JP2006060966A - Mems素子及びデバイス - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 36
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 15
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】ミラー部21の下方に支持基板11によってストッパ34を形成する。ミラー部21の両側にアクチュエータ22,23を形成するストッパ34は、支持基板11の他の部分と電気的に分離して上部層13と接続する。こうすることによって、プルイン現象やヒステリシスをなくすることができる。
【選択図】図1
Description
11 支持基板
12 絶縁層
13 上部層
21 ミラー部
22,23 アクチュエータ
22a,22b,34a,34b エッチングホール
24,25 ヒンジ部
26 上部層外周部
31 環状溝
32,33 切り欠き部
34 ストッパ
35 支持基板外周部
36 ワイヤボンディング
Claims (4)
- 導電性を有する支持基板と、前記支持基板上に形成された絶縁層と、前記絶縁層の上部に形成された導電性を有する上部層の基本構造を有し、
前記上部層は、
前記支持基板との間で間隙を隔てて保持され、上面を機能面とする可動部と、
前記可動部の両側方に回動軸に沿って前記可動部と一体に形成され、前記支持基板との間で間隙を隔てて保持され、前記支持基板からの静電気により前記可動部と共に回動する一対のアクチュエータと、
前記一対のアクチュエータの外側に回動軸に沿って形成され、前記アクチュエータ及び前記ミラー部を回動自在に保持する一対のヒンジ部と、
前記可動部、前記アクチュエータ及び前記ヒンジ部を取り囲む上部層外周部と、を有し、
前記支持基板は、
前記可動部と対応する位置に形成され、前記絶縁層に相当する間隙を介して前記アクチュエータの回動角を制限するストッパと、
前記ストッパを分離する環状溝を介して前記ストッパを取り囲む支持基板外周部と、
前記環状溝の側方に、前記アクチュエータの回動軸に対してその一側方に形成される一対の切欠き部と、を有することを特徴とするMEMS素子。 - 前記ストッパは、前記支持基板外周部とは電気的に絶縁され、且つ前記可動部を構成する前記上部層と電気的に接続されていることを特徴とする請求項1記載のMEMS素子。
- 前記可動部の回動軸から前記ストッパに接触する位置までの距離をLmとし、前記アクチュエータの幅を2Laとするとき、Lm>3Laを満足することを特徴とする請求項1又は2記載のMEMS素子。
- 請求項1〜3のいずれか1項記載のMEMS素子を用いて形成され、前記支持基板外周部と前記アクチュエータとの間に電圧を印加することにより前記可動部の角度を変化させることを特徴とするデバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004242498A JP4099165B2 (ja) | 2004-08-23 | 2004-08-23 | Mems素子及びデバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004242498A JP4099165B2 (ja) | 2004-08-23 | 2004-08-23 | Mems素子及びデバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006060966A true JP2006060966A (ja) | 2006-03-02 |
JP4099165B2 JP4099165B2 (ja) | 2008-06-11 |
Family
ID=36107978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004242498A Active JP4099165B2 (ja) | 2004-08-23 | 2004-08-23 | Mems素子及びデバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4099165B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7972884B2 (en) | 2008-03-19 | 2011-07-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Micromechanical device and method of manufacturing micromechanical device |
-
2004
- 2004-08-23 JP JP2004242498A patent/JP4099165B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7972884B2 (en) | 2008-03-19 | 2011-07-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Micromechanical device and method of manufacturing micromechanical device |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4099165B2 (ja) | 2008-06-11 |
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