JP2006073589A - 配線基板及びその製造方法と半導体パッケージ及びプリント配線板 - Google Patents
配線基板及びその製造方法と半導体パッケージ及びプリント配線板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006073589A JP2006073589A JP2004251917A JP2004251917A JP2006073589A JP 2006073589 A JP2006073589 A JP 2006073589A JP 2004251917 A JP2004251917 A JP 2004251917A JP 2004251917 A JP2004251917 A JP 2004251917A JP 2006073589 A JP2006073589 A JP 2006073589A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring board
- etching
- wiring
- metal
- coaxial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Waveguides (AREA)
Abstract
【解決手段】
金属をコア基板とし、これをフォトエッチング、絶縁樹脂のキャスティング、張り合わせを少なくても一回、もしくは二回以上繰り返すことで同軸配線構造のシールド配線側面部や多層配線板の層間配線部分の形成を行う。特に信号線の周りを絶縁樹脂層で囲み、その外側を環状のシールド電極で覆った、同軸配線構造を有し、前記同軸配線構造の信号線と直交方向にあるシールド電極の上下面部で層間接続が可能となるのが好ましい。
【選択図】図3
Description
信号線の周りを絶縁層で囲み、その外側を環状のシールド電極で覆った、同軸配線構造
を有し、前記同軸配線構造の信号線と直交方向にあるシールド電極の上下面部で層間接続が可能となることを特徴とする配線基板であって、
そして、同一基板面内で、同軸配線構造の信号線と直交方向にあるシールド電極部の配線径の種類が複数存在することを特徴とする配線基板であって、
そしてまた、同軸配線構造の周囲が絶縁樹脂で構成されることを特徴とする配線基板であって、
また、同軸配線構造の周囲が金属で構成されることを特徴とする配線基板であって、
そしてまた、上記同軸配線構造の周囲が金属で構成されることを特徴とする配線基板を有する半導体パッケージであって、
また、同軸配線構造の周囲が金属で構成されることを特徴とする配線基板を有するプリント配線板であって、
また、上記同軸配線構造の周囲が絶縁樹脂で構成されることを特徴とする配線基板の同軸配線構造接続部にコンデンサを形成することを特徴とする配線基板であって、
また、上記同軸配線構造接続部にコンデンサを形成することを特徴とする半導体パッケージであって、
また、上記同軸配線構造接続部にコンデンサを形成することを特徴とするプリント配線板であって、
一方、上記した同軸配線構造を有する配線基板を製造する1つの好ましい方法においては、
上記同軸配線回路を金属箔上下面にフォトレジストをコーティングする工程と、
シールド電極側面部および信号線が形成されるよう金属箔上下両面をパターニングする工程と、
金属箔下面に保護シートを貼り、上面を少なくとも一回以上エッチングすことによりシールド電極側面部および信号線の上半分が形成させる工程と、
前工程で形成されたエッチング面および金属箔上面の表面を絶縁樹脂でキャスティングする工程と、
下面の保護シートをはがしシールド電極側面部および信号線の下半分を形成する工程と、
前工程で形成されたエッチング面および金属箔下面の表面を絶縁樹脂でキャスティングする工程と、
シールド電極側面部が出る程度に基板表面を研磨する工程と、
基板上下面に金属箔を張り合わせシールド電極上下面部をパターニングする工程と、
エッチングする工程と、
からなる、配線基板の製造方法であって、
また、上記の同軸配線構造を有する配線基板を製造する他の好ましい方法においては、シールド電極側面部および信号線が形成されるようパターニング、エッチングする工程において、第一のエッチングによって、第一の凹部を形成し、これによって形成されたエッチング面および金属層表面に電着レジストまたは液状レジストをコーティングし、シールド電極側面部と信号線の間および配線を形成しない部分を開口させるよう露光、現像し第二のエッチングを行う工程を有することを特徴とするものであって、
そしてまた、上記の同軸配線構造を有する配線基板を製造する他の好ましい方法においては、
金属箔上下面にフォトレジストをコートする工程と、
上面には層間配線部、下面には内層の配線をパターニングする工程と、
片面には保護シートを張り,その反対側をエッチングする工程と、
この工程によりできたエッチング面および金属表面を絶縁樹脂でキャスティングする工程と、
その反対側をエッチングすることによって、層間配線部と内層の配線パターンを同一金属層からフォトエッチングによって一括形成する工程と、
からなる、同一基板面内に層間配線部分の径の種類が少なくとも一つ以上存在する、多層
構造を有する配線基板の製造方法である。
特徴を利用するとこれまでに実現が困難であった複雑な立体形状を有する配線基板を製造することが可能となる。例えば、多層を有する配線板においての下層配線と層間配線部分を、同一金属層から基板面内をフォトエッチングによって一括形成することが可能となる。
化ポリプロピレン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリエチレン樹脂などの熱可塑性樹脂が挙げられる。
を埋め込み、80℃、30分の熱処理をして乾燥し、その表面に保護シートをラミネートする。
)参照)。裏側の金属表面および前工程のエッチングにより開口した部分に絶縁樹脂を埋め込み、熱処理後、乾燥した。ここで開口部からはみ出ている部分の絶縁樹脂をバフ研磨した。
2 プリプレグ
3 コア基板
4 第一のフォトレジスト
5 金属板
6 保護シート
7 第一のエッチング面(表面)
8 第二のフォトレジスト
9 第二のエッチング面(表面)
10 エッチング面(裏面)
11 絶縁樹脂
12 金属層
13 信号線
14 シールド電極
Claims (13)
- 金属層をコア基板とし、これをフォトエッチング、絶縁樹脂のキャスティング、張り合わせを少なくとも一回、もしくは二回以上繰り返すことで形成される構造を有することを特徴とする配線基板。
- 信号線の周りを絶縁樹脂層で囲み、その外側を環状のシールド電極で覆った、同軸配線構造を有し、前記同軸配線構造の信号線と直交方向にあるシールド電極の上下面部で層間接続が可能となることを特徴とする請求項1記載の配線基板。
- 同一基板面内で、同軸配線構造の信号線と直交方向にあるシールド電極部の配線径の種類が複数存在することを特徴とする請求項1、2いずれかに記載の配線基板。
- 同軸配線構造の周囲が絶縁樹脂で構成されることを特徴とする請求項1、2、3いずれかに記載の配線基板。
