。例えば、両面に金属箔が接着されたフレキシブル基板を利用して上下同じ位置に抵抗体パターン(抵抗体)を作り、これを温度センサとして機能させれば、上下の温度差データからその位置を通る熱流束を計算することが出来る。
本発明のフィルム温度センサは、温度調節ステージに貼ることで、温度調節ステージの温度の測定にも利用できる。また、本発明のフィルム温度センサは、温度調節ステージ上に配置されることで、その上に載せられた半導体ウェハの温度の測定に利用されてもよい。温度測定のための試験的な半導体製造プロセスではなく、半導体ウェハ上で半導体回路を形成する本番の半導体製造プロセスにおいて、半導体ウェハと温度調節ステージとの間に本発明のフィルム温度センサを介装することにより、本番の半導体製造プロセスで実処理されている半導体ウェハの温度計測(in-situ温度計測)が可能である。
400…温度調節ステージ、401N…N型熱電変換素子、401P…P型熱電変換素子、402…温度測定用基板、403…載置プレート、405…熱電変換部、511A…上側プレート、511B…下側プレート、514A…上側電極、514B…下側電極、550…熱交換プレート、551…流路、55…感熱素子(抵抗体パターン)、56…リード、57…ベースフィルム57A…ヘッド部、57B…テイル部、58…端子、600…フィルム温度センサ、601…半導体ウェハ、607…支持ピン、700…フィルムセンサ、701…カバーレイ、702…接着シート。
Claims (12)
- 絶縁材料製のベースフィルム(57)と、
前記ベースフィルム(57)の表面上又は内部に一体的に形成される薄膜状の複数の感熱素子(55)と、
前記ベースフィルム(57)の表面上又はその厚み内に一体的に形成され、前記複数の感熱素子(55)と接続される薄膜状の複数のリード(56)と、
前記ベースフィルム(57)の表面上又は内部に一体的に形成され、前記複数のリード(56)と接続される複数の端子(58)と
を備えたフィルム温度センサ(600)。 - 請求項1記載のフィルム温度センサ(600)において、
前記ベースフィルム(57)が、パドル形の平面形状を有し、温度測定対象物の表面に接触するためのヘッド部(57A)と、前記ヘッド部から外方へ延び出たテイル部(57B)とを含み、
前記複数の感熱素子(55)が前記ヘッド部(57A)に配置され、前記複数の端子(58)が前記テイル部(57B)に配置され、複数のリード(56)が前記ヘッド部(57A)と前記テイル部(57B)の双方に配置されるフィルム温度センサ(600)。 - 請求項1または2記載のフィルム温度センサ(600)において、
前記複数の感熱素子(55)が同心円状又は螺旋状に配列されているフィルム温度センサ。 - 請求項1または2記載のフィルム温度センサ(600)において、
前記複数の感熱素子(55)がマトリックス状又はラスタ状に配列されているフィルム温度センサ。 - 請求項1記載のフィルム温度センサ(600)において、
前記感熱素子(55)の各々は、前記ベースフィルム(57)上の複数の温度測定ゾーンの各々をカバーする、温度により変化する電気抵抗率をもつ薄膜状の蛇行した抵抗体ラインからなる抵抗体パターンであり、
前記抵抗体パターンの測定温度範囲内での代表的な抵抗値をR、前記温度測定ゾーンの長手方向での寸法をH、前記抵抗体ラインの薄膜の厚さをT、前記導電材料の電気抵抗率をρ、前記抵抗ラインの幅をA、前記抵抗体ラインの幅Aに対する隣り合う抵抗体ライン間のスペースの幅の比率をk、としたとき、前記抵抗体パターンの前記抵抗体ラインの幅Aが、
(2/3)(H2ρ/(1+k)・T・R)≦A2≦(H2ρ/(1+k)・T・R)
の範囲内から選ばれているフィルム温度センサ。 - 請求項1に記載のフィルム温度センサ(600)において、
半導体製造プロセスにおける温度測定に使用されるためのフィルム温度センサ(600)。 - 温度測定対象物である基板(601)と、
前記基板(601)に取り付けられるフィルム温度センサ(600)とを備え、
前記フィルム温度センサ(600)は、
前記基板(402)に接触する絶縁材料製のベースフィルム(57)と、
前記ベースフィルム(57)の表面上又は内部に一体的に形成される薄膜状の感熱素子(55)と、
前記ベースフィルム(57)の表面上又はその厚み内に一体的に形成され、前記感熱素子(55)と接続される薄膜状のリード(56)と、
前記ベースフィルム(57)の表面上又は内部に一体的に形成され、前記リード(56)と接続される端子(58)と
を備えた温度測定用基板。 - 請求項7に記載の温度測定用基板において、
複数の前記感熱素子(55)と、前記複数の感熱素子(55)に接続された複数の前記リード(56)と、前記複数のリードに接続された複数の前記端子(58)とを備えた温度測定用基板。 - 請求項7に記載の温度測定用基板において、
前記フィルム温度センサ(600)の前記ベースフィルム(57)が、パドル形の平面形状を有し、前記基板(601)の表面に密着するヘッド部(57A)と、前記ヘッド部から外方へ延び出て前記基板(601)の外方へ出ているテイル部(57B)とを含み、
前記感熱素子(55)が前記ヘッド部(57A)に配置され、前記端子(58)が前記テイル部(57B)に配置され、前記リード(56)が前記ヘッド部(57A)と前記テイル部(57B)の双方に配置される温度測定用基板。 - 請求項7に記載の温度測定用基板において、
前記基板(601)が半導体ウェハである温度測定用基板。 - 絶縁材料製のベースフィルム(57)を用意するステップと、
前記ベースフィルム(57)の表面上又はその厚み内に複数の抵抗体パターン(55)を形成するステップであって、複数の抵抗体パターン(55)の各々が、前記ベースフィルム(57)上の複数の温度測定ゾーンの各々をカバーする、温度により変化する電気抵抗率をもつ薄膜状の蛇行した抵抗体ラインから形成される、前記抵抗体パターン(55)を形成するステップと、
前記ベースフィルム(57)の表面上又はその厚み内に複数のリードパターン(56)を形成するステップであって、前記複数のリードパターン(56)の各々が、前記複数の抵抗体パターン(55)の各々に接続された、薄膜状の導体ラインから形成される、前記リードパターン(56)を形成するステップと、
前記ベースフィルム(57)の表面上又はその厚み内に複数の端子パターン(58)を形成するステップであって、前記複数の端子パターン(58)の各々が、前記リードパターン(56)にそれぞれ接続された、薄膜状の導体片から形成される、前記端子パターン(58)を形成するステップと
を有するフィルム温度センサの製造方法。 - 請求項11記載の製造方法において、
前記抵抗体パターン(55)を形成するステップでは、前記抵抗体パターン(55)の測定温度範囲内での代表的な抵抗値をR、前記温度測定ゾーンの長手方向での寸法をH、前記抵抗体ラインの薄膜の厚さをT、前記導電材料の電気抵抗率をρ、前記抵抗ラインの幅をA、前記抵抗体ラインの幅Aに対する隣り合う抵抗体ライン間のスペースの幅の比率をk、任意に選択される係数をCとしたとき、前記抵抗体パターンの前記抵抗体ラインの幅Aが、
A2=C・H2・ρ/(1+k)・T・R
1≧C≧2/3
の範囲内から選ばれているフィルム温度センサの製造方法。
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