JP2006066899A - 剥離および封止可能な装置、icシート、icシートの巻物およびicチップの作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 薄膜集積回路が複数設けられた基板を搬送する搬送手段と、薄膜集積回路の一方の面を第1のシート材に接着させて、基板から薄膜集積回路を剥離する第1の剥離手段と、薄膜集積回路の他方の面を第2のシート材に接着させて、第1のシート材から薄膜集積回路を剥離する第2の剥離手段と、薄膜集積回路を第2のシート材と第3のシート材で挟み込み、薄膜集積回路を封止するラミネート手段とを有するラミネート装置を提供する。
【選択図】 図1
Description
本実施の形態では、基板からの薄膜集積回路の剥離と、剥離した薄膜集積回路の封止の工程を連続して行う剥離および封止可能な装置の主な形態に関して以下に説明する。
本実施の形態では、ICシート(ICフィルム、シート体、フィルム体とも呼ぶ)の構成について以下に説明する。
本実施の形態では、ICシートの巻物(巻き取りもの、巻体、巻体物、巻装体等とも呼ぶ)の構成について以下に説明する。
本実施の形態では、本発明のICチップの作製方法について、図面を用いて以下に説明する。
Claims (20)
- 薄膜集積回路が複数設けられた基板を搬送する搬送手段と、
前記薄膜集積回路の一方の面を第1のシート材に接着させて、前記基板から前記薄膜集積回路を剥離する第1の剥離手段と、
前記薄膜集積回路の他方の面を第2のシート材に接着させて、前記第1のシート材から前記薄膜集積回路を剥離する第2の剥離手段と、
前記薄膜集積回路を前記第2のシート材と第3のシート材で挟み込み、前記薄膜集積回路を封止する封止手段とを有することを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 薄膜集積回路が複数設けられた基板を搬送する搬送手段と、
第1のシート材が巻きつけられた第1の供給用ローラーと、
前記薄膜集積回路の一方の面を第1のシート材に接着させて、前記基板から前記薄膜集積回路を剥離する第1の剥離手段と、
第2のシート材が巻きつけられた第2の供給用ローラーと、
前記薄膜集積回路の他方の面を第2のシート材に接着させて、前記第1のシート材から前記薄膜集積回路を剥離する第2の剥離手段と、
第3のシート材が巻きつけられた第3の供給用ローラーと、
前記薄膜集積回路を前記第2のシート材と前記第3のシート材で挟み込み、前記薄膜集積回路を封止する封止手段と、
封止された前記薄膜集積回路を巻き取る回収用ローラーとを有することを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 薄膜集積回路が複数設けられた基板と、
第1のシート材が巻き付けられた第1の供給用ローラーと、
前記基板の一方の面と前記第1のシート材とが対向するように前記基板を固定し、且つ前記薄膜集積回路と前記第1のシート材とが接着するように前記基板を移動させる固定移動手段と、
前記薄膜集積回路の一方の面を前記第1のシート材に接着させて、前記基板から前記薄膜集積回路を剥離する第1の剥離手段と、
第2のシート材が巻き付けられた第2の供給用ローラーと、
前記薄膜集積回路の他方の面を第2のシート材に接着させて、前記第1のシート材から前記薄膜集積回路を剥離する第2の剥離手段と、
前記薄膜集積回路の一方の面に接着する第3のシート材が巻き付けられた第3の供給用ローラーと、
前記薄膜集積回路を前記第2のシート材と前記第3のシート材により封止する封止手段と、
封止された前記薄膜集積回路を巻き取る回収用ローラーとを有することを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 薄膜集積回路が複数設けられた基板を搬送する搬送手段と、
第1のシート材が巻きつけられた第1の供給用ローラーと、
前記薄膜集積回路の一方の面を第1のシート材に接着させて、前記基板から前記薄膜集積回路を剥離する第1の剥離手段と、
第2のシート材が巻きつけられた第2の供給用ローラーと、
前記薄膜集積回路の他方の面を第2のシート材に接着させて、前記第1のシート材から前記薄膜集積回路を剥離する第2の剥離手段と、
前記薄膜集積回路の一方の面に、樹脂を加熱溶融状態で押し出しながら供給する手段と、
前記薄膜集積回路を前記第2のシート材と前記樹脂により封止する封止手段と、
封止された前記薄膜集積回路を巻き取る回収用ローラーとを有することを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一項において、