- 同軸配線構造の周囲が金属で構成されることを特徴とする請求項1、2、3いずれかに記載の配線基板。
- 請求項5記載の配線基板を有する半導体パッケージ。
- 請求項5記載の配線基板を有するプリント配線板。
- 請求項4記載の配線基板の同軸配線構造接続部にコンデンサを形成することを特徴とする配線基板。
- 請求項6記載の半導体パッケージの同軸配線構造接続部にコンデンサを形成することを特徴とする半導体パッケージ。
- 請求項7記載のプリント配線板の同軸配線構造接続部にコンデンサを形成することを特徴とするプリント配線板。
- 金属箔上下両面にフォトレジストをコーティングする工程と、
シールド電極側面部および信号線が形成されるよう金属箔上下両面をパターニングする工程と、
金属箔下面に保護シートを貼り、上面を少なくとも一回以上エッチングすることによりシールド電極側面部および信号線の上半分が形成させる工程と、
前工程で形成されたエッチング面および金属箔上面の表面を絶縁樹脂でキャスティングする工程と、
金属箔下面の保護シートをはがしシールド電極側面部および信号線の下半分を形成する工程と、
前工程で形成されたエッチング面および金属箔下面の表面を絶縁樹脂でキャスティングする工程と、
シールド電極側面部が出る程度に基板表面を研磨する工程と、
基板上下面に金属箔を張り合わせシールド電極上下面部をパターニングする工程と、
エッチングする工程と、
からなる、請求項2記載の配線基板の製造方法。 - シールド電極側面部および信号線が形成されるようパターニング、エッチングする工程において、第一のエッチングによって、第一の凹部を形成し、これによって形成されたエ
ッチング面および金属層表面に電着レジストまたは液状レジストをコーティングし、シールド電極側面部と信号線の間および配線を形成しない部分を開口させるよう露光、現像し第二のエッチングを行う工程を有することを特徴とする請求項11記載の配線基板の製造方法。 - 金属箔上下面にフォトレジストをコーティングする工程と、
上面には層間配線部、下面には内層の配線をパターニングする工程と、
片面には保護シートを張り,その反対側をエッチングする工程と、
この工程によりできたエッチング面および金属表面を絶縁樹脂でキャスティングする工程と、
その反対側をエッチングすることによって、層間配線部と内層の配線パターンを同一金属箔からフォトエッチングによって一括形成する工程と、
からなる、同一基板面内に層間配線部分の径の種類が少なくとも一つ以上存在する、多層構造を有する配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004251917A JP4548047B2 (ja) | 2004-08-31 | 2004-08-31 | 配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004251917A JP4548047B2 (ja) | 2004-08-31 | 2004-08-31 | 配線基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006073589A true JP2006073589A (ja) | 2006-03-16 |
JP4548047B2 JP4548047B2 (ja) | 2010-09-22 |
Family
ID=36153929
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004251917A Expired - Fee Related JP4548047B2 (ja) | 2004-08-31 | 2004-08-31 | 配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4548047B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9338887B2 (en) | 2012-10-16 | 2016-05-10 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Core substrate, manufacturing method thereof, and structure for metal via |
JP2016081959A (ja) * | 2014-10-10 | 2016-05-16 | シチズン電子株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
US11350520B2 (en) | 2019-08-08 | 2022-05-31 | At&S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft | Component carrier and method of manufacturing the same |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5212458A (en) * | 1975-07-16 | 1977-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of forming throughhholes in resin film |
JPH06224562A (ja) * | 1993-01-27 | 1994-08-12 | Mitsubishi Electric Corp | 多層基板およびその製造方法 |
JP2001036200A (ja) * | 1999-07-22 | 2001-02-09 | Yamaichi Electronics Co Ltd | 印刷配線板、印刷配線板の製造方法、および小形プラスチック成型品の製造方法 |
JP2001326433A (ja) * | 2000-05-18 | 2001-11-22 | Daiwa Kogyo:Kk | 多層配線基板及びその製造方法 |
JP2004006539A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Dainippon Printing Co Ltd | プリント配線基板、プリント配線基板用レリーフパターン付金属板、及び、プリント配線基板の製造方法 |
JP2004204251A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Toppan Printing Co Ltd | 金属エッチング製品及びその製造方法 |
-
2004
- 2004-08-31 JP JP2004251917A patent/JP4548047B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5212458A (en) * | 1975-07-16 | 1977-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of forming throughhholes in resin film |
