JP2007335465A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空処理容器、該真空処理容器内に配置した試料台102、および前記真空処理容器内の天井面側に前記試料台と対向して配置したシャワープレート103を備え、前記シャワープレートから処理ガスを供給し、前記真空容器内に高周波エネルギを供給して、前記シャワープレートと試料台間に形成される処理空間にプラズマを生成し、生成したプラズマにより前記試料台上に載置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、前記真空処理容器の前記処理空間に対向する内面側に配置した内壁部材203を備え、該内壁部材は、導入したガスを前記シャワープレートの下面に沿って水平方向に導入する複数の第1のガス導入口200を備え、該第1のガス導入口は前記試料台の中心軸に対して対称に配置した。
【選択図】図1
Description
101 ソレノイドコイル
102 下部電極
103 シャワープレート
104 高周波電源
105 UHF整合器
106 ターボ分子ポンプ
107 RF電源
108 整合器
109 ガス源
110 ガスバルブ
111,206,207 マスフローコントローラ
112 可動弁
200 第1のガス導入口
201 第2のガス導入口
202 天板
202a リング状隔壁
203 側壁
204 内壁
205 シール部材
208 細孔
1003a 内周側空間(内周側バッファ空間)
1003b 外周側空間(外周側バッファ空間)
1009a 第1のガス源
1009b 第2のガス源
1009c 希ガス源
1011a,1011b マスフローコントローラ
1014 コントローラ
Claims (8)
- 真空処理容器、該真空処理容器内に配置した試料台、および前記真空処理容器内の天井面側に前記試料台と対向して配置したシャワープレートを備え、前記シャワープレートから処理ガスを供給し、前記真空容器内に高周波エネルギを供給して、前記シャワープレートと試料台間に形成される処理空間にプラズマを生成し、生成したプラズマにより前記試料台上に載置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
前記真空処理容器の前記処理空間に対向する内面側に配置した内壁部材備え、該内壁部材は、導入したガスを前記シャワープレートの下面に沿って水平方向に導入する複数の第1のガス導入口を備え、該第1のガス導入口は前記試料台の中心軸に対して対称に配置したことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記内壁部材は導入したガスを内壁部材の内壁に沿って垂直方向に導入する複数の第2のガス導入口を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記複数の第1のガス導入口から導入するガスの流量は前記シャワープレートから導入するガスの流量よりも大であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
第1のガス導入口の出口部分はガスの吹き出し方向に対して垂直であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記内壁部材は真空処理容器に着脱自在に取り付けたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記シャワープレートは、その内周側に処理ガスを導入する複数の貫通孔を備え、その最外周部に前記ガスを内壁部材の内壁に沿って垂直方向に導入する第2のガス導入口を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 真空処理容器、該真空処理容器内に配置した試料台、および前記真空処理容器内の天井面側に前記試料台と対向して配置したシャワープレートを備え、前記シャワープレートから処理ガスを供給し、前記真空容器内に高周波エネルギを供給して、前記シャワープレートと試料台間に形成される処理空間にプラズマを生成し、生成したプラズマにより前記試料台上に載置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理方法において、
導入したガスを前記シャワープレートの下面に沿って水平方向に導入する第1のガス導入口、導入したガスを処理容器内に配置した内壁部材の内壁に沿って垂直方向に導入する第2のガス導入口、および導入したガスを排気する真空排気手段を備え、
プラズマ処理の開始前に、前記ガスを前記第2のガス導入口を介して導入するとともに導入したガスを前記真空排気手段により排気し、プラズマ処理の終了時に、前記ガスを前記第1および第2のガス導入口を介して導入するとともに導入したガスを前記真空排気手段により排気することを特徴とするプラズマ処理方法。 - 真空処理容器、該真空処理容器内に配置した試料台、および前記真空処理容器内の天井面側に前記試料台と対向して配置したシャワープレートおよび天板を備え、前記天板とシャワープレート間に形成したバッファ空間を介してシャワープレートから処理ガスを供給し、前記真空容器内に高周波エネルギを供給して、前記シャワープレートと試料台間に形成される処理空間にプラズマを生成し、生成したプラズマにより前記試料台上に載置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
前記シャワープレートと天板との間に形成されるバッファ空間を内周側空間および外周側空間に区画するリング状隔壁と、該隔壁により区画された内周側空間および外周側空間にそれぞれガスを供給するガス供給手段を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
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