JP2010277616A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レジストパターン21’をマスクとして非磁性元素22をトラック分離域23にイオン注入することで、トラック分離域23の合金結晶の格子定数が、磁性層18,19のイオン注入されていない部分である記録トラックの合金結晶の格子定数よりも大きくなるようにする。
【選択図】図8
Description
Crイオン注入の注入エネルギーを24keVとし、注入量を4×1016atoms/cm2として実施例1と同様に媒体を作製した。
イオン注入によるCoの格子定数の変化が磁気特性に及ぼす効果を確認するため、以下に示す実験を実施した。レジスト20、レジストパターン20’、潤滑膜26を形成せずに実施例2と同様にサンプルを作製した。Crイオンの注入エネルギーは20keVとし、注入量は4×1016 atoms/cm2から2×1017atoms/cm2とした。レジスト20を塗布せずレジストパターン20’を形成していないため、本実施例のサンプルの磁性層は全面が実施例1のトラック分離域23と同様の磁性層となっている。また、記録再生特性を評価しないため、本実施例では潤滑膜26は形成しなかった。
Co合金以外の磁気記録層に対するイオン注入の効果を確認するため、以下に示す実験を実施した。実験例2による磁気記録媒体及びその製造方法を図21、22に示す。
11:密着層
12:第一軟磁性層
13:反強磁性結合層
14:第二軟磁性層
15:下地層
16:第一配向制御層
17:第二配向制御層
18:第一磁性層
19:第二磁性層
20:レジスト
20’:レジストパターン
21:スタンパー
22:非磁性元素のイオン
23:トラック分離域
24:酸化層
25:DLC保護膜
26:潤滑膜
30:基板
31:配向制御層
32:磁性層
33:カーボン保護膜
34:非磁性元素のイオン
Claims (11)
- 基板上に直接もしくは間接的に形成された磁気記録層を有する磁気記録媒体であって、
前記磁気記録層は結晶構造を有する合金からなり、
前記磁気記録層はおおむね同心円状に形成された記録トラックと、前記記録トラックの間に形成されたトラック分離域を有し、
前記トラック分離域の合金組成が前記記録トラックの合金組成に特定の非磁性元素を加えた組成であり、
前記トラック分離域の合金結晶の格子定数が前記記録トラックの合金結晶の格子定数よりも大きいことを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1に記載の磁気記録媒体において、前記結晶構造が六方晶もしくは正方晶であり、前記トラック分離域の合金結晶の格子定数と前記記録トラックの合金結晶の格子定数が結晶のc軸の格子定数であることを特徴とする磁気記録媒体。
- 請求項1に記載の磁気記録媒体において、前記トラック分離域の合金結晶の格子定数が前記記録トラックの合金結晶の格子定数よりも2%以上大きいことを特徴とする磁気記録媒体。
- 請求項1に記載の磁気記録媒体において、前記特定の非磁性元素がCr,Mo,W及びTaからなる群から選ばれる元素であることを特徴とする磁気記録媒体。
- 請求項1に記載の磁気記録媒体において、前記特定の非磁性元素がCrであることを特徴とする磁気記録媒体。
- 基板上に直接もしくは間接的に形成された磁気記録層を有し、前記磁気記録層は結晶構造を有する合金からなり、前記磁気記録層はおおむね同心円状に形成された記録トラックと、前記記録トラックの間に形成されたトラック分離域を有する磁気記録媒体の製造方法であって、
前記磁気記録層を形成する工程と、
前記トラック分離域に対応する前記磁気記録層の領域に非磁性元素のイオンを注入することによって当該領域の合金結晶の格子定数を前記磁気記録層の他の領域の合金結晶の格子定数よりも大きくすることにより前記トラック分離域を形成する工程と
を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 請求項6に記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記結晶構造が六方晶もしくは正方晶であり、前記トラック分離域の合金結晶の格子定数と前記記録トラックの合金結晶の格子定数が結晶のc軸の格子定数であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項6に記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記非磁性元素がCr,Mo,W及びTaからなる群から選ばれる元素であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項6に記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記非磁性元素がCrであることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項6に記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記非磁性元素のイオンを注入する時の注入エネルギーが10keV以上20keV以下であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項6に記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記非磁性元素のイオンを注入する時の注入量が4×1016 atoms/cm2以上3×1017atoms/cm2以下であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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