JP2006031756A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】多数の記録要素に分割された記録層を有し、記録磁界の広がりが抑制され、記録磁界が記録対象の記録要素に効率良く印加される磁気記録媒体及びこのような磁気記録媒体を備える磁気記録再生装置を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体１２は、垂直記録型のディスクリートトラックタイプの磁気ディスクで、基板２２と、基板２２の上に形成された軟磁性層２４と、表面に垂直な方向に磁気異方性を有するように配向されて軟磁性層２４の上に形成され、且つ、所定の凹凸パターンで多数の記録要素２６Ａに分割された記録層２６と、を含み、凹凸パターンの凹部２８が軟磁性層２４の厚さ方向の途中まで形成されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、記録層が所定の凹凸パターンで多数の記録要素に分割された磁気記録媒体及び磁気記録再生装置に関する。

従来、ハードディスク等の磁気記録媒体は、記録層を構成する磁性粒子の微細化、材料の変更、ヘッド加工の微細化等の改良により著しい面記録密度の向上が図られている。又、表面に対して垂直な方向に磁気異方性を有するように記録層を配向し、更に記録層の下に軟磁性層を形成することで面記録密度を高めるようにした垂直記録型の磁気記録媒体も実用化されつつあり、今後も一層の面記録密度の向上が期待されている。尚、軟磁性層は、磁気ヘッドの記録ヘッドの記録磁界を引き込む効果と、記録ヘッドの主磁極から記録層に印加される記録磁界がリターン磁極に戻るためのリターンパスを構成する効果を有する。即ち、軟磁性層は、記録層に印加される記録磁界を実質的に強める効果がある。

しかしながら、磁気ヘッドの加工限界、磁気ヘッドの記録磁界の広がりに起因する隣接トラックへの記録、再生時のクロストークなどの問題が顕在化し、これら従来の改良手法による面記録密度の向上は限界にきているため、一層の面記録密度の向上を実現可能である磁気記録媒体の候補として、記録層を所定の凹凸パターンで形成してなるディスクリートトラック媒体やパターンド媒体等の磁気記録媒体が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このようなディスクリートトラック媒体やパターンド媒体も、面記録密度を高めるため、垂直記録型とすることが好ましい。尚、磁気ヘッドの浮上安定性の観点から、凹部を非磁性材で充填し、媒体表面を平坦化することが望ましい（例えば、特許文献２参照）。

特開平７−１２９９５３号公報 特開２０００−１９５０４２号公報

しかしながら、記録層が記録要素に分割されていても、記録層の下に連続して形成された軟磁性層により、記録磁界は記録対象の記録要素だけでなく、記録対象の記録要素に隣接する凹部にも引き込まれる。即ち、記録磁界の広がりが大きくなるので、記録層を記録要素に分割することによる面記録密度の向上効果が減殺されることとなる。

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、多数の記録要素に分割された記録層を有し、記録磁界の広がりが抑制され、記録磁界が記録対象の記録要素に効率良く印加される磁気記録媒体及びこのような磁気記録媒体を備える磁気記録再生装置を提供することを目的とする。

本発明は、記録層を多数の記録要素に分割する凹凸パターンの凹部を記録層の下の軟磁性層の厚さ方向の途中まで形成することにより上記目的を達成するものである。

発明者らは、本発明に想到する過程で当初、記録層と共に軟磁性層も分割することを試みた。即ち凹凸パターンの凹部を軟磁性層の基板側の面まで形成することを試みた。このようにすることで、記録磁界を実質的に強める効果を維持しつつ、記録磁界の広がりを抑制できると考えたためである。

しかしながら、実際に軟磁性層を分割してみたものの、記録磁界を記録対象の記録要素に効率良く印加することはできなかった。これは、凹部の底部に軟磁性層が存在せず、凹部が存在する方向に記録磁界のリターンパスが構成されないためであると考えられる。

そこで、発明者らは更に鋭意検討を重ねた結果、記録層を分割する凹凸パターンの凹部を軟磁性層の厚さ方向の途中まで形成するという本発明を完成するに至った。

このように凹凸パターンの凹部を軟磁性層の厚さ方向の途中まで形成することにより、記録磁界の広がりが抑制され、軟磁性層の凸部上の記録要素に磁気ヘッドの記録磁界を引き込むことができる。又、軟磁性層における凹部の底部を構成する部分により凹部が存在する方向にも記録磁界のリターンパスが構成され、磁気ヘッドの記録磁界を記録対象の記録要素に効率良く印加することができる。

