JP2006049702A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 複数の開口をそれぞれ有する上電極、中電極および下電極を順に配置してなる荷電粒子線レンズアレイにおいて、
   前記上電極と前記中電極の間及び前記中電極と前記下電極の間の少なくとも一方に配置された絶縁体を有し、
   前記絶縁体の表面が凹凸形状または波型形状をしていることを特徴とする荷電粒子線レンズアレイ。
2. 前記中電極が、前記開口の列ごとに電気的に独立であることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線レンズアレイ。
3. 前記凹凸形状または前記波型形状のアスペクト比が２以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の荷電粒子線レンズアレイ。
4. 前記上電極および前記下電極の少なくともいずれかの電極が前記開口の列ごとにシールド電極を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の荷電粒子線レンズアレイ。
5. 前記シールド電極が円筒形状をしていることを特徴とする請求項４に記載の荷電粒子線レンズアレイ。
6. 前記シールド電極が前記上電極および前記下電極の少なくともいずれかの電極と電気的に導通していることを特徴とする請求項４または５に記載の荷電粒子線レンズアレイ。
7. 前記上電極及び前記下電極の少なくともいずれかの電極が、ＳＯＩ基板からなることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の荷電粒子線レンズアレイ。
8. 荷電粒子線を放射する荷電粒子源と、
   前記荷電粒子源の中間像を複数形成する請求項１〜７のいずれか一項に記載の荷電粒子線レンズアレイを含む補正電子光学系と、
   前記複数の中間像を露光対象に縮小投影する投影電子光学系と、
   前記露光対象に投影される前記複数の中間像が前記露光対象上で移動するように偏向する偏向器とを有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。
9. 複数の開口をそれぞれ有する上電極、中電極および下電極を順に配置してなる荷電粒子線レンズアレイの作成方法において、
   前記上電極と前記中電極の間及び前記中電極と前記下電極の間の少なくとも一方に配置された絶縁体の表面が凹凸形状または波型形状をしており、
   前記上電極と前記中電極と前記下電極とをそれぞれ形成する工程と、
   前記上電極と前記中電極と前記下電極とを接合して一体とする工程とを有することを特徴とする荷電粒子線レンズアレイの作製方法。
10. 請求項８に記載の露光装置を用いて、露光対象に露光を行う工程と、露光された前記露光対象を現像する工程と、を具備することを特徴とするデバイス製造方法。