KR20230112450A - 마이크로 미러 - Google Patents

Abstract

개시되는 마이크로 미러는, 양 끝단이 한 쌍의 지지대에 고정되는 막대형상의 토션빔; 및 판형상으로 상기 토션빔의 중심에 형성되는 미러;를 가지는 미러부; 상기 미러부 주변에 형성되는 고정부; 상기 토션빔의 폭방향 일측에 형성되는 일측 무빙전극 및; 상기 토션빔의 폭방향 타측에 형성되는 타측 무빙전극;을 포함하는 무빙 전극부; 및 상기 고정부에 형성되고 상기 일측 무빙전극과 마주하도록 배치되는 일측 고정전극; 및 상기 고정부에 형성되고 상기 타측 무빙전극과 마주하도록 배치되는 타측 고정전극을 포함하는 고정 전극부;를 포함하고, 외부에서 구동전압이 인가되면, 상기 일측 고정전극 및 상기 일측 무빙전극 사이에 일측 정전기력이 생성되고, 상기 타측 고정전극 및 상기 타측 무빙전극 사이에 타측 정전기력이 생성되며, 상기 일측 정전기력 및 상기 타측 정전기력은 상기 토션빔의 길이 방향 축을 회전축으로 하고 동일한 방향으로 회전하는 회전력(torque)을 발생시킨다.

Description

마이크로 미러{Micro Mirror}

본 발명(Disclosure)은, 마이크로 미러에 관한 것으로서, 구체적으로 적층되어 서로 다른 전위값을 가지는 전극체 구조 및 고정 전극부 및 무빙 전극부의 전극체 구조를 달리함으로써, 회전축 양측에 배치되는 콤 전극에서 동일한 방향의 회전력을 제공하도록 정전기력을 발생시켜 안정적인 미러 경사를 유지할 수 있고, 불필요한 정전기력을 상쇄함으로써, 미러 회전의 정밀도를 높이고 회전 작동의 기하학적 안정도를 높일 수 있는 마이크로 미러에 관한 것이다.

여기서는, 본 발명에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).

마이크로미터(㎛) 단위의 크기를 가지며 전기적으로 작동하는 마이크로 미러(micro mirror)는, 전자기파의 일종인 빛의 진행 경로를 다양하게 가변함으로써, 빛을 이용한 신호전달 체계에서 전달되는 신호를 사용자가 임의로 제어할 수 있다.

즉, 현재 소개되고 있는 마이크로 미러는, 물리 화학적 상호작용이 제한적인 광신호(光信號, Light Signal)의 유일한 변조 매커니즘을 제공할 수 있는 능동 소자이다.

마이크로 미러는, 과거 광 저장장치 또는 광통신용 핵심부품으로 이용되어왔다.

이중 광통신 분야는, 5G와 같이 초고속 통신망의 확대와 더불어, 늘어나는 디지털 정보를 원활하게 전송하기 위한 필수적인 기술분야이다.

과거의 광통신 분야는, FTTo(Fiber To The Office), FTTc(Fiber To The Curb), FTTH(Fiber To The Home)과 같이 사무실이나 가정 및 특정 지역에서 모여진 대량의 정보를 장거리 전송하는 것을 주요 목적으로 하였다.

따라서, 고속 광원 및 구동회로에 대한 개발이 가장 중요한 개발 이슈들을 이루고 있었다.

그러나 앞서 기술한 바와 같이, 갈수록 정보량은 늘어날 뿐만 아니라, 전속 속도 역시 급속gl 빨라지고 있다.

최근 디지털 광 처리(DLP, Digital Light Processing) 기술을 이용한 각종 장비 및 제품들이 상용화됨에 따라, 이들 장비 및 제품들에 적합한 마이크로 미러 개발이 한층 활발해지고 있다.

이는 정보처리에 있어서, 처리해야할 정보량뿐만 아니라, 전송속도 또는 처리속도 역시 빨라지기 때문에, 과거의 전기적 신호에 대한 제어 방법으로는, 한계점이 분명하며, 이를 타개하기 위해 광 신호에 대한 다양한 제어 기술들이 주목받고 있음을 말해준다.

따라서 광통신 분야에 있어서도, 고집적도를 구현할 수 있으며, 기계적 작동 정밀도를 높일 수 있고, 저전력 구동이 가능한 마이크로 미러에 대한 수요가 증가할 것으로 예상된다.

