KR102210968B1 - 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물 - Google Patents

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금진
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Abstract

본 발명은, 발열체의 온도를 측정하는 것으로서, 전기적 절연 성능을 갖는 제1절연층; 상기 제1절연층의 상측에 안착되며, 발열체로부터 발생되는 열의 변화에 따라 도전되는 전류의 세기가 변화하는 센서전극; 및 상기 센서전극의 상측을 덮는 제2절연층을 포함하되, 상기 센서전극은, 상기 제1절연층과 평행하게 배치되고, 일단에서 타단으로 갈수록 복수개의 절곡부가 형성된 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물을 제공한다.
본 발명에 따른 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물에 의하면, 박막의 제1절연층과, 제1절연층에 안착되며 복수개의 절곡부를 갖는 센서전극과, 센서전극을 덮는 제2절연층을 포함하는 필름 타입의 온도센서를 구비함으로써, 온도센서를 발열체에 보다 용이하게 부착시킬 수 있으며, 보다 넓은 면적을 통하여 발열체와 접촉되도록 할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물에 의하면, 종래의 칩(Chip) 타입의 온도센서와 비교하였을 때, 온도에 대한 반응시간(Response time)이 빨라진다는 장점이 있다. 즉, 본 발명에 따른 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물에 의하면, 필름(Film) 타입의 온도센서를 구비함으로써, 종래의 칩 타입의 온도센서보다 두께를 얇게 형성할 수 있어, 열용량을 낮게 유지할 수 있음은 물론, 열에 의한 반응 속도(저항값 변화)가 빨라진다는 장점이 있다.

Description

온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물{Temperature sensor and Heating structure including the same}
본 발명은 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 발열체의 온도를 측정하는 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물에 관한 것이다.
일반적으로, 발열구조물이란, 외부 전원으로부터 전류를 공급받아 열을 발생시키는 구조물을 의미한다. 발열구조물은, 발열체와, 외부 전원에 연결되며 발열체로 전류를 공급하는 공급전극과, 이들을 다른 부품과 전기적으로 절연시켜주는 절연층을 포함한다. 이러한 발열구조물은, 전자담배, 전열매트, 산업용 보온기구 등 다양한 장치에 사용되어, 목적하는 공간이나 부품으로 열을 공급하는 역할을 한다.
한편, 이러한 발열구조물에는, 통상 온도센서가 설치된다. 온도센서는 발열체의 온도를 측정하며, 측정된 정보를 별도의 제어부로 전달한다. 따라서 실시자는 제어부에 저장된 발열체의 온도 정보에 기초하여, 공급전극을 통해 발열체로 공급되는 전류의 세기를 조절하게 된다.
이때, 종래의 발열구조물에 의하면, 온도센서는 칩(Chip) 타입으로 제조된다는 특징이 있다. 이러한 칩 타입의 온도센서는, 별도의 접착수단을 이용하여 발열체에 부착시켜야 한다는 문제가 있다. 또한, 칩 타입의 온도센서는, 발열체와 접촉되는 면적에 한계가 있으므로, 발열체의 온도를 정확히 측정하지 못한다는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 별도의 접착수단이 없이도 발열체에 용이하게 부착시킬 수 있으며, 보다 넓은 면적을 통하여 발열체와 접촉되도록 하는 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물을 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 발열체의 온도를 측정하는 것으로서, 전기적 절연 성능을 갖는 제1절연층; 상기 제1절연층의 상측에 안착되며, 발열체로부터 발생되는 열의 변화에 따라 도전되는 전류의 세기가 변화하는 센서전극; 및 상기 센서전극의 상측을 덮는 제2절연층을 포함하되, 상기 센서전극은, 상기 제1절연층과 평행하게 배치되고, 일단에서 타단으로 갈수록 복수개의 절곡부가 형성된 온도센서가 제공된다.
