JP2006060942A - ケーブル体案内装置及びそれを用いた液晶実装装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 小型化、高速低騒音化及び低発塵化の設備要求に応えることが可能なケーブル体案内装置及びそれを用いた液晶実装装置を提供する。
【解決手段】 複数のケーブルが一体化されてなり、一端が固定され、他端が移動体とつながれたケーブル体２０４を案内する装置であって、ケーブル体２０４が屈曲してＵ字形状を形成するようにケーブル体２０４を挟み込む支持台２０３及び回転ローラ２０１を備え、回転ローラ２０１は、移動体の移動に伴い回転する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、ケーブル案内装置に関し、特に生産機械の移動部への電源供給、信号伝達、エアー供給等を行うケーブルを案内する装置に関するものである。

一般的に、半導体製造装置等の生産機械は、直線往復移動する移動体を複数備えており、生産機械には、移動体への電源供給、信号伝達を行う電線、あるいはエアーの供給を行うホース等のケーブルが複数配置される。このようなケーブルは、剛性が高く、Ｕ字形状に曲げられているため、ケーブルの湾曲部が膨らむ。このとき、ケーブルの一端は機械本体に固定的に設けられた例えば制御装置あるいはエアー源と接続され、他端は移動体と接続されているため、湾曲部の膨らみは、自由に移動する。よって、この膨らみの移動を考慮に入れて、ケーブルのための大きなスペースを機械に確保しなければならず、機械を小型化できないという問題がある。

このような問題を解決する先行技術として、特許文献１に記載の可動式電線体がある。これは、図５の可動式電線体の正面図に示されるように、屈曲のための可撓性を有する可撓基部５００に複数のケーブルを配設してケーブルを一体化し、可撓基部５００が一定の曲率以上に屈曲しないように可撓基部５００に内側矯正歯５０１を設け、可撓基部５００の屈曲していない部分が略直線状を維持するように外側矯正歯５０２を設けることでケーブルの湾曲部の膨らみを防止するものである。
特開２０００−１０２１５３号公報

しかしながら、特許文献１に記載の可動式電線体では、移動体の移動に伴い隣り合う２つの内側矯正歯、あるいは２つの外側矯正歯が衝突して叩き音が発生するため、移動体の移動が高速になるにつれて騒音が大きくなり、最近の高速低騒音化の設備要求に応えることができない。また、内側矯正歯あるいは外側矯正歯の衝突により発塵が多くなるため、クリーンルーム内での使用を目的とした低発塵化の設備要求に応えることができない。さらに、可撓基部内に複数のケーブルが配設されるため、ケーブル同士、あるいはケーブルと可撓基部との間の摩擦により皮膜損傷に起因する断線が発生し、ケーブルに対する長寿命化の要求に応えることができない。

そこで、本発明は、かかる問題点に鑑み、小型化、高速低騒音化及び低発塵化の設備要求に応えることが可能なケーブル体案内装置及びそれを用いた液晶実装装置を提供することを第１の目的とする。

また、ケーブルに対する長寿命化の要求に応えることが可能なケーブル体案内装置及びそれを用いた液晶実装装置を提供することを第２の目的とする。

上記目的を達成するために、本発明のケーブル体案内装置は、一端が移動体に固定され、他端が非移動体に固定されたケーブル体を案内する装置であって、円筒体と支持板とを備え、前記円筒体は、軸部と、前記軸部が挿入された回転可能な筒状部とを有し、前記支持板は、前記筒状部が前記ケーブル体の載置された載置面に平行に突出するように前記軸部を支持することを特徴とする。ここで、前記ケーブル体案内装置は、複数の前記円筒体を備え、前記支持板は、前記複数の軸部を片持ちで支持してもよいし、前記ケーブル体案内装置は、さらに、前記複数の円筒体により保持される無端ベルトを備えてもよい。

