JP2006041010A - ウエハ立替機、ウエハ処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハ立替機10は、ウエハ20を下方から支持するように構成された第1装置30と、ウエハ20を収容するように構成された第2装置40との間で、ウエハ20を移し替えるためのウエハ立替機10である。ここで、第1装置30は、ウエハ20の直径Rより小さな第1幅W1を有し、第2装置40は、ウエハ20の直径Rより大きな第2幅W2を有している。ウエハ立替機10は、ウエハ20を支持する第1支持部材11と、ウエハ20を支持し第1支持部材11と同体に移動する第2支持部材12とを備える。これら第1支持部材11と第2支持部材12の間隔Dは、第1幅W1より大きく、第2幅W2より小さい。つまり、第1支持部材11と第2支持部材12の間隔Dは、上記第1装置30が第1支持部材11と第2支持部材12の間を通り抜けることが可能なように設定される。
【選択図】 図3
Description
図2Bに示されるように、ウエハ1が積載されたボート2が、ボートステージ3と共にホルダ7の下部位置までスライドする。
図2Cに示されるように、プッシャ6が上昇しウエハ1を突き上げることによって、ウエハ1がホルダ7に収容される。ここで、プッシャ6は、図1に示されたボート2中の一対の石英棒2aの間を通って、ウエハ1を押し上げている。
図2Dに示されるように、ストッパ8がホルダ7内部に押し込まれることにより、ウエハ1がホルダ7内に保持される。そして、プッシャ6が下降し、初期位置に戻る。
図2Eに示されるように、空のボート2が、ボートステージ3と共に初期位置にスライドし、又、空のキャリア4が、キャリアステージ5と共に、ホルダ7の下部位置までスライドする。
図2Fに示されるように、プッシャ6が上昇して、ホルダ7内に収容されているウエハ1を支持する。ここで、プッシャ6は、キャリア4内部を通って上昇している。そして、ストッパ8によるウエハ1の保持が解除される。
図2Gに示されるように、プッシャ6は、ウエハ1を支持しながらキャリア4内部を通って下降する。その結果、ウエハ1がキャリア4内に収容される。
図3は、本発明に係るウエハ立替機の構造、及びウエハ処理システムの構成を示す正面図(XZ面)である。図3において、鉛直方向がZ方向と定義され、ウエハ20が配置される面がXZ面と定義される。Y方向は、そのXZ面に直角な方向である。
図4A〜図4Eは、本発明に係るウエハ立替機10によるウエハの立替工程を示す図である。図4A〜図4Eにおいて、左側にはウエハ処理システム100の正面図(XZ面)、右側には側面図(YZ面)が示されている。また、図4A〜図4Eにおいては、例として、ボート30からキャリア40にウエハ20を移し替える工程が示されている。
図4Aに示されるように、ウエハ20が積載されたボート30は、ボートステージ31にセットされている。このボート30は、Y方向に関しては、キャリア40から離れた場所に位置しており、Z方向に関しては、キャリア40の上方に配置されている。また、プッシャ10(第1支持部材11、第2支持部材12)は、キャリア40の下方に位置している。
図4Bに示されるように、ボートステージ31がY方向に移動し、ウエハ20が積載されたボート30がキャリア40の直上まで移動する。
図4Cに示されるように、キャリア40の内部及びボート30の両側を通って、プッシャ10が上昇する。これにより、ボート30に積載されていたウエハ20は、接触部11a、12aによって上方に持ち上げられる。このような動作が可能なのは、第1支持部材11と第2支持部材12の間隔Dが、ボート30の幅W1より大きく、キャリア40の幅W2とウエハ20の直径Rより小さいからである。
図4Dに示されるように、空のボート30が、ボートステージ31と共に初期位置まで移動する。ここで、ボート30は、第1支持部材11と第2支持部材12の間を通って移動している(引き抜かれている)。このような動作が可能なのは、ボート30の幅W1が、第1支持部材11と第2支持部材12の間隔Dより小さいからである。
図4Eに示されるように、プッシャ10は、接触部11a、12aによってウエハ20を支持しながらキャリア40内部を通って下降する。その結果、ウエハ20がキャリア40内に収容され、キャリア40内の所定の保持部材41によって保持される。