본 발명의 다른 측면에 의하면, 발열체; 외부 전원에 연결되어 상기 발열체로 전류를 공급하는 공급전극; 및 상기 발열체의 일 측에 설치되며, 상기 발열체의 온도를 측정하는 온도센서를 포함하되, 상기 온도센서는, 박막 형상의 제1절연층과, 상기 제1절연층의 상측에 안착되며, 상기 발열체로부터 발생되는 열의 변화에 따라 도전되는 전류의 세기가 변화하는 센서전극과, 상기 센서전극의 상측을 덮는 제2절연층을 포함하며, 상기 센서전극은, 상기 제1절연층과 평행하게 배치되고, 일단에서 타단으로 갈수록 복수개의 절곡부가 형성된 발열구조물이 제공된다.
상기 센서전극은, 일단과 타단이 각각 10 내지 1000Ω의 저항값을 나타낸다.
상기 센서전극은, 에칭(Etching) 공법에 의해 제조된다.
상기 센서전극은, 니켈(Nickel), 몰리브덴(Molybdenum), 은(Silver) 중에서 선택된 물질이 함유된 제1전극층과, 상기 제1전극층에 안착되며, 구리(Copper)가 함유된 제2전극층을 포함한다.
상기 제1전극층은, 두께가 0.1 내지 1 ㎛이며, 상기 제2전극층은, 두께가 1 내지 50 ㎛이다.
본 발명에 따른 발열구조물은, 상기 발열체 및 상기 공급전극이 상측에 안착되는 제3절연층과, 상기 발열체 및 상기 공급전극의 상측을 덮는 제4절연층을 더 포함하며, 상기 온도센서는, 상기 제4절연층의 상면에 안착된다.
본 발명에 따른 발열구조물은, 상측에 상기 제3절연층이 안착되는 메탈층을 더 포함한다.
본 발명에 따른 발열구조물은, 상기 발열체 및 상기 공급전극이 하측에 안착되며, 상기 제1절연층의 하측에 배치되는 제3절연층과, 상기 발열체 및 상기 공급전극의 하측을 덮는 제4절연층과, 상기 제1절연층 및 상기 제3절연층의 사이에 개재되는 메탈층을 더 포함한다.
본 발명에 따른 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물에 의하면, 박막의 제1절연층과, 제1절연층에 안착되며 복수개의 절곡부를 갖는 센서전극과, 센서전극을 덮는 제2절연층을 포함하는 필름 타입의 온도센서를 구비함으로써, 온도센서를 발열체에 보다 용이하게 부착시킬 수 있으며, 보다 넓은 면적을 통하여 발열체와 접촉되도록 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물에 의하면, 종래의 칩(Chip) 타입의 온도센서와 비교하였을 때, 온도에 대한 반응시간(Response time)이 빨라진다는 장점이 있다. 즉, 본 발명에 따른 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물에 의하면, 필름(Film) 타입의 온도센서를 구비함으로써, 종래의 칩 타입의 온도센서보다 두께를 얇게 형성할 수 있어, 열용량을 낮게 유지할 수 있음은 물론, 열에 의한 반응 속도(저항값 변화)가 빨라진다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 발열구조물의 분해사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A 선을 따라 절단된 모습을 나타낸 온도센서의 단면도이다.
도 3은 도 2에 나타낸 센서전극의 단면도이다.
도 4는 도 1의 A-A 선을 따라 절단된 모습을 나타낸 발열구조물의 단면도로서, 본 발명에 따른 발열구조물의 제1실시예를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1의 A-A 선을 따라 절단된 모습을 나타낸 발열구조물의 단면도로서, 본 발명에 따른 발열구조물의 제2실시예를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 1의 A-A 선을 따라 절단된 모습을 나타낸 발열구조물의 단면도로서, 본 발명에 따른 발열구조물의 제3실시예를 나타낸 도면이다.
