JP2006077279A - 真空処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空処理装置10において、基板キャリア12A、12Bを複数の予備室30A、30Bの基板入れ替え口30Aa、30Baの前面にそれぞれ1又は2以上配置可能な構成とした。
また、基板キャリア12A、12Bに基板24を着脱する際には、少なくとも1つの基板キャリア12Aを水平面上に回転させる基板キャリア干渉防止機構50を備えると、省スペース化が容易になる。
【選択図】 図1
Description
特許文献1のインライン型スパッタリング装置は、基板はローディング室の搬送手段に装着され、成膜室内で成膜処理されて、アンローディング室で回収されるワンスルータイプである(特許文献図10参照)。
図4は、従来の真空処理装置の主要構成を示す平面図である。
また、同図において、150は真空排気装置である。
また、この従来装置100では、予備室120の基板入れ替え口120aの前には、基板キャリア140が配置されている。
また、図示による説明は省略するが、基板着脱部110には、基板カセットから水平搬送ロボットにより基板112を取り出し、移載ロボット114に受け渡すため、一旦、基板112を載置する受け台が設けられている。
更に、従来の真空処理装置100は、最後部(図中右端)の第3の真空処理室134が、基板キャリア140を往路から復路に、この2つの搬送経路に対して横方向に移動させて移載する移載機構(図示せず)を備えている。
先ず、基板着脱部110では、上述したように、移載ロボット114が、基板着脱部110内の所定位置にストックされた未処理基板112を取り込み、基板キャリア140に移載する。
基板着脱部110で、基板キャリア140に基板112が載置されると、この基板キャリア140は、ロード/アンロード室(L/UL室)120に搬入される。
基板キャリア140は、往路を搬送されながら、第1乃至第3の真空処理室130、132、134において、載置された基板が加熱や成膜等の真空処理が施される。
即ち、この従来例は、真空中で基板112がL/UL室120に帰還してくる真空リターン方式である点に特徴を有している。
従って、真空処理装置のタクトは、このL/UL室の排気、ベント時間により影響を受ける。
(1)請求項1に記載したように構成すると、一つの基板キャリアが予備室に入室している間に、他の基板キャリアに基板の移載が行われ、予備室における真空排気或いはベントのブランクタイムが削減されるので、真空処理のタクトを短くすることができ、生産効率が向上する。
図1は、本発明の真空処理装置の一実施の形態の構成を示す平面図である。
図2及び図3は、本発明の真空処理装置の一実施の形態の特徴を説明する一部裁断平面図である。
図1に示すように、本実施の形態の真空処理装置10は、従来の真空処理装置100同様に、基板着脱部20と複数(図示のものは3)の真空処理室130、132、134及び真空排気装置150を備えている。
また、L/UL室30A、30Bが複数であるため、基板キャリア12A、12Bを、L/UL室30A、30Bと、第1の真空処理室130の搬出入ポジションに位置制御する基板スライド室40を配置している。
これは、基板24が小さい場合は、装置10全体の設置スペースに大きな影響は与えないが、基板24が2m級以上のものになると、2つのL/UL室30A、30Bに隣接する基板キャリアスライド室40が巨大化するとともに、装置10全体が過大になり、クリーンルームに配置できる真空処理装置10の台数に制限が加えられ、クリーンルームの建設コスト、維持コスト等のコストが増大する恐れを有している。
複数の基板キャリア12A、12Bの内、例えば、一つの基板キャリア12Aは、基板着脱部20において、図1に示すように、基板キャリア干渉防止機構50により水平に回転させられ、基板キャリア12Aが水平に倒されると、未処理基板を単独の水平搬送ロボットである移載ロボット22から移載され、大気開放されている複数のL/UL室30A、30Bのいずれかに入室する。