本発明によるウエハ立替機10及びウエハ処理システム100による効果は以下の通りである。
11 第1支持部材
12 第2支持部材
20 ウエハ
30 ボート
31 ボートステージ
40 キャリア
41 保持部材
100 ウエハ処理システム
Claims (9)
- ウエハの直径より小さな第1幅を有し前記ウエハを下方から支持するように構成された第1装置と、前記ウエハの直径より大きな第2幅を有し前記ウエハを収容するように構成された第2装置との間で、前記ウエハを移し替えるためのウエハ立替機であって、
前記ウエハを支持する第1支持部材と、
前記ウエハを支持し前記第1支持部材と同体に移動する第2支持部材と
を具備し、
前記第1支持部材と前記第2支持部材の間隔は、前記第1幅より大きく、前記第2幅より小さい
ウエハ立替機。 - ウエハを下方から支持するように構成された第1装置と、前記ウエハを収容するように構成された第2装置との間で、前記ウエハを移し替えるためのウエハ立替機であって、
前記ウエハを支持する第1支持部材と、
前記ウエハを支持し前記第1支持部材と同体に移動する第2支持部材と
を具備し、
前記第1支持部材と前記第2支持部材の間隔は、前記第1装置が前記第1支持部材と前記第2支持部材の間を通り抜けるように設定された
ウエハ立替機。 - 請求項1又は2に記載のウエハ立替機であって、
前記第1支持部材と前記第2支持部材は、前記第2装置内を通って前記ウエハを下方から支持するように配置された
ウエハ立替機。 - ウエハの直径より小さな幅を有し前記ウエハを下方から支持するように構成された第1装置に前記ウエハを載せ、また、前記第1装置から前記ウエハを取り出すためのウエハ立替機であって、
前記ウエハを支持する第1支持部材と、
前記ウエハを支持し前記第1支持部材と同体に移動する第2支持部材と
を具備し、
前記第1支持部材と前記第2支持部材の間隔は、前記第1装置の幅より大きく、前記ウエハの直径より小さい
ウエハ立替機。 - ウエハを下方から支持するように構成された第1装置に前記ウエハを載せ、また、前記第1装置から前記ウエハを取り出すためのウエハ立替機であって、
前記ウエハを支持する第1支持部材と、
前記ウエハを支持し第1支持部材と同体に移動する第2支持部材と
を具備し、
前記第1支持部材と前記第2支持部材の間隔は、前記第1装置が前記第1支持部材と前記第2支持部材の間を通り抜けるように設定された
ウエハ立替機。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載のウエハ立替機であって、
前記第1支持部材と前記第2支持部材は、鉛直方向に可動である
ウエハ処理システム。 - ウエハの直径より小さな第1幅を有し前記ウエハを下方から支持するように構成された第1装置と、
前記ウエハの直径より大きな第2幅を有し前記ウエハを収容するように構成された第2装置と、
前記第1装置と前記第2装置との間で前記ウエハを移し替える第3装置と
を具備し、
前記第3装置は、
第1支持部材と、
前記第1支持部材と同体に移動する第2支持部材と
を具備し、
前記第1支持部材と前記第2支持部材の間隔は、前記第1幅より大きく、前記第2幅より小さく、
前記第1支持部材と前記第2支持部材は、前記第2装置内を通って前記ウエハを下方から支持するように配置された
ウエハ処理システム。 - ウエハを下方から支持するように構成された第1装置と、
前記ウエハを収容するように構成された第2装置と、
前記第1装置と前記第2装置との間で前記ウエハを移し替える第3装置と
を具備し、
前記第3装置は、
第1支持部材と、
前記第1支持部材と同体に移動する第2支持部材と
を具備し、
前記第1支持部材と前記第2支持部材は、前記第2装置内を通って前記ウエハを下方から支持するように配置され、
前記第1支持部材と前記第2支持部材の間隔は、前記第1装置が前記第1支持部材と前記第2支持部材の間を通り抜けるように設定された
ウエハ処理システム。 - 請求項7又は8に記載のウエハ処理システムであって、
前記第1装置は、前記第2装置の上方に配置された
ウエハ処理システム。
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