JP2006047309A - 集積回路の信号観測装置、及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】PICAを用いる信号状態の可観測性のために、集積回路110内の信号に応答するフォトン放出を増強する方法・配置が開示される。実施形態は、対象となる信号にビーコン112を付加し、そのビーコン112にわたって電圧を印加して、フォトン放出を増強する。電圧は、強度及びエネルギーに対するフォトン放出を増強するために、動作可能回路電圧、Vddより高くされるので、フォトン放出は、ノイズから、より一層区別できる。実施形態の多くで、ビーコン112はトランジスタを含み、幾つかで、ビーコン112は、ビーコン112からのフォトン放出を可能化し、及び不可能化するためのイネーブル・デバイスを含む。更に、PICA検出器130は、フォトン放出を捕らえ、処理して時間トレースを生じさせる。
【選択図】図1
Description
以下は、添付の図面に描かれた本発明の実施形態の詳細な説明である。これらの実施形態は、本発明を明確に伝えるために詳細に示されている。提示される詳細さは、実施形態の予想される変形を制限することを意図されているものではなく、逆に、その意図は、付属の特許請求の範囲の請求項によって定められる本発明の精神及び範囲内に包含される全ての修正、均等物及び変更を含むことである。下記の詳細な説明は、こうした実施形態が当業者に明らかとなるようにすることを目的としている。
ここで図面に移ると、図1は、デバイス・アンダー・テスト(DUT)ステーション100の実施形態を示す。DUTステーション100は、半導体製作設備において製造された集積回路(IC)の機能性を試験するようになっている、その設備における幾つかの試験ステーションの1つとすることができる。より具体的には、ICのビンが製造された後に、DUTステーション100のオペレータは、試験のためにIC110のようなICを選択することができる。IC110が「フリップ−チップ」パッケージ用にされている場合には、オペレータは、IC110を平坦化し、研磨して、裏側の基板の厚さを、例えば50から200マイクロメートルの間に減少させることができる。裏側の基板の厚さを減少させることは、典型的には、IC回路の動作に影響を及ぼさないが、裏側の基板を透過することができるフォトン放出周波数範囲を有利に増大させる。オペレータは、IC110をDUTステーション100に設置して、該IC110に、Vdd120及びVpica122といった供給電圧と試験パターン生成器124を接続する。試験パターン生成器124がIC110に試験ベクトルを適用している間、検出器130がIC110からのフォトン放出を監視する。次いで、イメージャ140が、IC110からのフォトン放出の強度及び座標に基づいて、オペレータの目に見える発光強度142を生成する。別の実施形態においては、IC110は、例えばVdd120から内部的にVpica122を発生させる。
110:集積回路
112:ビーコン
124:試験パターン生成器
130:検出器
132:レンズ
134:イメージング・マイクロチャネル・プレート光電子増倍管
140:イメージャ
142:発光強度
Claims (26)
- 作動中の集積回路の信号に応答するフォトン放出を増強する装置であって、
第1供給電圧の又はそれより小さい大きさを有する信号を導体に与えるようになった作動中の集積回路の回路と、
キャリアによるフォトン放出を発生させるために前記第1供給電圧より高い第2供給電圧にチャネルが結合され、ゲートが前記導体に結合されて、前記信号に応答して前記チャネルを通る前記キャリアを加速するトランジスタと、
を備える装置。 - 前記トランジスタをイネーブルして、前記信号に応答して電流を導通させるために、前記トランジスタに結合されたイネーブル・デバイスをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記イネーブル・デバイスが第2トランジスタを含み、前記第2トランジスタのチャネルが、前記第2電圧供給と回路大地電圧との間のトランジスタのチャネルに直列に結合された、請求項2に記載の装置。
- 前記第2供給電圧を与えるための電力供給源をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記電力供給源が、前記集積回路のピンを介して前記トランジスタに結合された集積回路の外部にある、請求項4に記載の装置。
- 前記電力供給源が、前記信号に対する前記トランジスタのエッジ感応性応答を助長する有限電荷の電力源である、請求項4に記載の装置。
- 前記電力供給回路が、前記信号に対する前記トランジスタのレベル感応性応答を助長するために、一定の電圧及び電流を与えるようになっている、請求項4に記載の装置。
