JP2006019552A - プラズマ処理装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法 - Google Patents
プラズマ処理装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006019552A JP2006019552A JP2004196536A JP2004196536A JP2006019552A JP 2006019552 A JP2006019552 A JP 2006019552A JP 2004196536 A JP2004196536 A JP 2004196536A JP 2004196536 A JP2004196536 A JP 2004196536A JP 2006019552 A JP2006019552 A JP 2006019552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shower head
- substrate
- processing
- processing chamber
- processing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【課題】反応ガスの流れを制御しつつ、パーティクルの低減も同時に図れるプラズマ処理装置及びそれを用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】チャンバー101に、反応ガス供給と真空排気の手段を備えたシャワーヘッド104、排気分配手段106、不活性ガス導入口107、分岐配管109を備え、通常の放電加工停止と同時に107より不活性ガスを導入し、106を動作させ、シャワーヘッド104、分岐配管109、排気分配手段106からなる排気経路を設ける。チャンバー101からの不活性ガスの排出に伴って基板102の上方に存在するパーティクルがシャワーヘッド104から排出され基板に付着するパーティクルを低減する。
【選択図】図1
【解決手段】チャンバー101に、反応ガス供給と真空排気の手段を備えたシャワーヘッド104、排気分配手段106、不活性ガス導入口107、分岐配管109を備え、通常の放電加工停止と同時に107より不活性ガスを導入し、106を動作させ、シャワーヘッド104、分岐配管109、排気分配手段106からなる排気経路を設ける。チャンバー101からの不活性ガスの排出に伴って基板102の上方に存在するパーティクルがシャワーヘッド104から排出され基板に付着するパーティクルを低減する。
【選択図】図1
Description
本発明は枚葉式のプラズマ処理装置及びそれを用いた半導体装置の製造方法に関するものである。
近年、半導体デバイスの微細化に伴い、各製造過程において要求される加工精度は年々厳しくなってきている。製造装置の基本的な加工特性の向上はもとより、装置内で発生するパーティクルの低減なくしては、高歩留りで、安定したデバイスの連続生産は困難になってきている。
従来、パーティクルの低減を図るために、例えば、特許文献1に開示されているようなCVD装置がある。図4は従来の技術におけるCVD装置の構成図を示している。
図4において基板支持具3上の基板2の外周に反応ガス排気口6が配置されているため、ガス供給口5から供給されたガスが基板2の面上を流れた後チャンバー1内に拡散することなく排気口6により排気されるという構成となっている。
特開平6−295871号公報
しかしながら、上記従来の構成では排気口6が1箇所で、かつ基板2の周辺近傍に偏在しているため、所望する加工特性を得るための製造装置の加工条件設定の自由度が小さくなる可能性があった。また、上記従来例はCVD装置についての例であるが、例えば、プラズマを発生させて放電処理を行うドライエッチやプラズマCVD装置などに展開をした際には、ガス流れの乱れ、プラズマの不均一などからパーティクル低減はできるものの、加工特性が悪化する恐れがあった。
そこで、本発明は、上記課題に鑑み、反応ガスの流れを制御しつつ、パーティクルの低減も同時に図れるプラズマ処理装置及びそれを用いた半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明のプラズマ処理装置は、基板を放電処理する処理室と、前記処理室を真空排気するための排気口と、前記基板に対し反応ガスを供給するためのシャワーヘッドを備えた基板処理装置であって、前記排気口に加えて、前記シャワーヘッドから真空排気する手段を備えていることを特徴とする。
前記シャワーヘッドが1個の構造体であり、その内部に真空排気する部分と、ガス供給する部分を備え、それらが分離して構成されていることが好ましい。
前記処理室内の前記基板周辺部に不活性ガス導入口を備えていることがさらに好ましい。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、基板を処理室内の所定の位置に設置する工程と、前記処理室内を排気口から真空引きした後、前記半導体基板の上部に設けられたシャワーヘッドから反応ガスを導入しつつ前記処理室内を所定の圧力となるよう調整する工程と、前記半導体基板の上下に設置された上部電極及び下部電極の間に電界を加えてプラズマを発生させ、前記半導体基板を前記プラズマに曝して所定の加工を行う工程と、前記加工工程の終了後、前記反応ガスの供給および前記電界の印加を停止し、前記排気口および前記シャワーヘッドに設けられた真空排気手段から前記処理室内を真空引きする工程と、を備えている。
