JP2013004680A - 荷電粒子線レンズ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 少なくとも1つの開口を有する第1の電極と、1つの開口を有する第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に、前記第1の電極と、前記第2の電極と、を電気的に分離して支持する支持体と、を含む荷電粒子線レンズにおいて、
前記支持体は無アルカリガラス又は低アルカリガラスからなることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
図1〜2を用いて、本発明の第一の実施形態について説明する。
図3を用いて、本発明の第二の実施形態について説明する。
本発明においては、電極と支持体とを接合する際に、接合精度を高くするためにフュージョンボンディングを用いることが好ましい。図2を用いて、本発明の第三の実施形態について説明する。
本発明においては、必要に応じて支持体表の所望の領域に帯電防止膜を設けることができる。本発明において帯電防止膜とは、支持体等の表面に一定以上電荷が蓄積されることを防止する機能を有する膜であり、例えば支持体の表面に設けることにより、支持体表面の帯電量を抑制することができる。図4を用いて、本発明の第四の実施形態について説明する。
本発明においては、支持体の表面形状を特定の形状とすることにより、支持体表面に帯電する帯電量をさらに低減させることができる。
本発明の荷電粒子線レンズを露光装置に用いた具体的な構成について、図5〜6を用いて、第六の実施の形態として説明する。
図2を用いて実施例1の具体的な構成について説明する。第1の電極である電極1と第2の電極である電極2として、4インチ径で両面研磨の単結晶シリコンを用いる。厚さは電極1及び電極2共に100μmである。電極1及び電極2には貫通孔が設けられ、その開口4の直径は30μmである。そして支持体3として、電極1及び電極2と同じ4インチ径で400μmの厚みを有するアルカリ金属を含有しない無アルカリガラスであるEAGLE XG(登録商標)を用いる。さらに支持体3の電極1及び電極2の貫通孔を形成した位置に対応する位置に、貫通孔を形成し、電極1の貫通孔と電極2の貫通孔との間が支持体で遮蔽されない(塞がれない)構造とする。即ち支持体は第1の電極と第2の電極の貫通孔を形成した領域の周囲を支持する構成となる。本実施例では支持体3の開口は4mmとする。そして電極1、2は支持体3を挟み、開口4の中心軸5を法線とする平面に平行に配置する。
図3を用いて実施例2を説明する。本実施例は以下で説明する箇所以外は実施例1と同様の材料・寸法、および製造方法である。
図3を用いて実施例3を説明する。本実施例は以下で説明する箇所以外は実施例2と同様の材料・寸法、および製造方法である。
図4を用いて実施例4を説明する。本実施例は以下で説明する箇所以外は実施例2と同様の材料・寸法、および製造方法である。
図7を用いて実施例5を説明する。図7(d)の構造を有する荷電粒子線レンズを作成する。本実施例では、電極1、2とも単結晶シリコンで形成し、厚さはどちらも100μmである。開口4の直径は30μmである。また支持体3として、電極1及び電極2と同じ4インチ径で400μmの厚みを有するアルカリ金属を含有しない無アルカリガラスであるEAGLE XG(登録商標)を用いる。電極1、2で支持体3を挟み、電極1、2は、開口4の中心軸5を法線とする平面に平行に設置される。支持体3の電極1の側の非平坦部の表面は凸部を3つ有し、それぞれ凸部の段差(凹部の底面と凸部の頂面の差)は20μmである。さらに電極2の側の支持体3はテーパ形状のテ―パ部を有し、電極2と75度で接している。電極1にはグランド電位を、電極2には−3.7kVの電位を印加した。開口4を通る電子ビームの偏向量のゆらぎを測定したところ、平滑面の支持体3と比較して、本実施例は80%ゆらぎを軽減した。さらに200℃による加速試験の結果、室温で10000時間相当後も、電極2近傍に析出するナトリウムはTOF−SIMS(飛行時間型二次イオン質量分析法)による検出限界である1×109(atoms/cm2)以下であり、装置の汚染は無い事がわかる。
図6は本実施例の荷電粒子線レンズを示しており、図3の電極1,2の開口4を4つ配列したこと以外は同様のものを示している.尚、図3で説明した機能を有する個所には、同じ記号を付してある。本実施例ではこの荷電粒子線レンズを上述したマルチ荷電粒子ビーム露光装置内の第一から四の集束レンズアレイとして設置し露光したところ、被照射物6のナトリウムが無いことを実施例2と同様の方法で確認される。
3 支持体
4 開口
5 開口4の中心軸
Claims (5)
- 少なくとも1つの開口を有する第1の電極と、1つの開口を有する第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に、前記第1の電極と、前記第2の電極と、を電気的に分離して支持する支持体と、を含む荷電粒子線レンズにおいて、
前記支持体は無アルカリガラス又は低アルカリガラスからなることを特徴とする荷電粒子線レンズ。 - 前記第1の電極又は前記第2の電極と前記支持体はフュージョンボンディングされることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線レンズの製造方法。
- 前記支持体の表面の少なくとも一部には帯電防止膜を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の荷電粒子線レンズ。
- 前記支持体は、少なくとも1つの凸部又は凹部を有する非平坦部とテーパ状に構成されたテーパ部を含み、
前記テーパ部と前記第2の電極の前記開口を有する面とのなすテーパ角が0°より大きく90°より小さいことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の荷電粒子線レンズ。 - 荷電粒子源、
前記荷電粒子源から放射される荷電粒子線を照射する照射電子光学系、
前記照射電子光学系からの荷電粒子線が照射される、1つの開口を備えた基板、
前記基板の複数の開口からの荷電粒子線を個別に偏向してブランキングを制御する少なくとも1つの偏向器と、を有する荷電粒子線露光装置において
請求項1から4に記載する荷電粒子線レンズを有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。
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