これによって、円筒体及び載置面でケーブル体を挟み込んでＵ字形状を維持させつつ、筒状部の回転により移動可能にしてケーブル体を案内するので、ケーブル体の湾曲部の膨らみが起こらず、また移動体の移動により騒音が大きくなったり、発塵が多くなったりせず、小型化、高速低騒音化及び低発塵化の設備要求に応えることが可能なケーブル体案内装置を実現することができる。また、特許文献１に記載の可動式電線体のように、ケーブル同士、あるいはケーブルと可撓基部との間の摩擦による皮膜損傷に起因する断線が発生しないので、ケーブルに対する長寿命化の要求に応えるケーブル体案内装置を実現することができる。

ここで、前記軸部の一端は、弾性部材と接続されてもよい。
これによって、ケーブル体の移動により円筒体が受ける衝撃を吸収することができるので、ケーブルの更なる長寿命化の要求に応えるケーブル体案内装置を実現することができる。

また、本発明は、上記ケーブル体案内装置を備えることを特徴とする液晶実装装置とすることもできる。
これによって、小型化、高速低騒音化及び低発塵化の設備要求に応えることが可能な液晶実装装置を実現することができる。また、ケーブルに対する長寿命化の要求に応える液晶実装装置を実現することができる。

本発明に係るケーブル体案内装置によれば、小型化、高速低騒音化及び低発塵化の設備要求に応えることができる。また、ケーブルに対する長寿命化の要求に応えることができる。

以下、本発明の実施の形態におけるケーブル体案内装置及びそれを用いた液晶実装装置について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施の形態の液晶実装装置の構造を示す図である。

尚、本実施の形態の説明において、液晶パネルの種類としては、例えば液晶表示基板（ＬＣＤ基板）、プラズマ表示パネル基板（ＰＤＰ基板）等のガラス製基板、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ基板）等があり、半導体部品の種類としては、ＩＣチップ、各種半導体デバイス等がある。

本実施の形態の液晶実装装置は、ライン型の液晶実装装置であって、１つ目の工程としての液晶パネルへの異方性導電性テープ（ＡＣＦテープ）の貼付けを行うＡＣＦ貼付け装置１０１と、２つ目の工程としての液晶パネルに対する半導体部品の仮圧着を行う仮圧着装置１０２と、３つ目の工程としての液晶パネルに対する半導体部品の本圧着を行う本圧着装置１０３とを備える。

ＡＣＦ貼付け装置１０１は、図１（ａ）に示されるように、反り矯正ユニット１０１ａ、バックアップステージ１０１ｂ、パネルステージ１０１ｃ、ＸＹテーブル１０１ｄ、ＡＣＦ供給部１０１ｅ等を備える。このＡＣＦ貼付け装置１０１は、ＡＣＦ貼付けヘッドを用いて、バックアップステージ１０１ｂ上の液晶パネルに、ＡＣＦ供給部１０１ｅから供給されるＡＣＦテープを貼付ける。

反り矯正ユニット１０１ａは、液晶パネルの側縁部の反りを矯正する。パネルステージ１０１ｃは、液晶パネルを真空吸着して保持すると共に、回転、搬送して位置決めを行う。ＸＹテーブル１０１ｄは、液晶パネルの側縁部近辺が反り矯正ユニット１０１ａやバックアップステージ１０１ｂに載置されるようにパネルステージ１０１ｃの位置決めを行う。

仮圧着装置１０２は、図１（ａ）に示されるように、部品供給部１０２ａ、バックアップステージ１０２ｂ、パネルステージ１０２ｃ、ＸＹテーブル１０２ｄ等を備える。この仮圧着装置１０２は、バックアップステージ１０２ｂ上の液晶パネルに貼付けされたＡＣＦテープ上に、ＴＣＰテープ等を用いて部品供給部１０２ａから供給される半導体部品をのせる。

パネルステージ１０２ｃは、液晶パネルを真空吸着して保持すると共に、回転、搬送して位置決めを行う。ＸＹテーブル１０２ｄは、液晶パネルの側縁部近辺がバックアップステージ１０２ｂに載置されるようにパネルステージ１０２ｃの位置決めを行う。