即ち、次のような本発明により、上記課題の解決を図ることができる。

（１）基板と、該基板の上に形成された軟磁性層と、表面に垂直な方向に磁気異方性を有するように配向されて前記軟磁性層の上に形成され、且つ、所定の凹凸パターンで多数の記録要素に分割された記録層と、を含み、前記凹凸パターンの凹部が前記軟磁性層の厚さ方向の途中まで形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。

（２） （１）において、前記軟磁性層における前記凹部の底部を構成する部分は、該軟磁性層の全厚の５０％以上の厚さを有することを特徴とする磁気記録媒体。

（３） （１）又は（２）において、前記軟磁性層における前記凹部の深さが３ｎｍ以上であることを特徴とする磁気記録媒体。

（４） （１）乃至（３）のいずれかにおいて、前記軟磁性層における前記凹部の深さが２５ｎｍ以下であることを特徴とする磁気記録媒体。

（５） （１）乃至（４）のいずれかに記載の磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に対してデータの記録／再生を行うための磁気ヘッドと、を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。

尚、本出願において、「凹凸パターンで多数の記録要素に分割された記録層」とは、凹凸パターンの凹部が基板側の面まで形成されている記録層であって、記録要素同士が完全に分割された記録層の他、記録要素同士が凹部以外の（凸部の）領域において部分的に連続している記録層、螺旋状の渦巻き形状の記録要素のように基板上の一部に記録要素が連続して形成された記録層も含む意義で用いることとする。

又、本出願において「磁気記録媒体」という用語は、情報の記録、読み取りに磁気のみを用いるハードディスク、フロッピー（登録商標）ディスク、磁気テープ等に限定されず、磁気と光を併用するＭＯ（Ｍａｇｎｅｔｏ Ｏｐｔｉｃａｌ）等の光磁気記録媒体、磁気と熱を併用する熱アシスト型の記録媒体も含む意義で用いることとする。

本発明によれば、多数の記録要素に分割された記録層を有し、記録磁界の広がりが抑制され、磁気ヘッドの記録磁界が記録対象の記録要素に効率良く印加される磁気記録媒体を実現することができる。

以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。

図１に示されるように、本実施形態に係る磁気記録再生装置１０は、磁気記録媒体１２と、磁気記録媒体１２に対してデータの記録／再生を行うための磁気ヘッド１４と、を備え、磁気記録媒体１２の構成に特徴を有している。他の構成については、本発明の理解のために特に必要とは思われないため、説明を適宜省略することとする。

尚、磁気記録媒体１２はチャック１６に固定され、該チャック１６と共に回転自在とされている。又、磁気ヘッド１４は、アーム１８の先端近傍に装着され、アーム１８はベース２０に回動自在に取付けられている。これにより、磁気ヘッド１４は磁気記録媒体１２の径方向に沿う円弧軌道で磁気記録媒体１２の表面に近接して可動とされている。

磁気記録媒体１２は、垂直記録型のディスクリートトラックタイプの磁気ディスクで、図２に示されるように、基板２２と、基板２２の上に形成された軟磁性層２４と、表面に垂直な方向に磁気異方性を有するように配向されて軟磁性層２４の上に形成され、且つ、所定の凹凸パターンで多数の記録要素２６Ａに分割された記録層２６と、を含み、凹凸パターンの凹部２８が軟磁性層２４の厚さ方向の途中まで形成されたことを特徴としている。

基板２２は、軟磁性層２４側の面が鏡面研磨されている。基板２２の材料としては、ガラス、ＮｉＰで被覆したＡｌ合金、Ｓｉ、Ａｌ_２Ｏ_３等の非磁性材料を用いることができる。

基板２２及び軟磁性層２４の間には、下地層３１及び軟磁性層２４に径方向の磁気異方性を付与するための反強磁性層３２が形成されている。下地層３１は、厚さが２〜４０ｎｍである。下地層３１の材料としてはＴａ等を用いることができる。反強磁性層３２は、厚さが５〜５０ｎｍである。反強磁性層３２の材料としてはＰｔＭｎ合金、ＲｕＭｎ合金等を用いることができる。

