JP2006048767A - 半導体メモリ試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の半導体メモリ試験装置1は、同期型の被試験デバイス20の試験を行う際、テストパターンに対応する被試験デバイス20の出力データを出力保持部11で保持し、期待値比較部12にて期待値データと比較してログデータが生成される。このログデータはデータバッファ部13に保持された後、データ選択部14を介してログメモリ15に書込まれる。外部の制御装置の読出し要求によりログメモリ15からログデータが読出され、制御装置に転送される。ログメモリ15は、ログデータの書込み動作と読出し動作を非同期かつ独立に制御可能であり、テスト実行中に繰り返しログデータを読出し可能に構成されている。
【選択図】 図2
Description
2…シーケンス制御部
3…パターン制御部
4…パターン記憶部
5…入力波形制御部
6…入力波形記憶部
7…入力信号ドライバ
10…テスト結果処理部
11…出力保持部
12…期待値比較部
13…データバッファ部
14…データ選択部
15…ログメモリ
16…カウンタ部
20…被試験デバイス(DUT)
30…制御装置
101…セレクタ
102…ログデータ用バッファ
103…nビットカウンタ
104…デコーダ
105…Dフリップフロップ
111…AND回路部
112…OR回路部
113…Dフリップフロップ部
201…記憶部
202…書込みポート
203…読出しポート
204…ポインタ制御部
Claims (9)
- 同期型の半導体メモリを被試験デバイスとして所定のテストパターンを用いた試験を行う半導体メモリ試験装置であって、
前記テストパターンに対応する前記被試験デバイスの出力データに基づき、当該被試験デバイスのテスト結果を示すログデータを生成するログデータ生成手段と、
前記生成されたログデータを順次書込むとともに、記憶されている前記ログデータを読出し要求に応じて読出すログデータ記憶手段と、
を備え、前記ログデータ記憶手段は、前記ログデータの書込み動作と読出し動作を非同期かつ独立に制御可能であり、前記読出し要求によりテスト実行中に繰り返し前記ログデータを読出し可能に構成されていることを特徴とする半導体メモリ試験装置。 - 前記ログデータ記憶手段は、入力ポートと出力ポートを備えたデュアルポート構成であることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ試験装置。
- 前記ログデータ記憶手段は、書込みポインタと読出しポインタにより制御されるリングバッファとして構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体メモリ試験装置。
- 前記ログデータ記憶手段は、記憶領域がエンプティー状態であることを判別するエンプティー信号と、前記記憶領域がフル状態であることを判別するフル信号を出力することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の半導体メモリ試験装置。
- 前記ログデータ生成手段は、前記テストパターンに対応して予め設定される期待値データと前記被試験デバイスの出力データを比較して一致又は不一致を判定する期待値比較手段を含み、
前記ログデータには、少なくとも前記期待値比較手段の判定結果が含まれることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ試験装置。 - 前記ログデータ生成手段は、複数の前記被試験デバイスごとのログデータを選択出力する選択手段を含み、当該複数の被試験デバイスの各々のログデータを一体化したログデータを生成することを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ試験装置。
- 前記ログデータ生成手段は、前記選択手段の入力側において前記複数の被試験デバイスごとのログデータの所定量を一時的に保持するバッファ手段をさらに含むことを特徴とする請求項6に記載の半導体メモリ試験装置。
- 前記バッファ手段において前記複数の被試験デバイスごとのログデータのいずれかが前記所定量に達したとき、当該所定量に達した前記被試験デバイスに対応するログデータの出力が遮断されることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリ試験装置。
- 前記テストパターンを用いた試験に際し前記被試験デバイスに発生する不良ビット数をカウントするカウンタ部をさらに備える事を特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の半導体メモリ試験装置。
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