本圧着装置１０３は、図１（ｂ）に示されるように、液晶パネルの縦方向の本圧着を行う装置と液晶パネルの横方向の本圧着を行う装置とから構成され、反り矯正ユニット１０３ａ、バックアップステージ１０３ｂ、パネルステージ１０３ｃ、ＸＹステージ１０３ｄ、加圧ヘッド１０３ｅ、シート供給部１０３ｆ等を備える。この本圧着装置１０３は、バックアップステージ１０３ｂ上の液晶パネルに仮圧着された半導体部品を、加圧ヘッド１０３ｅを用い加熱処理及び加圧処理し、液晶パネルの側縁部に本接合する。

反り矯正ユニット１０３ａは、液晶パネルの側縁部の反りを矯正する。パネルステージ１０３ｃは、液晶パネルを真空吸着して保持すると共に、回転、搬送して位置決めを行う。ＸＹテーブル１０３ｄは、液晶パネルの側縁部近辺がバックアップステージ１０３ｂや反り矯正ユニット１０３ａに載置されるようにパネルステージ１０３ｃの位置決めを行う。

ここで、半導体部品と液晶パネルとの間の端子接合状態は、周囲の環境に依存して変化し、クリーンな環境で端子接合を行うことで高精度な端子接合が実現される。よって、液晶実装装置は、クリーンな環境で稼動される。

以上のような構造を有する液晶実装装置において、ＡＣＦ貼付けヘッド、ＸＹテーブル１０１ｄ、１０２ｄ、１０３ｄ、加圧ヘッド１０３ｅ等の移動体への、電源供給及び信号伝達を行う電線、エアーの供給を行うホース等の複数のケーブルは、例えば接着剤等により接着することで一体化されている。そして、一体化されたフラットなケーブル体は、一端が液晶実装装置に固定的に設けられた制御装置あるいはエアー源と接続され、他端が移動体と接続され、ケーブル体案内装置により、制御装置あるいはエアー源から移動体へと案内されている。

図２は、ケーブル体案内装置２００の構造を示す図である。図２（ａ）は、ケーブル体案内装置２００の斜視図であり、図２（ｂ）は、ケーブル体案内装置２００の断面図であり、図２（ｃ）は、回転ローラ２０１の断面図である。

ケーブル体案内装置２００は、円筒体である複数の回転ローラ２０１、支持板２０２、載置台２０３等を備え、Ｕ字形状を維持させつつ制御装置２０５からＸＹテーブル１０１ｄのＸ軸部２０６へとケーブル体２０４を案内する。

回転ローラ２０１は、軸部２０１ａ、及び軸部２０１ａが挿入され、軸部２０１ａを中心として回転する筒状部２０１ｂを有する。ここで、回転ローラ２０１は、側面がケーブル体２０４と接しており、ケーブル体２０４と接続されたＸ軸部２０６の移動に伴って筒状部２０１ｂが回転し、Ｕ字形状を維持させつつケーブル体２０４を移動させる。つまり、図２（ａ）のＡ方向へのＸ軸部２０６の移動に伴い、筒状部２０１ｂは図２（ｂ）のＢ方向に回転し、図２（ｂ）の点線の位置になるように図２（ｂ）のＣ方向へケーブル体２０４を移動させる。なお、筒状部２０１ｂは、例えば、ケーブル体２０４がポリウレタン樹脂から構成される場合には、エンプラ樹脂、テフロン（登録商標）樹脂等の低摩擦材料から構成される。

支持板２０２は、複数の軸部２０１ａと接続され、軸部２０１ａがケーブル体の載置される載置台２０３の載置面に平行に突出し、複数の軸部２０１ａを片持ちで支持する。このとき、ケーブル体２０４は、屈曲してＵ字形状を形成するように載置台２０３及び回転ローラ２０１により挟み込まれており、回転ローラ２０１及び載置台２０３に沿うようにして移動する。

以上のように本実施の形態の液晶実装装置によれば、電線、ホース等の複数のケーブルを接着することで一体化し、ケーブル体案内装置によりそのケーブル体を案内する。つまり回転ローラ及び載置台でケーブル体を挟み込んでＵ字形状を維持させつつ、回転ローラの回転によりケーブル体を移動可能にして案内する。よって、ケーブル体の湾曲部の膨らみが無くなり、また移動体の移動により騒音が大きくなったり、発塵が多くなったりしないので、本実施の形態の液晶実装装置は、小型化、高速低騒音化及び低発塵化の設備要求に応えることが可能な液晶実装装置を実現することができる。また、特許文献１に記載の可動式電線体のように、ケーブル同士、あるいはケーブルと可撓基部との間の摩擦による皮膜損傷に起因する断線が発生しないので、本実施の形態の液晶実装装置は、ケーブルに対する長寿命化の要求に応える液晶実装装置を実現することができる。