도 7 내지 도 10은 도 1의 평면도로서, 발열체 및 센서전극의 다양한 패턴을 도시한 도면이다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
이하, 도 1 내지 도 10을 참조하여, 본 발명에 따른 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물에 관해 상세히 설명하도록 한다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 온도센서(100)는, 발열체(12)의 상측에 설치되는 것으로서, 상기 발열체(12)의 온도를 측정한다. 이를 위하여 본 발명에 따른 온도센서(100)는, 제1절연층(110), 센서전극(120) 및 제2절연층(130)을 포함한다. 상기 제1절연층(110)은, 박막(Thin film)으로 형성된 것으로서, 전기적 절연 성능을 갖는다. 상기 센서전극(120)은, 상기 제1절연층(110)의 상측에 안착되며, 상기 발열체(12)로부터 발생되는 열의 변화에 따라 도전되는 전류의 세기가 변화한다. 상기 센서전극(120)은 외부의 제어부(미도시)와 연결되는데, 상기 제어부는 상기 발열체(12)에 도전되는 전류의 세기의 변화에 기초하여, 상기 발열체(12)의 열 변화량이 어느 정도인지를 산출한다. 그리고 상기 제어부는, 산출된 열 변화량에 기초하여 현재 상기 발열체(12)가 나타내는 온도를 추론한다. 추론된 상기 발열체(12)의 온도값에 기초하여, 공급전극(13)을 통해 상기 발열체(12)로 공급되는 전류의 세기가 조절된다.
상기 센서전극(120)은, 도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 제1절연층(130)과 평행하게 배치되며, 일단(121)에서 타단(122)로 갈수록 복수개의 절곡부(123)가 형성된다. 도 7 내지 도 10에서는 상기 복수개의 절곡부(123)에서 상기 센서전극(120)이 직각으로 절곡되는 것으로 도시되어 있으나, 이는 일 예에 불과하며, 상기 센서전극(120)은 상기 복수개의 절곡부(123)에서 곡률을 갖도록 휘어지거나, 직각이 아닌 다른 각을 나타내도록 절곡될 수도 있다.
상기 제2절연층(130)은, 상기 센서전극(120)의 상측을 덮는다. 이에 따라 상기 온도센서(100)는, 상기 제1절연층(110), 센서전극(120) 및 제2절연층(130)이 적층됨에 따라 전체로서 필름 타입의 구조를 갖는 형상으로 설계된다. 따라서 본 발명에 따른 온도센서(100) 및 이를 포함하는 발열구조물(10)에 의하면, 종래에 칩(Chip) 타입으로 온도센서(100)가 설계되던 것과 비교하였을 때, 상기 온도센서(100)를 상기 발열체(12)에 보다 용이하게 부착시킬 수 있으며, 보다 넓은 면적을 통하여 상기 발열체(12)와 접촉되도록 할 수 있다.
상기 센서전극(120)은, 일단(121)과 타단(122)이 각각 10 내지 1000Ω의 저항값을 나타내도록 형성될 수 있다. 상기 센서전극(120)의 일단(121)과 타단(122)의 저항값이 10 Ω 미만이 돠거나 1000 Ω을 초과하는 경우, 상기 센서전극(120)에 의한 온도 측정기능이 현저히 저하되는 문제가 발생한다. 따라서 상기 센서전극(120)을 통해 상기 발열체(12)의 온도를 보다 효과적으로 측정하기 위하여, 상기 센서전극(120)은, 일단(121)과 타단(122)이 각각 10 내지 1000Ω의 저항값을 나타내도록 형성된다고 할 수 있다.
상기 센서전극(120)은, 에칭(Etching) 공법에 의해 제조될 수 있다. 에칭이란, 화학용액이나 가스를 이용하여 대상물 중 필요한 부분만을 남겨놓고, 나머지 부분을 제거하는 공법을 의미한다. 이러한 에칭은, 가스나 플라즈마, 이온 빔을 사용하는 건식 방법과, 화학약품을 사용하는 습식 방법이 있다. 이러한 에칭 공법을 이용하여 상기 센서전극(120)을 제조하는 경우, 상기 제1절연층(110) 상에 실시자가 목적하는 상기 센서전극(120)의 패턴을 보다 정교하게 구현할 수 있다.
