JP2007010605A - 試験装置、及び試験方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の出力ピンを備える被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスのスキャン試験を行うスキャンパターンを、被試験デバイスに入力するパターン入力部と、複数の出力ピンのうち、スキャンパターンに応じた信号を出力するスキャン出力ピンを選択するピン選択部と、ピン選択部が選択したスキャン出力ピンが出力する信号に応じたデータを格納するキャプチャメモリとを備える試験装置を提供する。
【選択図】図1
Description
Claims (7)
- 複数の出力ピンを備える被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスのスキャン試験を行うスキャンパターンを、前記被試験デバイスに入力するパターン入力部と、
前記複数の出力ピンのうち、前記スキャンパターンに応じた信号を出力するスキャン出力ピンを選択するピン選択部と、
前記ピン選択部が選択した前記スキャン出力ピンが出力する信号に応じたデータを格納するキャプチャメモリと
を備える試験装置。 - 前記複数の出力ピンに対応して設けられ、対応する出力ピンが出力する信号に応じたデータを格納する複数のログメモリを更に備え、
前記キャプチャメモリの記憶容量は、前記ログメモリの記憶容量より大きい
請求項1に記載の試験装置。 - 前記スキャン出力ピンが出力する信号のそれぞれのデータ値と、予め与えられる期待値とを比較して一致したか否かを示す比較結果信号を出力する論理比較部と、
前記比較結果信号をデータ圧縮して前記キャプチャメモリに格納する圧縮部と
を更に備える請求項1に記載の試験装置。 - 前記圧縮部は、
前記比較結果信号において、前記スキャン出力ピンが出力する信号のそれぞれのデータ値の少なくとも一つがフェイルであるか否かを判定する判定部と、
前記判定部がフェイルを検出した場合に、当該比較結果信号と、当該比較結果信号に対応する前記スキャン出力ピンが出力する信号を示すパターン識別情報とを対応づけて前記キャプチャメモリに格納するメモリ制御部と
を有する
請求項3に記載の試験装置。 - 前記圧縮部は、前記キャプチャメモリの記憶領域の残量が所定値以下となった場合に、前記被試験デバイスの前記スキャン試験を停止する
請求項3に記載の試験装置。 - 前記圧縮部は、前記キャプチャメモリの記憶領域の残量が所定値以下となった場合に、前記キャプチャメモリが格納したデータを前記試験装置の制御装置に取り込ませてから、前記被試験デバイスの前記スキャン試験を再開させる
請求項5に記載の試験装置。 - 複数の出力ピンを備える被試験デバイスを試験する試験方法であって、
前記被試験デバイスのスキャン試験を行うスキャンパターンを、前記被試験デバイスに入力するパターン入力段階と、
前記複数の出力ピンのうち、前記スキャンパターンに応じた信号を出力するスキャン出力ピンを選択するピン選択段階と、
前記ピン選択段階において選択した前記スキャン出力ピンが出力する信号に応じたデータを格納するキャプチャ段階と
を備える試験方法。
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