일반적으로 알려진 광통신용 마이크로 미러는, 정전기력(electrostatic force)을 이용한 콤 드라이브(빗살 구동기, comb drive)를 이용한다.

콤 드라이브는, 서로 마주하는 빗살 형상의 전극에 서로 다른 전위값을 인가하고 그 전위차(전압)에 따라 형성되는 정전기력을 이용한다.

두 개의 전극에 형성되는 정전기력은, 마주하는 전극 중에 자유도를 가지는 무빙전극의 변위(變位)를 유발하고, 이에 따라 무빙전극에 연결된 미러의 변위(變位) 발생 현상을 이용할 수 있다.

이러한 콤 드라이브는, 작동 및 구조의 기하학적 형태에 따라, 수평형 콤 드라이브(in-plane comb drive) 및 수직형 콤 드라이브(vertical comb drive)로 구분할 수 있다.

수평형 콤 드라이브는, 서로 마주하는 고정전극 및 무빙전극이 동일 평면에 형성되고, 이에 따라 무빙전극의 변위 역시 동일한 평면상에 발생한다.

이에 반하여 수직형 콤 드라이브는, 고정전극과 무빙전극이 서로 다른 높이에 배치되고, 이에 따라 무빙전극에 인가되는 정전기력에 의해 무빙전극이 회전할 수 있는 특징을 제공한다.

광 경로를 가변함으로써, 광 신호의 변조 또는 제어를 가능하게 하고자 하는 마이크로 미러의 기능적 측면을 고려할 때, 수평형 콤 드라이브 보다 수직형 콤 드라이브가 보다 적합하다 할 수 있다.

그러나 수직형 콤 드라이브는 미세 구조이면서 복잡한 3차원 형상의 전극 구조물을 형성해야 하기 때문에, 제조가 어렵다는 단점이 있다.

이러한 문제는 미러의 양방향 회전을 위한 복잡한 기계적, 전기적 패터닝이 어려우며, 이에 따라 단방향 회전 기능을 가지는 회전형 마이크로 미러가 사용되는 상황의 원인을 제공한다.

특히, 단방향 회전기능을 가지는 회전형 마이크로 미러에서는, 미러의 회전축의 양측 방향의 콤 드라이브를 모두 사용하지 못하고, 어느 한 방향의 콤 드라이브 만을 사용하기 때문에, 실질적으로는 미러가 회전과 동시에 이동하는 문제점이 발생한다.

1. 한국공개특허공보 제10-2004-0015497호

본 발명(Disclosure)은, 미러의 회전력을 강할 수 있는 마이크로 미러의 제공을 일 목적으로 한다.

여기서는, 본 발명의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 발명의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니 된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).

상기한 과제의 해결을 위해, 본 발명을 기술하는 여러 관점들 중 어느 일 관점(aspect)에 따른 마이크로 미러는, 양 끝단이 한 쌍의 지지대에 고정되는 막대형상의 토션빔; 및 판형상으로 상기 토션빔의 중심에 형성되는 미러;를 가지는 미러부; 상기 미러부 주변에 형성되는 고정부; 상기 토션빔의 폭방향 일측에 형성되는 일측 무빙전극 및; 상기 토션빔의 폭방향 타측에 형성되는 타측 무빙전극;을 포함하는 무빙 전극부; 및 상기 고정부에 형성되고 상기 일측 무빙전극과 마주하도록 배치되는 일측 고정전극; 및 상기 고정부에 형성되고 상기 타측 무빙전극과 마주하도록 배치되는 타측 고정전극을 포함하는 고정 전극부;를 포함하고, 외부에서 구동전압이 인가되면, 상기 일측 고정전극 및 상기 일측 무빙전극 사이에 일측 정전기력이 생성되고, 상기 타측 고정전극 및 상기 타측 무빙전극 사이에 타측 정전기력이 생성되며, 상기 일측 정전기력 및 상기 타측 정전기력은 상기 토션빔의 길이 방향 축을 회전축으로 하고 동일한 방향으로 회전하는 회전력(torque)을 발생시킨다.