도 3을 참조하면, 상기 센서전극(120)은, 제1전극층(124)와 제2전극층(125)를 포함할 수 있다. 상기 제1전극층(124)은, 니켈(Nickel), 몰리브덴(Molybdenum), 은(Silver) 중에서 선택된 어느 하나의 물질을 30%중량비 이상으로 함유한다. 상기 제2전극층(125)은, 상기 제1전극층(124)의 상측에 안착되며, 구리(Copper)를 함유한다. 니켈(Nickel), 몰리브덴(Molybdenum), 은(Silver)은, 내부식성이 강한 소재이며, 구리는 전도성이 좋은 소재이다. 따라서 상기 제1전극층(124)이 니켈(Nickel), 몰리브덴(Molybdenum), 은(Silver)으로 형성되고, 제2전극층(125)이 구리로 형성되는 경우, 상기 센서전극(120)의 내부식성 및 전도성을 모두 향상시킬 수 있다.
이때, 상기 제1전극층(124)은, 두께(D1)가 0.1 내지 1 ㎛이며, 상기 제2전극층(125)는 두께(D2)가 1 내지 50 ㎛일 수 있다. 상기 발열체(12)로부터 발생되는 열의 변화에 따라 상기 센서전극(120)에 도전되는 전류의 세기가 변화하기 위해서는, 상기 센서전극(120)의 두께가 어느 정도 확보되어야 한다. 이때, 상기 제1전극층(124)에 비해 상기 제2전극층(125)이 전도성이 우수하므로, 보다 효과적인 온도 측정기능을 위해, 상기 제1전극층(124)은, 두께(D1)가 0.1 내지 1 ㎛이며, 상기 제2전극층(125)는 두께(D2)가 1 내지 50 ㎛이 되는 것이다.
이하부터는, 도 4 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 제1 내지 제3 실시예에 따른 발열구조물(10,20,30)에 관해 설명하도록 한다. 이때, 본 발명의 제2실시예의 경우, 제1실시예와 차이가 있는 부분에 대해서만 설명하도록 한다. 그리고 본 발명의 제3실시예의 경우, 제2실시예와 차이가 있는 부분에 대해서만 설명하도록 한다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 발열구조물(10)은, 상술한 온도센서(100), 제3절연층(11), 발열체(12), 공급전극(13), 제4절연층(14)을 포함한다. 상기 제3절연층(11)은, 상기 온도센서(100)의 하측에 배치된다. 상기 발열체(12)는, 상기 제3절연층(11)과 상기 온도센서(100)의 사이에 배치되며, 상기 제3절연층(11)의 상측에 안착된다. 상기 공급전극(13)은, 상기 제3절연층(11)과 상기 온도센서(100)의 사이에 배치되며, 상기 발열체(12)에 연결된다. 그리고 상기 공급전극(13)은 외부의 전원(미도시)으로부터 공급받은 전류를 상기 발열체(12)에 인가한다. 상기 공급전극(13)으로부터 전류를 인가받은 상기 발열체(12)는, 열을 발생시키게 된다. 상기 제4절연층(14)은, 상기 발열체(12)와 상기 온도센서(100)의 사이에 개재되며, 상기 발열체(12) 및 상기 공급전극(13)의 상측을 덮는다. 그리고 상기 제4절연층(14)의 상측에는, 상기 제1절연층(110)이 안착된다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 발열구조물(20)은, 본 발명의 제1실시예를 기준으로 메탈층(15)을 더 포함한다. 상기 메탈층(15)은, 상기 제3절연층(11)의 하측에 배치된다. 그리고 상기 메탈층(15)은 가열 대상물(미도시)에 접촉되어, 상기 발열체(12)로부터 발생된 열을 가열 대상물로 전달한다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 발열구조물(30)은, 본 발명의 제2실시예를 기준으로 상기 제3절연층(11), 발열체(12), 공급전극(13), 제4절연층(14) 및 메탈층(15)이 상하로 뒤집어진 구조로 설계된다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제1절연층(110)로부터 하측으로 차례로 상기 메탈층(15), 제3절연층(11), 발열체(12) 및 공급전극(13), 그리고 상기 제4절연층(14)이 설치된다. 이 경우, 상기 메탈층(15)은, 본 발명의 제2실시예에서 상기 발열체(12)로부터 발생된 열을 가열 대상물로 전달하는 역할을 하던 것과 비교하여, 본 발명의 제3실시예에서는 상기 발열체(12)로부터 발생된 열을 상기 센서전극(120)으로 전달하는 역할을 한다. 이와 같은 본 발명의 제3실시예에 따른 발열구조물(30)에 의하면, 상기 온도센서(100)에 의한 상기 발열체(12)의 온도 측정이 보다 원활하게 이루어지도록 할 수 있다.