前記排気口および前記シャワーヘッドに設けられた真空排気手段から前記処理室内を真空引きする工程において、前記シャワーヘッドから不活性ガスを同時に供給することが好ましい。
前記加工工程はドライエッチングあるいは薄膜堆積のいずれかであることがさらに好ましい。
本発明によれば、基板を放電処理しない時間に不活性ガスを導入しながらシャワーヘッドからも排気を行うため、基板処理装置において通常の基板処理時には所望の加工特性が得られ、基板処理をしない時間には基板に付着するパーティクルを低減することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図1は本発明の実施の形態における枚葉式ドライエッチング装置の構成図である。
101は基板を減圧で放電処理するチャンバー、102は基板、103は基板を保持する機構を持つ下部電極、104はガス導入と真空排気の手段を備えたシャワーヘッド、105は排気口、106はシャワーヘッド104と排気口105の真空排気能力を任意に分配できる排気分配手段、107は放射状に6方向から基板102の中心方向へ向けてチャンバー101の側面に設置した不活性ガス導入口、108はシャワーヘッド104に接続された反応ガス導入管、109は排気口105から排気分配手段106を介して分岐され、シャワーヘッド104に接続された分岐配管である。
また、図2は本発明の実施の形態における枚葉式ドライエッチング装置のシャワーヘッドの構成を示す図であり、図2(a)はシャワーヘッドの内部構成を示す図、図2(b)はシャワーヘッドの表面構造を示す図である。
従来、一般に基板処理装置のシャワーヘッドは反応ガスを供給する目的で配置されるものであったが、本実施の形態では、シャワーヘッド104は真空排気手段を併せ持つ構成である。
図2(a)に示すように、シャワーヘッド104の内部は、十字星型に設置した隔壁112により、真空排気領域(ハッチング部分)とガス供給領域(ハッチングのない部分)に2分割されている。一方、シャワーヘッド104の表面では、図2(b)に示すように基板と対向する面のうち、上記真空排気領域上にはガス導入穴113が、真空排気領域には排気穴114が配設されている。
図3には本発明の実施の形態におけるシャワーヘッドの透視斜視図を示す。シャワーヘッド104内の前記2つの領域は隔壁112によって分離され、上部で分岐配管109と反応ガス導入管108にそれぞれ連結されており、独立して真空排気とガス供給が可能な構成となっている。
次に本実施の形態におけるドライエッチング装置を用いた基板の処理工程について説明する。
最初に、図示しない搬送機構を用いてシリコン基板102を下部電極103上に搬送する。
チャンバー101内を排気口105から真空引きした後、シャワーヘッド104から反応ガスを導入し、排気口105からの排気量を調整して、チャンバー101内を所定の圧力になるようにする。次に、図示しない上部電極と下部電極103の間に電界を加えて放電を開始させる。このようにして発生させたプラズマにシリコン基板102が曝されて、シリコン基板102ないしは基板上に形成された材料がエッチングされることにより、所定の加工が行われる。
なお、矢線110は反応ガスの流れを示している。
所定の加工が終了すると、シャワーヘッド104からの反応ガスの導入を停止し、放電を停止すると同時に不活性ガス導入口107からN2などの不活性ガスを導入する。なお、矢線111は不活性ガスの流れを示している。
一方、不活性ガスの導入と同時に排気分配手段106を動作させ、通常の排気口105と、シャワーヘッド104に取り付けられた分岐配管109とを用いて、一定時間排気を行う。この際、排気口105からの排気能力と分岐配管109からの排気能力は排気分配手段106によってそれぞれ調節される。
その後、不活性ガス導入口107からの不活性ガス導入を止め、次の基板処理の準備のため再度真空引きを行う。ここで排気分配手段106を初期の状態に戻し、分岐配管109からの真空排気経路を遮断する。
その後、加工を終えたシリコン基板102を前記搬送機構により搬出すると共に次の基板を搬入する。以上が当該エッチング装置に関する基板処理の一連の動作である。
上記において放電処理終了後、チャンバー101から反応ガスが十分に真空排気されるまでの間、基板102上に滞留するパーティクルをシャワーヘッド104から分岐配管109を通して不活性ガスとともに排気し、基板102に付着するパーティクルを低減する。
また、シャワーヘッド104からの排気は基板の放電処理をしない時間に行うので、放電加工中の加工条件を自由に設定することが可能で、加工特性に対する悪影響はない。
なお、シャワーヘッド104の構成については、真空排気とガス供給の領域が独立し、真空排気とガス供給の動作が基板102上の空間に効率よくなされることが重要であるので、図2に示した構成に限られず、同心円状、二重螺旋状などに分割することも可能である。