以上、本発明に係るケーブル体案内装置及びそれを用いた液晶実装装置について実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形または修正が可能であることはいうまでもない。

例えば、上記実施の形態のケーブル体案内装置では、軸部は支持板により片持ちで支持されるとしたが、回転ローラを挟み込むように支持板と対向して位置する第２の支持板を更に設け、軸部は２つの支持板により両持ちで支持されてもよい。また、図３に示されるように、軸部２０１ａの少なくとも一端は、支持板２０２と接続されるのでは無く、ばね等の弾性部材３０１と接続された支持部材３０２と接続されてもよい。これによって、ケーブル体の移動により回転ローラが受ける衝撃を吸収することができるので、ケーブルを長寿命化することができる。

また、上記実施の形態のケーブル体案内装置では、回転ローラによりケーブル体を移動可能にして案内するとしたが、図４に示されるように、複数の回転ローラ２０１により保持され、表面がケーブル体と接する無端ベルト４００を設けて、無端ベルト４００の回転によりケーブル体を移動可能にして案内してもよい。

また、ケーブル体案内装置を用いた生産機械として液晶実装装置を例示したが、一端が移動体と接続され、他端が固定されたケーブルを有する装置であればこれに限られない。

本発明は、ケーブル体案内装置に利用でき、特に移動体への電源供給、信号伝達、エアー供給等を行うケーブルを有する生産機械等に利用することができる。

本発明の実施の形態の液晶実装装置の構造を示す図である。 ケーブル体案内装置の構造を示す図である。 弾性部材と接続された回転ローラを示す図である。 回転ローラによって保持された無端ベルトを示す図である。 従来の可動式電線体の正面図である。

符号の説明

１０１ ＡＣＦ貼付け装置
１０１ａ、１０３ａ 反り矯正ユニット
１０１ｂ、１０２ｂ、１０３ｂ バックアップステージ
１０１ｃ、１０２ｃ、１０３ｃ パネルステージ
１０１ｄ、１０２ｄ、１０３ｄ ＸＹテーブル
１０１ｅ ＡＣＦ供給部
１０２ 仮圧着装置
１０２ａ 部品供給部
１０３ 本圧着装置
１０３ｅ 加圧ヘッド
１０３ｆ シート供給部
２００ ケーブル体案内装置
２０１ 回転ローラ
２０１ａ 軸部
２０１ｂ 筒状部
２０２ 支持板
２０３ 載置台
２０４ ケーブル体
２０５ 制御装置
２０６ Ｘ軸部
３０１ 弾性部材
３０２ 支持部材
４００ 無端ベルト
５００ 可撓基部
５０１ 内側矯正歯
５０２ 外側矯正歯

Claims (5)

1. 一端が移動体に固定され、他端が非移動体に固定されたケーブル体を案内する装置であって、
   円筒体と支持板とを備え、
   前記円筒体は、軸部と、前記軸部が挿入された回転可能な筒状部とを有し、
   前記支持板は、前記筒状部が前記ケーブル体の載置された載置面に平行に突出するように前記軸部を支持する
   ことを特徴とするケーブル体案内装置。
2. 前記ケーブル体案内装置は、複数の前記円筒体を備え、
   前記支持板は、前記複数の軸部を片持ちで支持する
   ことを特徴とする請求項１に記載のケーブル体案内装置。
3. 前記軸部の一端は、弾性部材と接続される
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載のケーブル体案内装置。
4. 前記ケーブル体案内装置は、さらに、前記複数の円筒体により保持される無端ベルトを備える
   ことを特徴とする請求項２に記載のケーブル体案内装置。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載のケーブル体案内装置を備えることを特徴とする液晶実装装置。
   
   

Images