본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 마이크로 미러는, 전도성 재질로 형성되고, 절연층에 의해 구분되어 상하 방향으로 적층되고 외부에서 서로 다른 전위값이 인가되어 상기 구동전압이 인가되는 제1 전도체 및 제2 전도체;를 더 포함하고, 상기 일측 고정전극과 상기 타측 무빙전극이 조합을 이루고, 상기 타측 고정전극과 상기 일측 무빙전극이 조합을 이루고, 상기 조합들 중 어느 하나는 상기 제1 전도체 및 상기 제2 전도체 중 어느 하나로만 형성되는 제1 조합이고, 다른 하나는 상기 제1 전도체 및 상기 제2 전도체를 모두 포함하여 형성될 수 있다.

본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 마이크로 미러에서, 상기 제1 조합은, 상기 제1 전도체 및 상기 제2 전도체 중 하측에 배치되는 것만으로 구성될 수 있다.

본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 마이크로 미러에서 상기 고정부와 상기 텐션부 및 상기 미러는, 상기 제1 전도체 및 상기 제2 전도체를 모두 포함하여 형성될 수 있다.

본 발명에 따르면, 미러의 회전축 양측에 배치되어 서로 다른 방향으로 작용하고 동일한 크기를 가지는 정전기력을 발생시키는 콤 드라이브 구조를 이용함으로써, 미러의 회전력을 향상시킬 수 있다.

본 발명에 따르면 미러 회전 작동이 안정적이고 정밀하게 제어될 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 마이크로 미러의 일 실시형태를 보인 도면.
도 2는 도 1의 마이크로 미러의 일부를 제거하여 단면을 보인 도면.
도 3는 도 1의 마이크로 미러에 구동 전압이 인가된 상태를 보인 도면.
도 4는 도 3의 마이크로 미러의 일부를 제거하여 단면을 보인 도면.
도 5는 본 발명에 따른 마이크로 미러의 작동을 설명하는 도면.

이하, 본 발명에 따른 마이크로 미러를 구현한 실시형태를 도면을 참조하여 자세히 설명한다.

다만, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상은 이하에서 설명되는 실시형태에 의해 그 실시 가능 형태가 제한된다고 할 수는 없고, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상에 기초하여 통상의 기술자에 의해 이하에서 설명되는 실시형태를 치환 또는 변경의 방법으로 용이하게 제안될 수 있는 범위를 포섭함을 밝힌다.

또한, 이하에서 사용되는 용어는 설명의 편의를 위하여 선택한 것이므로, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상을 파악하는 데 있어서, 사전적 의미에 제한되지 않고 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미로 적절히 해석되어야 할 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 마이크로 미러의 일 실시형태를 보인 도면이고, 도 2는 도 1의 마이크로 미러의 일부를 제거하여 단면을 보인 도면이다.

도 3는 도 1의 마이크로 미러에 구동 전압이 인가된 상태를 보인 도면이고, 도 4는 도 3의 마이크로 미러의 일부를 제거하여 단면을 보인 도면이다.

도 5는 본 발명에 따른 마이크로 미러의 작동을 설명하는 도면이다.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 실시형태에 따른 미이크로 미러는, 미러부(100), 고정부(200), 무빙 전극부(300) 및 고정 전극부(400)를 가진다.

미러부(100)는, 양 끝단이 한 쌍의 지지대(130)에 고정되는 막대형상의 토션빔(120) 및 판형상으로, 토션빔(120)의 중심에 형성되는 미러(110)를 가진다.

토션빔(120)은, 구동전압이 인가됨에 따라 토션빔(120)의 중심축을 중심으로 미러(110)가 회전할 때 불 가역적 파손없이, 비틀림 변형된다.

또한 구동전압이 해제되면, 비틀림 변형에 따라 축적된 탄성력으로 미러(110) 수평 상태로 복귀하게 한다.

미러(110)는 상면으로 투사되는 빛을 반사한다. 구동전압이 인가되면 토션빔(120)의 길이방향 축을 회전 중심으로하여 회전하여 빛의 경로를 변경한다.

고정부(200)는, 미러부(100) 주변에 형성되고, 후술하는 고정 전극부(400) 형성된다.

고정부(200)와 지지대(130)는, 일체형으로 결합된 구조체로 형성되는 것이 바람직하다.

무빙 전극부(300)는 토션빔(120)의 폭방향 일측에 형성되는 일측 무빙전극(310) 및 토션빔(120)의 폭방향 타측에 형성되는 타측 무빙전극(320)을 포함한다.

고정 전극부(400)는, 고정부(200)에 형성되고 일측 무빙전극(310)과 마주하도록 배치되는 일측 고정전극(410) 및 고정부(200)에 형성되고 타측 무빙전극(320)과 마주하도록 배치되는 타측 고정전극(420)을 포함한다.

