JP2006032919A - 半導体素子のストレージノードコンタクトの形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のゲート23とソース/ドレーン領域25が形成された半導体基板21のゲート間に酸化膜26とランディングプラグコンタクトを形成するステップと、ランディングプラグコンタクト及びゲートを含んだ半導体基板の全面上に層間絶縁膜29を形成するステップと、層間絶縁膜をエッチングしてランディングプラグコンタクトを露出させる第1ストレージノードコンタクトホールを形成するステップと、露出されたランディングプラグコンタクトと酸化膜を除去し、第2ストレージノードコンタクトホールを形成するステップと、第2ストレージノードコンタクトホール内にポリシリコンを埋め込んでストレージノードコンタクト30を形成するステップとを含む。
【選択図】図2E
Description
22 素子分離膜
23a ゲート絶縁膜
23b ゲート導電膜
23c ハードマスク窒化膜
23 ゲート
24 スペーサ
25 ソース/ドレーン領域
26 酸化膜
27 第1層間絶縁膜
28 ランディングプラグコンタクト
29 第2層間絶縁膜
30 ストレージノードコンタクト
Claims (7)
- 複数のゲートとソース/ドレーン領域が形成された半導体基板において、前記ゲート間にランディングプラグコンタクトを形成する第1ステップと、
前記ランディングプラグコンタクト及び前記ゲートを含んだ前記半導体基板の全面上に層間絶縁膜を形成する第2ステップと、
前記層間絶縁膜をエッチングして前記ランディングプラグコンタクトを露出させる第1ストレージノードコンタクトホールを形成する第3ステップと、
前記第1ストレージノードコンタクトホールにより露出された前記ランディングプラグコンタクトを除去し、第2ストレージノードコンタクトホールを形成する第4ステップと、
前記ランディングプラグコンタクトを除去して形成した前記第2ストレージノードコンタクトホール内にポリシリコンを埋め込む第5ステップとを含むことを特徴とする半導体素子のストレージノードコンタクトの形成方法。 - 前記ランディングプラグコンタクトを除去する前記第4ステップは、前記ゲートの損傷を最小限に抑えるために低いバイアス特性を有する高選択ポリシリコンエッチングを行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のストレージノードコンタクトの形成方法。
- 前記高選択ポリシリコンエッチングを、誘導結合プラズマを用いて行うことを特徴とする請求項2に記載の半導体素子のストレージノードコンタクトの形成方法。
- 前記高選択ポリシリコンエッチングを、Cl2及びHBrガスを用いて行うことを特徴とする請求項2に記載の半導体素子のストレージノードコンタクトの形成方法。
- 前記ランディングプラグコンタクトを形成する前記第1ステップの前に、前記ゲート間の前記半導体基板の表面に酸化膜を形成して、前記高選択ポリシリコンエッチングの間、前記半導体基板のエッチングを防止することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のストレージノードコンタクトの形成方法。
- 前記ランディングプラグコンタクトを除去する前記第4ステップの後、前記ポリシリコンを埋め込む前記第5ステップの前に、
前記ゲートの側壁に窒化膜スペーサを形成する第6ステップと、
前記窒化膜スペーサが形成された前記半導体基板の表面を洗浄する第7ステップとを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のストレージノードコンタクトの形成方法。 - 前記窒化膜スペーサを10nm以下の厚さに形成することを特徴とする請求項6に記載の半導体素子のストレージノードコンタクトの形成方法。
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