なお、本実施の形態では基板加工後にシャワーヘッド104から真空排気する場合を説明したが、前記パーティクルの低減効果は基板搬送が終了し、次の基板処理に際して反応ガスの導入開始する迄の時間にも同様に有効に作用するため、放電の前後で併用すればより効果的である。
また、本実施の形態ではシリコン基板を用いたが、化合物半導体基板やその他の基板、例えばサファイア基板やガラス基板等であってもよい。
また、本実施の形態ではドライエッチング装置を例にして説明したが、本発明は同様な処理室構成を持つ他のプラズマ処理装置、例えばプラズマCVD装置等においても同様に実施できる。
本発明に係るプラズマ処理装置は、大面積でかつ微細パターンを有する半導体装置の製造装置として特に有用である。
1 チャンバー
2 基板
3 基板支持具
4 基板加熱装置
5 ガス供給口
6 排気口
101 チャンバー
102 シリコン基板
103 下部電極
104 シャワーヘッド
105 排気口
106 排気分配手段
107 不活性ガス導入口
108 反応ガス導入管
109 分岐配管
2 基板
3 基板支持具
4 基板加熱装置
5 ガス供給口
6 排気口
101 チャンバー
102 シリコン基板
103 下部電極
104 シャワーヘッド
105 排気口
106 排気分配手段
107 不活性ガス導入口
108 反応ガス導入管
109 分岐配管
Claims (6)
- 基板を放電処理する処理室と、
前記処理室を真空排気するための排気口と、
前記基板に対し反応ガスを供給するためのシャワーヘッドを備えた基板処理装置であって、前記排気口に加えて、前記シャワーヘッドから真空排気する手段を備えていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記シャワーヘッドが1個の構造体であり、その内部に真空排気する部分と、ガス供給する部分を備え、それらが分離して構成されていることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理室内の前記基板周辺部に不活性ガス導入口を備えていることを特徴とする請求項1または2記載のプラズマ処理装置。
- 半導体基板を処理室内の所定の位置に設置する工程と、
前記処理室内を排気口から真空引きした後、前記半導体基板の上部に設けられたシャワーヘッドから反応ガスを導入しつつ前記処理室内を所定の圧力となるよう調整する工程と、
前記半導体基板の上下に設置された上部電極及び下部電極の間に電界を加えてプラズマを発生させ、前記半導体基板を前記プラズマに曝して所定の加工を行う工程と、
前記加工工程の終了後、前記反応ガスの供給および前記電界の印加を停止し、前記排気口および前記シャワーヘッドに設けられた真空排気手段から前記処理室内を真空引きする工程と、を備えた半導体装置の製造方法。 - 前記排気口および前記シャワーヘッドに設けられた真空排気手段から前記処理室内を真空引きする工程において、前記シャワーヘッドから不活性ガスを同時に供給することを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。
- 前記加工工程はドライエッチングあるいは薄膜堆積のいずれかであることを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004196536A JP2006019552A (ja) | 2004-07-02 | 2004-07-02 | プラズマ処理装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004196536A JP2006019552A (ja) | 2004-07-02 | 2004-07-02 | プラズマ処理装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006019552A true JP2006019552A (ja) | 2006-01-19 |
Family
ID=35793517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004196536A Pending JP2006019552A (ja) | 2004-07-02 | 2004-07-02 | プラズマ処理装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006019552A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007335465A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
JP2008249304A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Koyo Thermo System Kk | 連続熱処理装置 |
KR100988169B1 (ko) | 2006-04-04 | 2010-10-18 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 플라즈마 처리장치 |