본 실시형태에 따른 마이크로 미러의 작동은 다음과 같다.

도 3 내지 도 4를 참조하면, 본 실시형태에 따른 마이크로 미러는, 외부에서 구동전압이 인가되면, 일측 고정전극(410) 및 일측 무빙전극(310) 사이에 일측 정전기력(f1)이 생성되고, 타측 고정전극(420) 및 타측 무빙전극(320) 사이에 타측 정전기력(f2)이 생성된다.

이때, 일측 정전기력(f1) 및 타측 정전기력(f2)은 토션빔(120)의 길이 방향 축을 회전축으로 하고 동일한 방향으로 회전하는 회전력(torque)을 발생시킨다.

이에 따라, 본 실시형태에 따른 마이크로 미러는, 구동전압에 따라 일측 무빙전극(310)과 일측 고정전극(410)으로 구성되는 일측 콤 드라이브(d1) 및 타측 무빙전극(320)과 타측 고정전극(420)으로 구성되는 타측 콤 드라이브(d2)가 동일한 방향의 회전력을 토션빔(120)에 인가하게 된다.

앞서 기술한 바와 같이, 일측 콤 드라이브 또는 타측 콤 드라이브중 어느 하나만 정전기력으로 작동하게 되면, 작동하지 않는 반대측에 형성된 콤 드라이브가 불필요하게 된다.

또한, 일측 또는 타측 콤 드라이브 각각에 의한 정전기력은, 가로 방향의 정전기력으로 인해 미러의 이상적인 회전작동을 방해하는 간섭현상을 발생시킨다.

도 5에서 일측 정전기력(f1) 및 타측 정전기력(f2)를 구성하는 힘의 벡터 분석을 통하여 이들의 본 실시형태에 따른 마이크로 미러의 작동을 상세히 설명한다.

도 5는 도 4에서 측방향(p1)으로 바라본 상태이며, 무빙 전극부(300) 및 고정 전극부(400)의 작동을 명확히 구분하기 위해, 일측 및 타측 고정전극(410, 420)를 무빙 전극부(300)를 중심으로 일측과 타측으로 이격시킨 상태를 도시한 것임을 밝혀둔다.

일측 정전기력(f1) 및 타측 정전기력(f2)은 일측 및 타측 콤 드라이브(d1, d2)에 의해 발생하는 발생 정전기력(f1t, f2t) 각각에서 상하 방향으로 작용하는 세로방향 분력(分力)이다.

발생 정전기력(f1t, f2t)은 가로 방향으로 작용하는 가로방향 분력(f1h, f2h)도 포함한다.

이때, 무빙 전극부(300) 및 고정 전극부(400)는 제1 전도체(11) 및 제2 전도체(12)를 포함한다.

제1 전도체(11) 및 제2 전도체(12)는, 전도성 재질로 형성되고, 절연층에 의해 구분되어 상하 방향으로 적층되고, 외부에서 서로 다른 전위값이 인가되어 구동전압을 인가함으로써, 앞서 기술한 일측 및 타측 콤 드라이브에 정전기력을 유도한다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 실시형태에 따른 마이크로 미러는, 일측 고정전극(410)과 타측 무빙전극(320)이 조합을 이루고, 타측 고정전극(420)과 일측 무빙전극(310) 또 다른 조합을 이룰 때, 이 조합들 중 어느 하나는 제1 전도체(11) 및 제2 전도체(12) 중 어느 하나로만 형성되는 제1 조합이되고, 다른 하나는 제1 전도체(11) 및 제2 전도체(12)를 모두 포함하여 형성되는 제2 조합이 된다.

이때 제1 조합은, 제1 전도체(11) 및 제2 전도체(12) 중 하측에 배치되는 것 만으로 구성되는 것이 바람직하다.

무빙 전극부(300)와 고정 전극부(400) 사이에 발생하는 정전기력(electrostatic force)는 각 전극이 가지는 전하 사이의 쿨롱 힘(coulomb force)에 기인한다.

같은 전위차를 가지는 전극 사이에는 척력이, 서로 다른 전위차를 가지는 전극 사이에는 인력이 작용한다.

본 실시형태에 따른 마이크로 미러에서는 제1 전도체(11)와 제2 전도체(12)가 서도 다른 전위(electric potential)를 가짐에 따라 구동전압이 인가되면, 인접한 서로 다른 전위를 가지는 전도체와의 사이에 인력이 발생한다.

