JP2006041346A - 帯電防止された電子装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子装置上に、活性エネルギー線によりパターン化可能な材料を含む帯電防止前駆体層を形成し、帯電防止前駆体層上に帯電防止材料層を形成し、帯電防止材料層から帯電防止前駆体層に帯電防止材料を浸透せしめて、帯電防止前駆体層を帯電防止層となし、帯電防止材料層を溶解可能な液体で電子装置から帯電防止材料層を除去し、活性エネルギー線を照射して帯電防止層をパターン化し、現像処理により、パターン化された帯電防止層を形成する。
【選択図】 なし
Description
膜状またはパターン化された帯電防止層について、抵抗測定器(ADVANTEST;R12702A、Keithley;617)を用いて、20℃の条件下で、JIS K6911による表面抵抗率を測定した。
テープ剥離試験で評価した。具体的には、ポリイミドフィルム上に形成されたパターンについて、40℃のアセトン中にて20分間超音波洗浄後、60℃で5分間乾燥し、その後、パターンに対し、1mm間隔で10×10個(100個)のクロスカットを入れた後、接着テープを貼付し、剥離することにより、剥離後における残存パターン数の割合を残存率%(残存したパターンのカット数の割合)として評価した。
プリベーク後で露光前の膜に対し、365nmに中心波長を有する超高圧水銀ランプの光を、10〜200μm幅のライン&スペースパターンを有する石英ガラスマスクを通して800mJ/cm2の条件で照射し、硬化を行った。次いで、40℃の0.5重量%炭酸ナトリウム溶液を用いて、帯電防止材料層の除去および現像処理(なお、以下においては、「帯電防止材料層の除去および現像」を単に「現像」と呼称する)を行ってパターンを形成した後水洗し、120℃で30分間ポストベークすることにより、パターンを形成した。このパターンについて形状とライン&スペース解像度とを評価した。
・光硬化性ネガ型レジスト材料の作製
N−メチル−2−ピロリドン100重量部にスルホン化不飽和ポリエステル樹脂50重量部、光硬化剤としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート15重量部、ヒドロキシケトン系の光重合開始剤10重量部を溶解させ、ポリエステル系光硬化性ネガ型レジスト材料を作製した。
メチルビス(2−ヒドロキシエチル)ココアルキルアンモニウム硝酸塩を2−プロパノールに溶解し、メチルビス(2−ヒドロキシエチル)ココアルキルアンモニウム硝酸塩が30重量%の帯電防止液を得た。
得られたレジスト材料をバーコートにより、ポリイミドフィルム上に約400cm2塗布し、ベース膜とした。このベース層は帯電防止前駆体層に該当する。膜厚は3nmであった。
4×106Ω/□であった。40℃の0.5重量%炭酸ナトリウム溶液を用いて30秒間現像処理を行い、表面抵抗率を測定したところ、7×107Ω/□であり、良好であった。これにより、エッチングやスパッタなどのプラズマに晒されるプロセス工程において、デバイスなどの電子装置が破壊されるような問題を解消させることが可能である。このような効果は他の実施例についても同様であった。
上記の現像処理後の膜について耐熱試験を行った結果、表面抵抗率は9×107Ω/□、耐洗浄性評価における表面抵抗率は6×108Ω/□であり、良好であった。
現像処理後の膜の密着性評価の結果、残存率は100%であった。
帯電防止材料層が所定の透過性を有するため、得られたパターンの形状に異常はなく、ライン&スペース解像度は10μmであった。
ベース膜形成後プリベークを行い、固体膜にした後帯電防止液を塗布し、その後30分間放置して帯電防止前駆体層に帯電防止材料を浸透せしめた以外は、実施例1と同様にして帯電防止層および帯電防止層パターンを作製した。