前記封止手段は、対向して設けられた2つのローラーを有することを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、
前記封止手段は、対向して設けられた2つのローラーを有し、前記2つのローラーの一方または両方は加熱手段を有することを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、
前記封止手段は、対向して設けられた2つのローラーを有し、前記2つのローラーの間に前記薄膜集積回路を通過させると共に、加圧手段と加熱手段の一方または両方を行うことにより、前記薄膜集積回路の封止を行うことを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 請求項4において、
前記封止手段は、対向して設けられた2つのローラーを有し、前記2つのローラーの一方または両方は冷却手段を有することを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 請求項4において、
前記封止手段は、対向して設けられた2つのローラーを有し、前記2つのローラーの間に前記薄膜集積回路を通過させると共に、加圧手段と冷却手段の一方または両方を行うことにより、前記薄膜集積回路の封止を行うことを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか一項において、
前記第1および第2の剥離手段は、ローラーを有することを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 請求項1乃至請求項10のいずれか一項において、
前記第2の剥離手段は、対向して設けられた2つのローラーを有することを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 請求項1乃至請求項10のいずれか一項において、
前記第2の剥離手段は、対向して設けられた2つのローラーを有し、前記2つのローラーの一方または両方は加熱手段を有することを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 請求項1乃至請求項10のいずれか一項において、
前記第2の剥離手段は、対向して設けられた2つのローラーを有し、前記2つのローラーの間に前記薄膜集積回路を通過させると共に、加圧手段と加熱手段の一方または両方を行うことにより、前記第1のシート材に接着した前記薄膜集積回路を前記第2のシート材に接着することを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 請求項1乃至請求項13のいずれか一項において、
前記第1のシート材は、少なくとも一方の面に接着面を有することを特徴とする剥離および封止可能な装置。 - 複数の薄膜集積回路と、
前記複数の薄膜集積回路の各々を表裏から封止する2つのシート材を有し、
前記複数の薄膜集積回路の各々は、複数の薄膜トランジスタと、アンテナとして機能する導電層とを有することを特徴とするICシート。 - 請求項15において、
前記複数の薄膜集積回路は、それぞれ規則的に配列することを特徴とするICシート。 - 複数の薄膜集積回路の各々を表裏からそれぞれ封止した2つのシート材とが巻き取られており、
前記複数の薄膜集積回路の各々は、複数の薄膜トランジスタと、アンテナとして機能する導電層とを有することを特徴とするICシートの巻物。 - 請求項17において、
前記複数の薄膜集積回路は、それぞれ規則的に配列することを特徴とするICシートの巻物。 - 絶縁表面を有する基板上に剥離層を形成し、
前記基板上に薄膜集積回路を複数形成し、
前記薄膜集積回路の境界に開口部を形成して、前記剥離層を露出させ、
前記開口部にフッ化ハロゲンを含む気体または液体を導入して、前記剥離層を除去し、
前記薄膜集積回路の一方の面を第1のシート材に接着させることにより、前記基板から前記薄膜集積回路を剥離し、
前記薄膜集積回路の他方の面を第2のシート材に接着させることにより、前記第1のシート材から前記薄膜集積回路を剥離し、
前記薄膜集積回路の一方の面を第3のシート材に接着させ、
前記薄膜集積回路を前記第2のシート材と前記第3のシート材により封止することを特徴とするICチップの作製方法。 - 請求項19において、
前記基板上に、前記薄膜集積回路として、複数の薄膜トランジスタと、アンテナとして機能する導電層を形成することを特徴とするICチップの作製方法。
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