- 前記回路は、前記トランジスタを状態間で遷移させるために、前記作動中の集積回路による試験ベクトルの受信に基づいて前記信号を変調するようになっており、前記状態の1つは、前記チャネル内の電流を弱めて、前記チャネル内のキャリアを実質的に減少させるものである、請求項1に記載の装置。
- 前記回路が、相補型金属酸化物半導体(CMOS)回路である、請求項1に記載の装置。
- 前記トランジスタが、電界効果トランジスタである、請求項1に記載の装置。
- 作動中の集積回路内の信号の状態を非侵襲的に検知するシステムであって、
第1供給電圧の又はそれより小さい大きさを有する信号を導体に与えるようになった回路と、キャリアによるフォトン放出を発生させるために前記第1供給電圧より高い第2供給電圧にチャネルが結合され、ゲートが前記導体に結合されて、前記信号に応答して前記チャネルを通る前記キャリアを加速するトランジスタと、を備える集積回路と、
前記フォトン放出を捕らえ、前記フォトン放出を時間指数と関連付けて、前記信号の状態の指標である前記トランジスタの挙動を監視するための検出器と、
を備えるシステム。 - 前記フォトン放出カウント及びそれに対応する時間指数を受け取って、前記トランジスタ挙動の視覚的表現を生成するために、前記検出器に結合されたイメージャをさらに備える、請求項11に記載のシステム。
- 前記視覚的表現が、前記フォトン・カウント及びそれに対応する時間指数に基づいて、時間の関数として前記フォトン放出を表す光波形を含む、請求項12に記載のシステム。
- 前記視覚的表現が、前記フォトン放出を表すための、前記フォトン放出強度に対する直接的な関係を有する発光強度をもつ集積回路の視野を含む、請求項12に記載のシステム。
- 前記視覚的表現が、時間の経過に伴う前記フォトン放出強度の変化を示すために、一定時間にわたって変化する、請求項14に記載のシステム。
- 前記回路は、前記トランジスタを状態間で遷移させるために、前記集積回路による試験ベクトルの受信に基づいて前記信号を変調するようになっており、前記状態の1つは、前記チャネルの電流を弱めて、前記チャネル内のキャリアを実質的に減少させる、請求項11に記載のシステム。
- 前記検出器が、レンズと、イメージング・マイクロチャネル・プレート光電子増倍管を備え、前記レンズが、前記フォトン放出を前記光電子倍増管に向け、前記光電子倍増管が、前記フォトン放出をカウントし、該フォトン放出を時間指数と関連付けて、前記フォトン放出に関連する位置を求める、請求項11に記載のシステム。
- 集積回路の信号に応答するフォトン放出を増強する方法であって、
第1供給電圧の又はそれより小さい大きさを有する信号をトランジスタのゲートに与え、前記信号に応答して前記トランジスタのチャネルを通して電流を導通させるステップと、
前記チャネルの両端間電圧差が、前記集積回路の動作可能回路電圧より大きい電界を前記チャネルに印加して、前記電流のキャリアにより前記フォトン放出を発生させるステップと、
を含む方法。 - 前記フォトン放出を捕らえて、前記トランジスタに関連するフォトン・カウントを求めるステップをさらに含む、請求項18に記載の方法。
- 前記フォトン放出を光電陰極に向けて、前記フォトン放出を光電子に変換するステップをさらに含む、請求項18に記載の方法。
- 前記光電子に基づいて、前記フォトン放出の時間指数を求めるステップをさらに含む、請求項20に記載の方法。
- 前記フォトン放出が前記光電陰極に当たる位置に基づいて、前記フォトン放出の座標を求めるステップをさらに含む、請求項20に記載の方法。
- 時間と共に変化する試験ビット・パターンを前記集積回路に適用して、前記信号を変調するステップであって、前記トランジスタが、前記信号の変調に応答して状態を変化させ、前記状態の1つの間に前記フォトン放出を実質的に弱めるステップをさらに含む、請求項18に記載の方法。
- 前記電界を印加するステップが、前記動作可能回路電圧より高い供給電圧を前記集積回路のピンに結合するステップを含む、請求項18に記載の方法。
- 前記電界を印加するステップが、前記動作可能供給電圧に基づいて第2供給電圧を発生させ、前記第2供給電圧を前記チャネルの端の一方に印加するステップを含む、請求項18に記載の方法。
- 第1供給電圧の又はそれより小さい大きさを有する信号を導体に与えるようになった回路と、キャリアによるフォトン放出を発生させるために前記第1供給電圧より高い第2供給電圧にチャネルが結合され、ゲートが前記導体に結合されて、前記信号に応答して前記チャネルを通る前記キャリアを加速するトランジスタと、を備える作動中の集積回路内の信号の状態を非侵襲的に検知するシステムにおいて、
前記フォトン放出を捕らえ、前記フォトン放出を時間指数と関連付けて、前記信号の状態の指標である前記トランジスタの挙動を監視するための検出器。
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