軟磁性層２４は、厚さが５０〜３００ｎｍである。軟磁性層２４の材料としては、Ｆｅ（鉄）合金、Ｃｏ（コバルト）アモルファス合金、フェライト等を用いることができる。尚、軟磁性層２４は、軟磁性を有する層と、非磁性層と、の積層構造であってもよい。軟磁性層２４における凹部２８の底部を構成する部分は、該軟磁性層２４の全厚の５０％以上の厚さを有していることが好ましい。又、軟磁性層２４における凹部２８の深さは、３ｎｍ以上、２５ｎｍ以下であることが好ましい。

凹凸パターンの凹部２８は、記録層２６における基板２２と反対側の面まで非磁性材３０で充填されている。非磁性材３０の材料としては、ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＴｉＯ_２、フェライト等の酸化物、ＡｌＮ等の窒化物、ＳｉＣ等の炭化物等を用いることができる。

軟磁性層２４及び記録層２６の間には、記録層２６に厚さ方向（表面に垂直な方向）の磁気異方性を付与するための配向層３４が形成されている。配向層３４は、厚さが２〜４０ｎｍである。配向層３４の具体的な材料としては、非磁性のＣｏＣｒ合金、Ｔｉ、Ｒｕ、ＲｕとＴａの積層体、ＭｇＯ等を用いることができる。

記録層２６は、厚さが５〜３０ｎｍである。記録層２６の材料としては、ＣｏＣｒＰｔ合金等のＣｏＣｒ系合金、ＦｅＰｔ系合金、これらの積層体、ＳｉＯ_２等の酸化物系材料の中にＣｏＰｔ等の強磁性粒子をマトリックス状に含ませた材料等を用いることができる。記録要素２６Ａは、データ領域において径方向に微細な間隔の同心円状のトラック形状で形成されている。又、記録要素２６Ａは、サーボ領域において所定のサーボ情報のパターン形状で形成されている。

記録要素２６Ａ及び非磁性材３０の上には保護層３６、潤滑層３８がこの順で形成されている。保護層３６は、厚さが１〜５ｎｍである。保護層３６の材料としては、例えば、ダイヤモンドライクカーボンと呼称される硬質炭素膜等を用いることができる。尚、本出願において「ダイヤモンドライクカーボン（以下、「ＤＬＣ」という）」という用語は、炭素を主成分とし、アモルファス構造であって、ビッカース硬度測定で２×１０^９〜８×１０^１０Ｐａ程度の硬さを示す材料という意義で用いることとする。又、潤滑層３８は、厚さが１〜２ｎｍである。潤滑層３８の材料としては、ＰＦＰＥ（パーフロロポリエーテル）やフォンブリン系潤滑剤等を用いることができる。

磁気ヘッド１４は、図３に示されるように、記録ヘッド４０を備えている。記録ヘッド４０は、主磁極４２と、リターン磁極４４と、を有して構成されている。尚、磁気ヘッド１４は、再生ヘッドも備えているが、図３では再生ヘッドは省略している。又、図３は、磁気ヘッド１４と磁気記録媒体１２の配置の理解のため、磁気記録媒体１２について記録要素２６Ａ、軟磁性層２４だけを図示している。

次に、磁気記録再生装置１０の作用について説明する。

磁気記録媒体１２は、凹凸パターンの凹部２８が軟磁性層２４の厚さ方向の途中まで形成されているので、図２に示されるように、磁気ヘッド１４の記録ヘッド４０の主磁極４２からの記録磁界の広がりが抑制され、主磁極４２からの記録磁界は、軟磁性層２４の凸部上の記録対象の記録要素２６Ａに引き込まれる。又、軟磁性層２４は、記録要素２６Ａの下の部分が記録要素２６Ａの長手方向（周方向）に記録磁界のリターンパスを構成すると共に、更に、図２に示されるように、軟磁性層２４における凹部２８の底部を構成する部分が凹部２８の方向にも記録磁界のリターンパスを構成するので、磁気ヘッド１４の記録磁界が記録対象の記録要素２６Ａに効率良く印加される。尚、記録磁界は、リターンパスを介してリターン磁極４４へ還流する。