도 5를 참조하면, 제2 전도체(12)로 구성되는 타측 무빙전극(320)은 타측 고정전극(420)의 제1 전도체(11)와 인력이 형성된다.

동시에, 일측 무빙전극(310)의 제1 전도체(11)는 일측 고정전극(410)의 제2 전도체(12)와 인력이 형성된다.

이렇게 형성되는 정전기력은 무빙 전극부(300)를 회전시키는 세로방향 분력을 포함하면서도, 동일 평면상에 형성되는 무빙 전극부(300) 및 고정 전극부(400)의 배치 구조에 따라 가로방향 분력도 발생한다.

이때, 본 실시형태에 따른 마이크로 미러는, 가로방향 분력(f1h, f2h)은 서로 상쇄되지만, 세로방향 분력은 토션빔(120)을 중심으로 토션빔(120) 및 미러(110)를 회전시키는 일측 정전기력(f1) 및 타측 정전기력(f2)의 합으로 이루어지는 회전력으로 작용한다.

토션빔(120) 및 미러(110)의 회전력에 기여하지 않으면서, 선형으로 작용하는 가로방향 분력(f1h, f2h)은 상쇄하고, 세로방향 분력은 상호 보강하도록 함으로써, 본 실시형태에 따른 마이크로 미러는, 미러(110)의 회전 작동이 기하학적으로 이상적 형태를 가질 수 있다.

또한, 본 실시형태에 따른 마이크로 미러는, 무빙 전극부와 고정 전극부가 과도하게 근접하거나 접촉하여, 구동전압이 해제되더라도 이격되지 못하는 비가역적 작동 불능 상태가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

마이크로 미러는, 전도성 재질로 형성되고 수마이크로 단위의 크기를 가지는 미세 구조물이다.

일상 생활과 같은 거시 세계에서는 크기가 작아 심각한 문제를 일으키지 않는 정전기나 반데르발스 힘(van der Waals)과 같은 미세 작용힘도, 마이크로 미러와 같은 극도로 작은 미시적 구조물에는 큰 영향을 미친다.

각 구조물의 물성에 의한 복원력이 상술한 미세 작용힘을 보다 작으면, 토션빔 또는 토션빔에 형성된 무빙 전극부가 고정 전극부와 접촉하거나 또는 과도하게 근접한 상태를 해소할 수 없게 된다.

즉, 구동 전압이 인가되어 미러가 이동하거나 회전한 상태에서 원 상태로 복원되지 못하여 작동 불능상태가 된다.

본 실시형태에 따른 마이크로 미러는, 일측 정전기력과 타측 정전기력이 서로 다른 방향으로 작용하고 특히 가로방향 분력(f1h, f2h) 분력은 서로 상쇄하는 방향으로 작용하기 때문에, 무빙 전극부의 이동 변위와 이에 따른 작동 불능 상태를 방지할 수 있다.

가로방향 분력(f1h, f2h)을 상쇄하면 토션빔(120)의 좌굴(buckling) 현상을 방지하는 효과도 동시에 기대할 수 있다.

상술한 바와 같이, 토션빔(120)은, 구동전압이 인가됨에 따라 발생하는 일측 정전기력(f1) 및 타측 정전기력(f2)에 의해 비틀림 변형된다.

이때, 가로방향 분력(f1h, f2h)은 토션빔(120)의 비틀림 변형에 의해 토션빔(120)의 길이방향 벡터 성분을 가지게 된다.

즉, 토션빔(120)이 비틀림 변형되어 미러가 기울어질 때, 토션빔(120)은 길이 방향으로 가압되어 휘어지는 좌굴(buckling)현상이 발생한다.

이러한 현상은 앞서 기술한 무빙 전극부 및 고정 전극부의 접촉 또는 과도한 근접 상태를 더욱 심화시키는 요인으로 작용할 수 있다.

그러나 본 실시형태에 따른 마이크로 미러는, 가로방향 분력(f1h, f2h)을 모두 상쇄하기 때문에, 가로방향 분력(f1h, f2h)의 직접적인 작용뿐만 아니라, 토션빔(120)의 비틀림 변형과 함께 수반되는 간접적 작용를 원천적으로 제거할 수 있는 효과를 가진다.