実施例2において、帯電防止液として特開2003−253143において開示した導電性樹脂組成物を使用した以外は、実施例2と同様にして帯電防止層および帯電防止層パターンを作製した。
帯電防止液として、スルホン化ポリアニリンの5重量%溶液(溶媒:水と2−プロパノールの1:1混合物(重量比))を使用した以外は、実施例2と同様にして帯電防止層および帯電防止層パターンを作製した。得られた帯電防止層に対し、同様の評価を行ったところ、形成した膜の表面抵抗率は3×106Ω/□、現像処理後の表面抵抗率は9×107Ω/□であり、良好であった。
帯電防止液として、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸1:1(重量比)の3重量%溶液(溶媒:水と2−プロパノールの1:1混合物(重量比))を使用した以外は、実施例2と同様にして帯電防止層および帯電防止層パターンを作製した。得られた帯電防止層に対し、同様の評価を行ったところ、形成した膜の表面抵抗率は6×104Ω/□、現像処理後の表面抵抗率は7×106Ω/□であり、良好であった。
光硬化性ネガ型レジスト材料として、アクリル共重合樹脂系レジスト材料(ACA320;ダイセル・ユー・シー・ビー)を使用し、バーコートによりベース膜を形成した以外は、実施例1と同様にして帯電防止層および帯電防止層パターンを作製した。なお、レジストの製膜条件を以下に示す。プリベーク:80℃5分、露光量:600mJ/cm2、現像条件:0.2%炭酸ナトリウム水溶液にて30秒間ディップ、リンス:超純水にて20秒間、ポストベーク:100℃,5分。
帯電防止液として、スルホン化ポリアニリンの5重量%溶液(溶媒:水と2−プロパノールの1:1混合物(重量比))を使用した以外は、実施例6と同様にして帯電防止層および帯電防止層パターンを作製した。
ベース膜形成後プリベークを行い、固体膜にした後、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸1:1(重量比)の3重量%溶液(溶媒:水と2−プロパノールの1:1混合物(重量比))を帯電防止液として塗布し、その後30分間放置して帯電防止前駆体層に帯電防止材料を浸透せしめた以外は、実施例6と同様にして帯電防止層および帯電防止層パターンを作製した。
ベース膜形成レジスト材料をポジ型レジスト材料(AZ 4000、クラリアントジャパン)を使用し、バーコートによりベース膜を形成した以外は、実施例1と同様にして帯電防止層および帯電防止層パターンを作製した。なお、レジストの製膜条件を以下に示す。プリベーク:100℃,100秒間、露光量:100mJ/cm2、現像条件:AZ400Kデベロッパー(1:4)にて100秒間ディップ、リンス:超純水にて20秒間、ポストベーク:120℃2分。
実施例1において、ベース膜形成後プリベークおよび露光を行い、膜を硬化した後帯電防止液を塗布した以外は、実施例1と同様にして帯電防止層および帯電防止層パターンを作製した。
ベース膜形成後、プリベークおよび露光を行い、膜を硬化した後帯電防止液を塗布した以外は、実施例7と同様にして帯電防止層および帯電防止層パターンを作製した。得られた帯電防止層に対し、同様の評価を行ったところ、形成した膜の表面抵抗率は2×106Ω/□と良好であったが、現像処理後の表面抵抗率は4×1013Ω/□と帯電防止性が消失しており、帯電防止材料の浸透がなかったことが示された。
帯電防止層を最外層に有する、帯電防止された電子装置であって、
当該帯電防止層が、その外表面から層内部に向けて、帯電防止材料の濃度勾配を有する、
帯電防止された電子装置。
前記帯電防止層がパターン化されたものである、付記1に記載の帯電防止された電子装置。
前記帯電防止層が、活性エネルギー線によりパターン化可能な材料を照射してパターン化されたものである、付記1または2に記載の帯電防止された電子装置。
前記活性エネルギー線によりパターン化可能な材料が、活性エネルギー線により硬化する材料を含むものである、付記3に記載の帯電防止された電子装置。