又、磁気記録媒体１２は、記録要素２６Ａの間の凹部２８が非磁性材３０で充填されているので、表面の凹凸が小さく磁気ヘッド１４の浮上高さが安定し、この点でも良好な記録／再生特性が得られる。

又、磁気記録媒体１２は、記録要素２６Ａが、データ領域においてトラック形状で形成されているので面記録密度が高くても記録対象のトラックに隣接するトラックへの記録や再生時のクロストーク等の問題が生じにくい。

更に、磁気記録媒体１２は、記録要素２６Ａ同士が分割され、記録要素２６Ａ間の凹部２８には記録層２６が存在しないので凹部２８からノイズが発生することがなく、この点でも良好な記録／再生特性が得られる。

尚、上記実施形態において、非磁性材３０として、ＳｉＯ_２を用いているが、非磁性の材料であれば、非磁性材３０の具体的な材料は特に限定されない。

又、上記実施形態において、記録要素２６Ａの間の凹部２８は非磁性材３０で充填されているが、磁気ヘッド１４の良好な浮上特性が得られれば、凹部２８を空隙部としてもよい。

又、上記実施形態において、基板２２と、軟磁性層２４と、の間に下地層３１及び反強磁性層３２が形成されているが、基板２２と、軟磁性層２４と、の間の層の構成は、磁気記録媒体の種類やニーズに応じて適宜変更すればよい。又、下地層３１及び反強磁性層３２を省略し、基板２２上に軟磁性層２４を直接形成してもよい。同様に、軟磁性層２４と、記録層２６と、の間の層の構成も、特に限定されず、例えば、配向層３４を省略し、軟磁性層２４上に記録層２６を直接形成してもよい。

又、上記実施形態において、磁気記録媒体１２は、基板２２の片面に記録層２６等が形成されているが、基板の両面に記録層等が形成された両面記録式の磁気記録媒体についても本発明は適用可能である。

又、上記実施形態において、磁気記録媒体１２はデータ領域において記録要素２６Ａがトラックの径方向に微細な間隔で並設されたディスクリートトラックタイプの磁気ディスクであるが、記録要素がトラックの周方向（セクタの方向）に微細な間隔で並設された磁気ディスク、トラックの径方向及び周方向の両方向に微細な間隔で並設された磁気ディスク、トラックが螺旋形状をなす磁気ディスクについても本発明は当然適用可能である。又、ＭＯ等の光磁気ディスク、磁気と熱を併用する熱アシスト型の磁気ディスク、更に、磁気テープ等ディスク形状以外の凹凸パターンの記録層を有する他の磁気記録媒体に対しても本発明を適用可能である。

上記実施形態のとおり、磁気記録媒体１２を作製した。作製した磁気記録媒体１２の具体的な構成を以下に示す。

基板２２は直径が約２５．４ｍｍ（１インチ）で材料はガラスである。又、基板２２における軟磁性層２４側の面の算術平均粗さＲａは０．２〜０．３ｎｍであった。軟磁性層２４は、厚さが約１００ｎｍで、材料はＣｏＺｒＮｂ合金である。配向層３４は、厚さが約１０ｎｍで、材料はＲｕである。記録層２６は、厚さが約１５ｎｍで、材料はＳｉＯ_２とＣｏＰｔ結晶粒子の混晶相であり、垂直磁気異方性磁界Ｈｃは、約６００ｋＡ／ｍであった。非磁性材３０の材料はＳｉＯ_２である。保護層３６は、厚さが約４ｎｍで、材料はＤＬＣである。潤滑層３８は、厚さが約１ｎｍで、材料はフォンブリン系潤滑剤である。

この磁気記録媒体１２を作製した具体的な方法について簡単に説明すると、まず、基板２２の上に、下地層３１、反強磁性層３２、軟磁性層２４、配向層３４、連続記録層（未加工の記録層２６）、第１マスク層、第２マスク層をこの順でスパッタリング法により形成し、更にレジスト層をスピンコート法で塗布した。尚、第１マスク層は、厚さが約１００ｎｍで、材料はＣである。又、第２マスク層は、厚さが約５ｎｍで、材料はＮｉである。レジスト層は、厚さが約１００ｎｍである。