본 실시형태에 따른 마이크로 미러에서, 고정부(200)와 텐션부(120) 및 미러는(110), 상술한 제1 전도체(11) 및 제2 전도체(12)를 모두 포함하여 형성되는 것이 바람직하다.

이에 따라 고정부(200)와 미러(110) 각각의 마주하는 끝단에서도 쿨롱 힘에 따른 정전기력이 생성될 수 있다.

구동 전압이 인가되어 무빙 전극부(300) 및 고정 전극부(400) 사이에 발생하는 정전기력에 따라 미러(110)가 회전하면, 미러(110)와 고정부(200) 각각의 마주하는 끝 단 사이에도 기울어진 상태를 유지하도록 하는 인력이 발생한다.

따라서, 기울어진 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.

본 실시형태에 따른 마이크로 미러는, 실리콘 웨이퍼 상에 제1 절연층이 형성되고, 그 상측에 제2 전도체(12)가 형성되고, 그 상측에 제2 절연층이 형성되고, 그 상측에 제1 전도체(11)가 형성된 SOI(Silicon on Insulator)를 이용하여 제조되는 것이 바람직하다.

이에 따르면, 제1 조합(본 실시형태에 있어서 타측 무빙전극(320) 및 일측 고정전극(410)으로 이루어지는 조합)을, 일측 및 타측 무빙전극(310, 320)중 어느 한 쪽, 그리고 타측 및 일측 고정전극(410, 420)중 어느 한쪽의 제1 전도체(11)를 선택적으로 식각하는 단 1회의 식각공정으로 제거함으로써, 쉽게 형성할 수 있다.

또한, 제1 전도체(11) 상측에 제1 전극메탈(13) 및 제2 전도체(2) 상측에 제2 전극메탈(14)을 형성함으로써, 제1, 2 전도체(11, 12)에 서로 다른 전위를 인가하여 구동전압을 형성할 수 있다.

제2 전극메탈(14)는 제1 전도체(11) 및 제2 절연층을 식각하여 노출된 제2 전도체(12) 상면에 형성할 수 있다.

Claims (4)

1. 양 끝단이 한 쌍의 지지대에 고정되는 막대형상의 토션빔; 및 판형상으로 상기 토션빔의 중심에 형성되는 미러;를 가지는 미러부;
   상기 미러부 주변에 형성되는 고정부;
   상기 토션빔의 폭방향 일측에 형성되는 일측 무빙전극 및; 상기 토션빔의 폭방향 타측에 형성되는 타측 무빙전극;을 포함하는 무빙 전극부; 및
   상기 고정부에 형성되고 상기 일측 무빙전극과 마주하도록 배치되는 일측 고정전극; 및 상기 고정부에 형성되고 상기 타측 무빙전극과 마주하도록 배치되는 타측 고정전극을 포함하는 고정 전극부;를 포함하고,
   외부에서 구동전압이 인가되면, 상기 일측 고정전극 및 상기 일측 무빙전극 사이에 일측 정전기력이 생성되고, 상기 타측 고정전극 및 상기 타측 무빙전극 사이에 타측 정전기력이 생성되며, 상기 일측 정전기력 및 상기 타측 정전기력은 상기 토션빔의 길이 방향 축을 회전축으로 하고 동일한 방향으로 회전하는 회전력(torque)을 발생시키는 마이크로 미러.
2. 청구항 1에 있어서,
   전도성 재질로 형성되고, 절연층에 의해 구분되어 상하 방향으로 적층되고 외부에서 서로 다른 전위값이 인가되어 상기 구동전압이 인가되는 제1 전도체 및 제2 전도체;를 더 포함하고,
   상기 일측 고정전극과 상기 타측 무빙전극이 조합을 이루고, 상기 타측 고정전극과 상기 일측 무빙전극이 조합을 이루고,
   상기 조합들 중 어느 하나는 상기 제1 전도체 및 상기 제2 전도체 중 어느 하나로만 형성되는 제1 조합이고, 다른 하나는 상기 제1 전도체 및 상기 제2 전도체를 모두 포함하여 형성되는 제2 조합인 마이크로 미러.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 제1 조합은,
   상기 제1 전도체 및 상기 제2 전도체 중 하측에 배치되는 것만으로 구성되는 마이크로 미러.
4. 청구항 2에 있어서,
   상기 고정부와 상기 텐션부 및 상기 미러는,
   상기 제1 전도체 및 상기 제2 전도체를 모두 포함하여 형성되는 마이크로 미러.
   

Images