前記帯電防止材料が、界面活性剤または導電性ポリマーまたはこれらの混合物を含む、付記1〜4のいずれかに記載の帯電防止された電子装置。
電子装置上に、活性エネルギー線によりパターン化可能な材料を含む帯電防止前駆体層を形成し、
当該帯電防止前駆体層上に帯電防止材料層を形成し、
当該帯電防止材料層から当該帯電防止前駆体層に帯電防止材料を浸透せしめて、当該帯電防止前駆体層を帯電防止層となし、
当該帯電防止材料層を溶解可能な液体で当該電子装置から帯電防止材料層を除去し、
活性エネルギー線を照射して当該帯電防止層をパターン化し、
現像処理により、パターン化された帯電防止層を形成する、
ことを含む、電子装置の製造方法。
前記帯電防止材料層が、当該帯電防止材料層を通した活性エネルギー線の照射により前記帯電防止層をパターン化できる程度の透過性を有するものである、請求項6に記載の電子装置の製造方法。
前記活性エネルギー線の照射を、帯電防止前駆体層上に帯電防止材料層を形成した後で、帯電防止材料層が電子装置から除去される前に行う、付記6または7に記載の電子装置の製造方法。
前記電子装置からの帯電防止材料層の除去と前記現像処理とを、別の薬剤を使用して行う、付記6〜8のいずれかに記載の電子装置の製造方法。
前記電子装置からの帯電防止材料層の除去と前記現像処理とを、同一の薬剤を使用して行う、付記6〜8のいずれかに記載の電子装置の製造方法。
前記活性エネルギー線の照射を非荷電ビームにより実施する、付記6〜10のいずれかに記載の電子装置の製造方法。
前記活性エネルギー線によりパターン化可能な材料が、活性エネルギー線により硬化する材料を含むものである、付記6〜11のいずれかに記載の電子装置の製造方法。
前記帯電防止材料層が、界面活性剤または導電性ポリマーまたはこれらの混合物を含むものである、付記6〜12のいずれかに記載の電子装置の製造方法。
前記帯電防止前駆体層が帯電防止材料を含んだものである、付記6〜13のいずれかに記載の電子装置の製造方法。
前記帯電防止材料層が、活性エネルギー線によりパターン化可能な材料を含む、付記6〜14のいずれかに記載の電子装置の製造方法。
前記パターン化された帯電防止層を除去することを含む、付記6〜15のいずれかに記載の電子装置の製造方法。
2 永久磁石
3 GMR素子
4 リード端子
5 帯電防止層
6 基板
7 配線
8 ライト端子
61 帯電防止前駆体層
62 電子装置
63 帯電防止材料層
64 帯電防止材料
65 帯電防止層
66 パターン化された帯電防止層
Claims (5)
- 帯電防止層を最外層に有する、帯電防止された電子装置であって、
当該帯電防止層が、その外表面から層内部に向けて、帯電防止材料の濃度勾配を有する、
帯電防止された電子装置。 - 前記帯電防止層がパターン化されたものである、請求項1に記載の帯電防止された電子装置。
- 電子装置上に、活性エネルギー線によりパターン化可能な材料を含む帯電防止前駆体層を形成し、
当該帯電防止前駆体層上に帯電防止材料層を形成し、
当該帯電防止材料層から当該帯電防止前駆体層に帯電防止材料を浸透せしめて、当該帯電防止前駆体層を帯電防止層となし、
当該帯電防止材料層を溶解可能な液体で当該電子装置から帯電防止材料層を除去し、
活性エネルギー線を照射して当該帯電防止層をパターン化し、
現像処理により、パターン化された帯電防止層を形成する、
ことを含む、電子装置の製造方法。 - 前記帯電防止材料層が、当該帯電防止材料層を通した活性エネルギー線の照射により前記帯電防止層をパターン化できる程度の透過性を有するものである、請求項3に記載の電子装置の製造方法。
- 前記活性エネルギー線の照射を、帯電防止前駆体層上に帯電防止材料層を形成した後で、帯電防止材料層が電子装置から除去される前に行う、請求項3または4に記載の電子装置の製造方法。
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