その後、従来の真空処理装置100同様に、第1乃至第3の真空処理室130、132、134により、成膜等の真空処理が施されて、基板キャリアスライド室40に帰還し、L/UL室30A、30Bのいずれかの入室ポジションに位置制御されて、L/UL室30A、30Bのいずれかに入室する。
従って、本実施の形態の真空処理装置10では、従来のものでは、基板キャリア140のL/UL室120から真空側への搬送、及び、L/UL室120の真空排気には時間がかかっていたが、この時間のブランクが少なくすることができ、タクトを短くすることができ、生産効率を向上させることができる特徴を有している。
例えば、上記実施の形態の真空処理装置では、複数のL/UL室のそれぞれに、単数の基板キャリアを配置した例で説明したが、本発明の第1の特徴は、基板キャリアを複数配置し、一つの基板キャリアがL/UL室内で真空排気或いは大気開放している間に、他の基板キャリアでは移載ロボットにより基板の着脱を行うことで、L/UL室のブランクタイムの問題を解消することであるので、単数のL/UL室の基板入れ替え口の前面に複数の基板キャリアを配置した場合、若しくは、複数のL/UL室の基板入れ替え口の前面に複数の基板キャリアを配置した場合についても、本発明に含まれるのは勿論のことである。
これは、上述したように、特に、2m級以上の巨大な基板を大気中で移載する場合、風圧を考慮すると、このような反転させる構成のものが有利である。
しかし、中程度の基板を移載する場合等、あまり風圧の影響を考慮しなくてすむ場合などでは、例えば、一つの基板キャリアをスライドさせて、他の基板キャリアとは干渉しないようにしてから、基板を着脱するするようにしても良いので、基板キャリア干渉防止機構は、必ずしも上記実施の形態で説明したものに限定されるものではない。
12A、12B:基板キャリア
20:基板着脱部
22:水平搬送ロボット
30A、30B:L/UL室(予備室)
30Aa、30Ba:基板入れ替え口
40:基板キャリアスライド室
50:基板キャリア干渉防止機構
130、132、134:真空処理室
Claims (6)
- 基板を真空処理する真空処理室と、前記基板を載置して搬送する基板キャリアと、前記基板を大気側と真空側との間で搬入、搬出するための予備室とを具備した真空処理装置において、
前記基板キャリアを前記予備室の大気側基板キャリア入れ替え口の前面に2以上配置可能とされていることを特徴とする真空処理装置。 - 基板を真空処理する真空処理室と、前記基板を載置して搬送する基板キャリアと、前記基板を大気側と真空側との間で搬入、搬出するための複数の予備室と、前記予備室及び前記真空処理室の間に配置され、前記基板キャリアを前記予備室及び前記真空処理室の搬出入位置に移動させる基板キャリアスライド室とを具備した真空処理装置において、
前記基板キャリアを前記複数の予備室の大気側基板キャリア入れ替え口の前面にそれぞれ1又は2以上配置可能とされていることを特徴とする真空処理装置。 - 上記真空処理装置は、上記基板を略直立させた状態で真空処理を行う縦型方式であり、かつ、上記基板キャリアに基板を着脱する際には、当該基板キャリアを一旦水平に倒す方式の真空処理装置であって、
前記複数の基板キャリア同士の干渉を防止する基板キャリア干渉防止機構を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の真空処理装置。 - 上記基板キャリア干渉防止機構としては、上記基板キャリアに基板を着脱する際には、少なくとも1つの基板キャリアを水平面上で回転させ、当該基板キャリアは、他の基板キャリアとは反対側方向に水平に倒す機構であることを特徴とする請求項3に記載の真空処理装置。
- 上記基板キャリア干渉防止機構としては、上記基板キャリアに基板を着脱する際には、少なくとも1つの基板キャリアを、上記予備室への移動方向とは直交する方向に水平に移動させる機構であり、他の基板キャリアと所定の間隙を設けて同方向に水平に倒す機構であることを特徴とする請求項3に記載の真空処理装置。
- 上記真空処理装置は、基板移載ロボットとして、上記基板を上記基板キャリアに水平に着脱する水平搬送ロボットを用いていることを特徴とする請求項3乃至5のいずれかに記載の真空処理装置。
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