JPH06224562A (ja) * | 1993-01-27 | 1994-08-12 | Mitsubishi Electric Corp | 多層基板およびその製造方法 |
JP2001036200A (ja) * | 1999-07-22 | 2001-02-09 | Yamaichi Electronics Co Ltd | 印刷配線板、印刷配線板の製造方法、および小形プラスチック成型品の製造方法 |
JP2001326433A (ja) * | 2000-05-18 | 2001-11-22 | Daiwa Kogyo:Kk | 多層配線基板及びその製造方法 |
JP2004006539A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Dainippon Printing Co Ltd | プリント配線基板、プリント配線基板用レリーフパターン付金属板、及び、プリント配線基板の製造方法 |
JP2004204251A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Toppan Printing Co Ltd | 金属エッチング製品及びその製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9338887B2 (en) | 2012-10-16 | 2016-05-10 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Core substrate, manufacturing method thereof, and structure for metal via |
JP2016081959A (ja) * | 2014-10-10 | 2016-05-16 | シチズン電子株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
US11350520B2 (en) | 2019-08-08 | 2022-05-31 | At&S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft | Component carrier and method of manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4548047B2 (ja) | 2010-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102617568B1 (ko) | 인쇄 회로 보드들을 위한 고속 인터커넥트들 | |
TWI307142B (en) | Semiconductor package substrate having different thicknesses between wire bonding pad and ball pad and method for fabricating the same | |
US6426011B1 (en) | Method of making a printed circuit board | |
JP2007142403A (ja) | プリント基板及びその製造方法 | |
EP3557957B1 (en) | Wiring substrate, multilayer wiring substrate, and method for manufacturing wiring substrate | |
TWI665949B (zh) | 柔性電路板及其製作方法 | |
JP2009283739A (ja) | 配線基板および配線基板の製造方法 | |
TW201720259A (zh) | 柔性電路板及其製作方法 | |
CN105530768B (zh) | 一种电路板的制作方法及电路板 | |
JP2017135357A (ja) | 印刷配線板およびその製造方法 | |
KR20090011528A (ko) | 인쇄회로기판의 제조방법 | |
JP7234049B2 (ja) | プリント配線基板 | |
JP4548047B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP4480548B2 (ja) | 両面回路基板およびその製造方法 | |
JP2005039233A (ja) | ビアホールを有する基板およびその製造方法 | |
TWI387423B (zh) | 印刷電路板及其製造方法 | |
KR20180013017A (ko) | 인쇄회로기판 | |
JP2013062293A (ja) | 多層配線基板の製造方法 | |
CN102413639B (zh) | 一种电路板的制造方法 | |
TWI691243B (zh) | 印刷電路板的製造方法 | |
JP4187049B2 (ja) | 多層配線基板とそれを用いた半導体装置 | |
CN110062538B (zh) | 一种阶梯槽槽底含引线的pcb制作方法及pcb | |
KR101987378B1 (ko) | 인쇄회로기판의 제조 방법 | |
KR100704917B1 (ko) | 인쇄회로기판 및 그 제조방법 | |
JP2005108941A (ja) | 多層配線板及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070726 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090529 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090908 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091023 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100112 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100303 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100615 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100628 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4548047 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130716 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140716 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |