JP2005091045A - 薄膜抵抗測温シート - Google Patents
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 119
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 63
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 29
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 31
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 18
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 15
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 10
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 10
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 9
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 229910001006 Constantan Inorganic materials 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229910000809 Alumel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910001179 chromel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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Abstract
【構成】 少なくとも、シート状で耐熱性の絶縁材でなるベース層と、シート状で温度により電気抵抗が変化する耐熱性の抵抗膜層とで形成される積層シートでなり、前記積層シートの端部に、外部接続用の端子部を設けるとともに、前記抵抗膜層に、感温抵抗部と薄膜リード部とを、前記感温抵抗部と前記薄膜リード部とが形成される以外の前記抵抗膜層のエリアの一部を除去した部分でなる絶縁部で、周囲を囲んで形成し、前記感温抵抗部は、始端から終端に到る連続した形状であり、前記薄膜リード部は、前記感温抵抗部の前記始端及び前記終端を前記端子部に接続してなる。
【選択図】 図2
Description
そこで、この発明はこの問題を解決するためになされたものであって、高温高圧の条件下で行なわれるホットプレス工程における測温においても、繰り返して使用が可能な耐久性に優れた薄膜抵抗測温シートを提供しようとするものである。
ところで、上記の従来例では、熱電対を用いてホットプレス工程におけるワークの表面温度分布を測定しているが、温度測定方法としては、熱電対を用いる方法以外に、さまざまな方法があり、抵抗膜を用いた温度測定方法もその一つである。この抵抗膜を用いる温度測定方法では、薄膜抵抗測温シートを用いるが、この薄膜抵抗測温シートは、例えば、ポリイミド等のプラスチックシートに抵抗膜層でなる薄膜を形成したものであり、本発明は、この薄膜抵抗測温シートの抵抗膜層の薄膜のパターンを工夫することにより、上記の熱電対チップや熱電対シートのプラスチックシートの部分に発生したような縮みやしわの発生の防止を図ったものである。
また、上記の本実施例の薄膜抵抗測温シート1では、薄膜抵抗測温シートの抵抗膜層を銅で形成しているが、ニッケルまたは白金を用いてもよく、或いは、その他の電気抵抗を有する抵抗膜層を用いてもよい。また、上記の本実施例の薄膜抵抗測温シート1では、5箇所に測温部11を設けているが、測温部11を1個のみとし、この測温部11を収容するだけの小さい形状のベース層2とカバー層4とを用いた単体の薄膜抵抗測温シートを製作することもできる。
また、本発明の薄膜抵抗測温シートは、そのシートの形状を、熱融着シートのシーラー等に適合する形状に変える等することにより、熱融着シートのシーラー等におけるシール時の温度測定にも使用することができる。
3 抵抗膜層 4 カバー層
5 端子部 6 リード線
9 接着剤 10 絶縁部
11 測温部 11a 感温抵抗部
12 リード部
12a 電流測定用薄膜リード部
12b 電圧測定用薄膜リード部
13 周辺部 17 直流電源
18 電圧計 19 電流計
21 上熱板 22 下熱板
23 ワーク 24 熱電対チップ
25 リード線 26 熱電対接合部
27 熱電対シート
Claims (10)
- 少なくとも、シート状で耐熱性の絶縁材でなるベース層と、シート状で温度により電気抵抗が変化する耐熱性の抵抗膜層とで形成される積層シートでなり、
前記積層シートの端部に、外部接続用の端子部を設けるとともに、
前記抵抗膜層に、感温抵抗部と薄膜リード部とを、前記感温抵抗部と前記薄膜リード部とが形成される以外の前記抵抗膜層のエリアの一部を除去した部分でなる絶縁部で、周囲を囲んで形成し、
前記感温抵抗部は、始端から終端に到る連続した形状であり、前記薄膜リード部は、前記感温抵抗部の前記始端及び前記終端を前記端子部に接続してなることを特徴とする薄膜抵抗測温シート。 - 前記抵抗膜層の表面に、シート状で耐熱性の絶縁材でなるカバー層を設けてなる請求項1記載の薄膜抵抗測温シート。
- 前記ベース層、前記抵抗膜層及び前記カバー層でなる前記積層シートの厚さを0.05〜0.1mmとしてなる請求項2記載の薄膜抵抗測温シート。
- 前記感温抵抗部及び前記薄膜リード部の周囲を囲む前記絶縁部を、帯状としてなる請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄膜抵抗測温シート。
- 前記感温抵抗部を、帯状で蛇行した形状としてなる請求項1〜4のいずれか1項に記載の薄膜抵抗測温シート。
- 前記感温抵抗部の前記始端及び前記終端と前記外部接続用の端子部とを接続する少なくとも一方の前記薄膜リード部を2本とするとともに、該薄膜リード部を、前記外部接続用の端子部に設けた独立した端子に接続してなる請求項1〜5のいずれか1項に記載の薄膜抵抗測温シート。
- 前記抵抗膜層の材質を、銅、ニッケル、または、白金としてなる請求項1〜6のいずれか1項に記載の薄膜抵抗測温シート。
- 前記感温抵抗部及び前記薄膜リード部の周囲を囲む前記絶縁部を、前記抵抗膜層のエッチングにより形成してなる請求項1〜7のいずれか1項に記載の薄膜抵抗測温シート。
- 複数の前記感温抵抗部を、前記積層シートに設けてなる請求項1〜8のいずれか1項に記載の薄膜抵抗測温シート。
- 前記抵抗膜層の材質を銅、厚さを0.008mmとし、前記感温抵抗部の形状を、幅が0.03〜0.04mmの蛇行した帯状の形状で、該形状の全体の大きさを略10×5mmとし、前記絶縁部の形状を幅が0.025〜0.035mmの帯状としてなる請求項1〜9のいずれか1項に記載の薄膜抵抗測温シート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003322155A JP3733962B2 (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 薄膜抵抗測温シート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003322155A JP3733962B2 (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 薄膜抵抗測温シート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005091045A true JP2005091045A (ja) | 2005-04-07 |
JP3733962B2 JP3733962B2 (ja) | 2006-01-11 |
Family
ID=34453614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003322155A Expired - Lifetime JP3733962B2 (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 薄膜抵抗測温シート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3733962B2 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006078478A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-03-23 | Komatsu Ltd | フィルム温度センサ及び温度測定用基板 |
JP2011214998A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Kmew Co Ltd | 加熱処理時の到達温度評価方法 |
KR102210968B1 (ko) * | 2019-07-26 | 2021-02-03 | (주)인터플렉스 | 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물 |
WO2021020597A1 (ko) * | 2019-07-26 | 2021-02-04 | (주)인터플렉스 | 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물 |
WO2021065504A1 (ja) | 2019-10-01 | 2021-04-08 | 日東電工株式会社 | 導電フィルムおよびその製造方法、ならびに温度センサフィルムおよびその製造方法 |
WO2021065505A1 (ja) | 2019-10-01 | 2021-04-08 | 日東電工株式会社 | 導電フィルム、導電フィルムの製造方法、および温度センサフィルム |
WO2021065502A1 (ja) | 2019-10-01 | 2021-04-08 | 日東電工株式会社 | 導電フィルムおよび温度センサフィルム |
WO2021065503A1 (ja) | 2019-10-01 | 2021-04-08 | 日東電工株式会社 | 温度センサフィルム、導電フィルムおよびその製造方法 |
KR20210124212A (ko) | 2019-02-06 | 2021-10-14 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 온도 센서 필름, 도전 필름 및 그 제조 방법 |
KR20210124210A (ko) | 2019-02-06 | 2021-10-14 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 온도 센서 필름, 도전 필름 및 그 제조 방법 |
KR20210124211A (ko) | 2019-02-06 | 2021-10-14 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 도전 필름, 도전 필름 권회체 및 그 제조 방법, 그리고 온도 센서 필름 |
RU220876U1 (ru) * | 2023-07-10 | 2023-10-09 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Омский государственный технический университет" (ОмГТУ) | Комбинированный электрод экг-температура |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106500761B (zh) * | 2016-10-11 | 2019-01-11 | 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 | 一种同时检测温度和应变信号的传感器 |
-
2003
- 2003-09-12 JP JP2003322155A patent/JP3733962B2/ja not_active Expired - Lifetime
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---|---|---|---|---|
JP2006078478A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-03-23 | Komatsu Ltd | フィルム温度センサ及び温度測定用基板 |
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KR20210124211A (ko) | 2019-02-06 | 2021-10-14 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 도전 필름, 도전 필름 권회체 및 그 제조 방법, 그리고 온도 센서 필름 |
KR20210124210A (ko) | 2019-02-06 | 2021-10-14 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 온도 센서 필름, 도전 필름 및 그 제조 방법 |
KR20210124212A (ko) | 2019-02-06 | 2021-10-14 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 온도 센서 필름, 도전 필름 및 그 제조 방법 |
KR102210968B1 (ko) * | 2019-07-26 | 2021-02-03 | (주)인터플렉스 | 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물 |
WO2021020597A1 (ko) * | 2019-07-26 | 2021-02-04 | (주)인터플렉스 | 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물 |
WO2021065503A1 (ja) | 2019-10-01 | 2021-04-08 | 日東電工株式会社 | 温度センサフィルム、導電フィルムおよびその製造方法 |
WO2021065502A1 (ja) | 2019-10-01 | 2021-04-08 | 日東電工株式会社 | 導電フィルムおよび温度センサフィルム |
JP2021056161A (ja) * | 2019-10-01 | 2021-04-08 | 日東電工株式会社 | 導電フィルムおよびその製造方法、ならびに温度センサフィルムおよびその製造方法 |
WO2021065505A1 (ja) | 2019-10-01 | 2021-04-08 | 日東電工株式会社 | 導電フィルム、導電フィルムの製造方法、および温度センサフィルム |
WO2021065504A1 (ja) | 2019-10-01 | 2021-04-08 | 日東電工株式会社 | 導電フィルムおよびその製造方法、ならびに温度センサフィルムおよびその製造方法 |
KR20220070286A (ko) | 2019-10-01 | 2022-05-30 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 도전 필름 및 그 제조 방법, 그리고 온도 센서 필름 및 그 제조 방법 |
KR20220070281A (ko) | 2019-10-01 | 2022-05-30 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 도전 필름 및 온도 센서 필름 |
KR20220070287A (ko) | 2019-10-01 | 2022-05-30 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 도전 필름, 도전 필름의 제조 방법 및 온도 센서 필름 |
KR20220070285A (ko) | 2019-10-01 | 2022-05-30 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 온도 센서 필름, 도전 필름 및 그 제조 방법 |
EP4040126A4 (en) * | 2019-10-01 | 2023-10-11 | Nitto Denko Corporation | ELECTRICALLY CONDUCTIVE FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME, TEMPERATURE SENSOR FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME |
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---|---|
JP3733962B2 (ja) | 2006-01-11 |
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