次に、レジスト層に、データ領域において、凸部の幅が約１００ｎｍ、凹部の幅が約５０ｎｍ、トラックピッチが約１５０ｎｍの凹凸パターンをナノ・インプリント法により転写し、Ｏ_２ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより、凹部の底部のレジスト層を除去した。

次に、加工用ガスとしてＡｒガスを用いたイオンビームエッチングにより、凹部の底部の第２マスク層を除去し、更に、Ｏ_２ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより、凹部の底部の第１マスク層を除去した。

次に、加工用ガスとしてＡｒガスを用いたイオンビームエッチングにより、凹部の底部の配向層３４、記録層２６を厚さ方向に完全に除去して記録要素２６Ａに分割された記録層２６を形成すると共に軟磁性層２４を約１０ｎｍの深さまで除去した。

次に、スパッタリング法により、非磁性材３０を表面に成膜し、記録要素２６Ａの間の凹部２８を充填した。更に、被加工体を回転させながら、加工用ガスとしてＡｒガスを用いたイオンビームエッチングにより、Ａｒガスを斜方から照射しつつ記録層２６上の余剰の非磁性材３０を除去し表面を平坦化した。

更に、ＣＶＤ法により保護層３６を成膜し、ディッピング法により潤滑層３８を成膜することにより、上記磁気記録媒体１２を得た。

このようにして得られた磁気記録媒体１２に、主磁極４２の材料がＦｅＣｏ合金で、主磁極幅Ｍｗが約１２０ｎｍ、飽和磁束密度が約２．３テスラの記録ヘッドでデータを記録した。尚、主磁極幅Ｍｗとは、図３に示されるように、主磁極４２における磁気記録媒体１２に近接する部分の磁気記録媒体１２の径方向に沿う幅である。又、記録密度は４００ｋＦＲＰＩとした。又、巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）を利用した、再生トラック幅が約１１０ｎｍの再生ヘッドでデータを再生し、再生信号のＳ／Ｎ比を測定した。

[比較例]
上記実施例に対し、凹部２８を記録層２６の基板２２側の面まで形成し、軟磁性層２４には凹部２８を形成していない磁気記録媒体を作製し、上記実施例と同様に再生信号のＳ／Ｎ比を測定した。

表１に比較例の再生信号のＳ／Ｎ比を０ｄＢとして、実施例及び比較例の再生信号のＳ／Ｎ比の測定結果を対比して示す。

表１より、実施例は比較例に対し、再生信号のＳ／Ｎ比が著しく大きく、比較例よりも記録／再生特性が良好であることが確認された。

[シミュレーション例１]
上記実施形態と同様の形態の８種類のシミュレーションモデルを作成した。尚、これらのシミュレーションモデルは、凹部の深さが相互に異なる構成とし、他の構成は等しくした。これらのシミュレーションモデルの具体的な構成を表２に示す。尚、凹部の深さについては表３に示す。尚、表２中の、主磁極厚Ｍｔとは、図３に示されるように、主磁極４２における磁気記録媒体１２に近接する部分の磁気記録媒体１２の周方向に沿う厚さである。

これらのシミュレーションモデルについてシミュレーションを実行し、凹部の深さと、磁界の広がりと、の関係を算出したところ表３及び図４に示されるような結果が得られた。尚、ここで、凹部の深さは、記録要素の上面から凹部底面までの深さである。又、磁界の広がりは、記録要素の上面のトラック幅方向の端部を基準位置とし、記録要素の上面のトラック幅方向の中央部分における記録磁界強度に対し、記録磁界強度が３０％となる位置の、基準位置からのトラック幅方向の距離で示す。

表３及び図４より、凹部が深い程、磁界の広がりが小さくなる傾向があることが確認された。又、図４より、凹部の深さが４０ｎｍ以下で、軟磁性層には凹部が形成されていなくても、凹部が深い程、磁界の広がりが小さくなる傾向があるが、軟磁性層に凹部が形成されると、磁界の広がりがより小さくなる。さらに、凹部が４３ｎｍよりも深くなり、軟磁性層に３ｎｍ程度の深さの凹部が形成されることで、磁界の広がりが著しく低減されることが確認された。即ち、軟磁性層における深さが僅かであっても、軟磁性層まで凹部を形成することで、記録磁界の広がりを抑制する効果が著しく高くなり、軟磁性層に３ｎｍ以上の深さで凹部を形成すれば、記録磁界の広がりを著しく抑制する効果が確実に得られることが確認された。一方、軟磁性層における凹部の深さが２５ｎｍ程度となると、それ以上凹部を深くしても記録磁界の広がりは殆ど変化しない。又、凹部が過度に深いと、リターンパスを構成する効果が減殺されると共に、凹部を形成する工程や非磁性材により凹部を充填する工程における生産効率がそれだけ低下するため、軟磁性層における凹部の深さの上限は２５ｎｍ程度とすることが好ましい。