이하, 도 7 내지 도 10을 참조하여, 발열체(12a,12b,12c,12d) 및 센서전극(120a,120b,120c,120d)의 다양한 변형례에 관해 설명하도록 한다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 발열체(12a,12b)는, 상기 제3절연층(11) 상에 2개 혹은 그 이상의 복수개의 조각으로 이격되어 배치될 수 있다. 그리고 센서전극(120a,120b)은, 각각의 발열체(12a,12b))의 상측에 모두 패턴 배열되도록 형성될 수 있다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 발열체(12c,12d)는, 상기 제3절연층(11) 상에 하나의 조각으로 형성될 수 있다. 그리고 센서전극(120c,120d)은, 이러한 하나의 발열체(12c,12d)) 상에 패턴 배열되도록 형성될 수 있다. 이때, 센서전극(120c,120d)은, 도 9와 같이 발열체(12c)의 면적 대부분을 덮도록 형성될 수도 있고, 도 10과 같이 발열체(12d)의 아주 작은 일부분만을 덮도록 형성될 수도 있다.
따라서 도 7 내지 도 10에 도시된 발열구조물(10a,10b,10c,10d)에 의하면, 실시자가 목적하는 바에 따라 센서전극(120a,120b,120c,120d) 및 온도센서(100)의 패턴 및 형상을 변경하여, 실시자가 목적하는 발열체(12a,12b,12c,12d)의 다양한 부위를 측정할 수 있다.
이상에서 살펴 본 바와 같이, 본 발명에 따른 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물에 의하면, 박막의 제1절연층과, 제1절연층에 안착되며 복수개의 절곡부를 갖는 센서전극과, 센서전극을 덮는 제2절연층을 포함하는 필름 타입의 온도센서를 구비함으로써, 온도센서를 발열체에 보다 용이하게 부착시킬 수 있으며, 보다 넓은 면적을 통하여 발열체와 접촉되도록 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물에 의하면, 종래의 칩(Chip) 타입의 온도센서와 비교하였을 때, 온도에 대한 반응시간(Response time)이 빨라진다는 장점이 있다. 즉, 본 발명에 따른 온도센서 및 이를 포함하는 발열구조물에 의하면, 필름(Film) 타입의 온도센서를 구비함으로써, 종래의 칩 타입의 온도센서보다 두께를 얇게 형성할 수 있어, 열용량을 낮게 유지할 수 있음은 물론, 열에 의한 반응 속도(저항값 변화)가 빨라진다는 장점이 있다.