JP2011066202A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
US8236106B2 (en) | 2008-03-14 | 2012-08-07 | Tokyo Electron Limited | Shower head and substrate processing apparatus |
US8366828B2 (en) | 2008-03-19 | 2013-02-05 | Tokyo Electron Limited | Shower head and substrate processing apparatus |
KR101452834B1 (ko) | 2008-12-29 | 2014-10-21 | 주식회사 케이씨텍 | 원자층 증착장치 |
-
2004
- 2004-07-02 JP JP2004196536A patent/JP2006019552A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100988169B1 (ko) | 2006-04-04 | 2010-10-18 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 플라즈마 처리장치 |
JP2007335465A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
JP2008249304A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Koyo Thermo System Kk | 連続熱処理装置 |
US8236106B2 (en) | 2008-03-14 | 2012-08-07 | Tokyo Electron Limited | Shower head and substrate processing apparatus |
US8366828B2 (en) | 2008-03-19 | 2013-02-05 | Tokyo Electron Limited | Shower head and substrate processing apparatus |
KR101452834B1 (ko) | 2008-12-29 | 2014-10-21 | 주식회사 케이씨텍 | 원자층 증착장치 |
JP2011066202A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2023018006A (ja) | 流れ均一性を改善させるためのフェースプレート穴を有する低容積シャワーヘッド | |
JP5185251B2 (ja) | 汚染を低減したガス注入システム及びその使用方法 | |
KR20230136584A (ko) | 다공성 베플을 갖는 저 볼륨 샤워헤드 | |
TWI709996B (zh) | 被處理體之處理方法 | |
JPH11154667A (ja) | 大きなウエハ直径のための空間的に均一なガス供給およびポンプ構成 | |
JP2003197615A (ja) | プラズマ処理装置およびそのクリーニング方法 | |
JP2016207915A (ja) | 被処理体を処理する方法 | |
JP2007243138A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
WO2007052534A1 (ja) | エッチング方法及びエッチング装置 | |
TWI725034B (zh) | 電漿處理方法 | |
TW202031921A (zh) | 使用介穩活化自由基物種的原子層處理製程 | |
JP2009176799A (ja) | プラズマ処理装置及びその大気開放方法 | |
JP2006019552A (ja) | プラズマ処理装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法 | |
US7452823B2 (en) | Etching method and apparatus | |
JP2011530170A (ja) | チャンバのプラズマ洗浄プロセス方法 | |
JP7433164B2 (ja) | 基板処理システム | |
JP2016207788A (ja) | 上部電極の表面処理方法、プラズマ処理装置及び上部電極 | |
JP2006319041A (ja) | プラズマクリーニング方法、成膜方法 | |
KR100442580B1 (ko) | 반도체 제조용 챔버의 배기시스템 | |
JP2006319042A (ja) | プラズマクリーニング方法、成膜方法 | |
JP2004349375A (ja) | ドライエッチング装置のガス分散板 | |
JP4541193B2 (ja) | エッチング方法 | |
JP2006278821A (ja) | 半導体製造装置、半導体装置の製造方法および半導体製造装置のクリーニング方法 | |
JP2007273824A (ja) | 半導体製造装置 | |
US11521838B2 (en) | Integrated cleaning process for substrate etching |