[シミュレーション例２]
上記シミュレーション例１の８種類のシミュレーションモデルについてシミュレーションを実行し、軟磁性層の全厚に対する、軟磁性層における凹部の底部を構成する部分の厚さの比率と、記録要素上面における記録磁界の強度と、の関係を求めたところ表３及び図５に示されるような結果が得られた。尚、ここで記録磁界の強度とは、記録要素の上面のトラック幅方向の中央部分における記録磁界の強度であり、その大きさは、凹部が形成されていないシミュレーションモデルにおける記録層上面における記録磁界を１として、これとの比で表すこととする。

表３及び図５に、これらのシミュレーションモデルの軟磁性層の全厚に対する、軟磁性層における凹部の底部を構成する部分の厚さの比率と、記録要素上面における記録磁界の強度と、の関係を示す。表３及び図５より、軟磁性層の全厚に対する、軟磁性層における凹部の底部を構成する部分の厚さの比率が低い程、記録要素上面における記録磁界の強度が低下する傾向があることがわかる。これは、軟磁性層における凹部の底部を構成する部分による記録磁界のリターンパスを構成する効果が低下することによるものと考えられる。図５より、軟磁性層の全厚に対する軟磁性層における凹部の底部を構成する部分の厚さの比率が５０％以下となるとこの傾向が著しくなることがわかる。言い換えれば、記録要素上面における記録磁界の強度の低下を抑制するためには、軟磁性層の全厚に対する、軟磁性層における凹部の底部を構成する部分の厚さの比率が５０％以上とすることが好ましいことが確認された。

本発明は、例えば、ディスクリートトラック媒体、パターンド媒体等の、記録層が所定の凹凸パターンで多数の記録要素に分割された磁気記録媒体に利用することができる。

本発明の実施形態に係る磁気記録再生装置の要部の概略構造を模式的に示す斜視図 同磁気記録再生装置の磁気記録媒体の構造を拡大して模式的に示す側断面図 同磁気記録再生装置の磁気ヘッドの構造を模式的に示す斜視図 同磁気記録媒体の軟磁性層の凹部の深さと、磁界の広がりと、の関係を示すグラフ 同磁気記録媒体の軟磁性層の全厚に対する軟磁性層における凹部の底部を構成する部分の厚さの比率と、記録要素上面における記録磁界の強度と、の関係を示すグラフ

符号の説明

１０…磁気記録再生装置
１２…磁気記録媒体
１４…磁気ヘッド
１６…チャック
１８…アーム
２０…ベース
２２…基板
２４…軟磁性層
２６…記録層
２６Ａ…記録要素
２８…凹部
３０…非磁性材
３１…下地層
３２…反強磁性層
３４…配向層
３６…保護層
３８…潤滑層
４０…記録ヘッド
４２…主磁極
４４…リターン磁極

Claims (5)

1. 基板と、該基板の上に形成された軟磁性層と、表面に垂直な方向に磁気異方性を有するように配向されて前記軟磁性層の上に形成され、且つ、所定の凹凸パターンで多数の記録要素に分割された記録層と、を含み、前記凹凸パターンの凹部が前記軟磁性層の厚さ方向の途中まで形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
2. 請求項１において、
   前記軟磁性層における前記凹部の底部を構成する部分は、該軟磁性層の全厚の５０％以上の厚さを有することを特徴とする磁気記録媒体。
3. 請求項１又は２において、
   前記軟磁性層における前記凹部の深さが３ｎｍ以上であることを特徴とする磁気記録媒体。
4. 請求項１乃至３のいずれかにおいて、
   前記軟磁性層における前記凹部の深さが２５ｎｍ以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
5. 請求項１乃至４のいずれかに記載の磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に対してデータの記録／再生を行うための磁気ヘッドと、を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。

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