10,20,30,10a,10b,10c,10d : 발열구조물 11 : 제3절연층
12,12a,12b,12c,12d : 발열체 13 : 공급전극
14 : 제4절연층 15 : 메탈층
100 : 온도센서 110 : 제1절연층
120,120a,120b,120c,120d : 센서전극 121 : 일단
122 : 타단 123 : 절곡부
124 : 제1전극층 125 : 제2전극층

Claims (13)

  1. 발열체의 온도를 측정하는 온도센서에 있어서,
    전기적 절연 성능을 갖는 제1절연층;
    상기 제1절연층의 상측에 안착되며, 발열체로부터 발생되는 열의 변화에 따라 도전되는 전류의 세기가 변화하는 센서전극; 및
    상기 센서전극의 상측을 덮는 제2절연층을 포함하되,
    상기 센서전극은, 상기 제1절연층과 평행하게 배치되고, 일단에서 타단으로 갈수록 복수개의 절곡부가 형성되며,
    상기 센서전극은,
    제1전극층과,
    상기 제1전극층에 안착되며, 상기 제1전극층과 다른 소재로 형성된 제2전극층을 포함하는 온도센서.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 센서전극은, 일단과 타단이 각각 10 내지 1000Ω의 저항값을 나타내는 온도센서.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 센서전극은, 에칭(Etching) 공법에 의해 제조되는 온도센서.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1전극층은, 니켈(Nickel), 몰리브덴(Molybdenum), 은(Silver) 중에서 선택된 물질이 함유되며,
    상기 제2전극층은, 구리(Copper)가 함유되는 온도센서.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1전극층은, 두께가 0.1 내지 1 ㎛이며,
    상기 제2전극층은, 두께가 1 내지 50 ㎛인 온도센서.
  6. 발열체;
    외부 전원에 연결되어 상기 발열체로 전류를 공급하는 공급전극; 및
    상기 발열체의 일 측에 설치되며, 상기 발열체의 온도를 측정하는 온도센서를 포함하되,
    상기 온도센서는,
    박막 형상의 제1절연층과,
    상기 제1절연층의 상측에 안착되며, 상기 발열체로부터 발생되는 열의 변화에 따라 도전되는 전류의 세기가 변화하는 센서전극과,
    상기 센서전극의 상측을 덮는 제2절연층을 포함하며,
    상기 센서전극은, 상기 제1절연층과 평행하게 배치되고, 일단에서 타단으로 갈수록 복수개의 절곡부가 형성되고,
    상기 센서전극은,
    제1전극층과,
    상기 제1전극층에 안착되며, 상기 제1전극층과 다른 소재로 형성된 제2전극층을 포함하는 발열구조물.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 센서전극은, 일단과 타단이 각각 10 내지 1000Ω의 저항값을 나타내는 발열구조물.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 센서전극은, 에칭(Etching) 공법에 의해 제조되는 발열구조물.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 제1전극층은, 니켈(Nickel), 몰리브덴(Molybdenum), 은(Silver) 중에서 선택된 물질이 함유되며,
    상기 제2전극층은, 구리(Copper)가 함유되는 발열구조물.
  10. 청구항 6에 있어서,
    상기 제1전극층은, 두께가 0.1 내지 1 ㎛이며,
    상기 제2전극층은, 두께가 1 내지 50 ㎛인 발열구조물.
  11. 청구항 6에 있어서,
    상기 발열체 및 상기 공급전극이 상측에 안착되는 제3절연층과,
    상기 발열체 및 상기 공급전극의 상측을 덮는 제4절연층을 더 포함하며,
    상기 온도센서는, 상기 제4절연층의 상면에 안착되는 발열구조물.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상측에 상기 제3절연층이 안착되는 메탈층을 더 포함하는 발열구조물.
  13. 청구항 6에 있어서,
    상기 발열체 및 상기 공급전극이 하측에 안착되며, 상기 제1절연층의 하측에 배치되는 제3절연층과,
    상기 발열체 및 상기 공급전극의 하측을 덮는 제4절연층과,
    상기 제1절연층 및 상기 제3절연층의 사이에 개재되는 메탈층을 더 포함하는 발열구조물.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH11339937A (ja) * 1998-05-22 1999-12-10 Komatsu Ltd 温度制御装置、温度制御装置の製造方法、温度センサおよび温度センサの製造方法
JP2005091045A (ja) * 2003-09-12 2005-04-07 Yamari Sangyo Kk 薄膜抵抗測温シート

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