JP2006013486A - 圧電アクチェータ - Google Patents
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 81
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 39
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 7
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920000840 ethylene tetrafluoroethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920011301 perfluoro alkoxyl alkane Polymers 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
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Abstract
【解決手段】 圧電アクチェータ28は、正導体64aの各々と関連する第1分配電極50と、負導体64bの各々と関連する第2分配電極52とを備え、第1及び第2分配電極50,52は、絶縁基板51を備え、互いに対向する第1及び第2面54,56と、導体部材58と、複数の電荷分配要素70とを有し、導体部材58は、電源に電気的に接続可能であり、電荷分配要素70は、正及び負導体64a,64bに接続され、第1及び第2分配電極50,52は、導体部材58と電荷分配要素70との間にヒューズ手段をさらに備える。
【選択図】 図3
Description
30 積層体
38 圧電素子
40a 正の内部電極
40b 負の内部電極
50 第1分配電極
51 プラスチック基板層
52 第2分配電極
53 縦方向縁
54 第1平面
55 横方向縁
56 第2平面
57,59 メタライズ領域
58 バスバー
60 導体アーム
62 孔
64a 正のメタライズ領域(正の導体パッド)
64b 負のメタライズ領域(負の導体パッド)
70 電荷分配区域
74 (孔の)内面
76 導電片
S1 前面
S2 後面
Claims (14)
- 複数の圧電素子であって、前記圧電素子の各々は、前記圧電素子によって互いから電気的に隔離された正及び負の電極対を有し、前記電極対は、1つ以上の電極対の群に配置されるような圧電素子と、
前記群の各々の前記正電極と接続されている正導体と、
前記群の各々の前記負電極と接続されている負導体と
を備える積層体を有する圧電アクチェータにおいて、
前記正導体の各々と関連する第1分配電極と、
前記負導体の各々と関連する第2分配電極と
をさらに備え、
前記第1及び第2分配電極の各々は、絶縁基板を備え、前記絶縁基板は、互いに対向する第1及び第2面と、前記絶縁基板の前記第1面に配置される導体部材と、前記基板の前記第2面に配置される複数の電荷分配要素とを有し、前記導体部材は、使用時に、電源に電気的に接続可能であり、前記電荷分配要素は、前記正及び負の導体に接続され、前記第1及び第2分配電極の各々は、前記導体部材と前記電荷分配要素との間に電気的接続をもたらすヒューズ手段をさらに備え、これによって、前記群の1つの内の1対の電極間に短絡が生じた場合、前記ヒューズ手段は、前記電源と前記正及び負の導体との間の電気的接続を遮断するようになっていることを特徴とする圧電アクチェータ。 - 前記正及び負の導体は、前記積層体の互いに対向する外面のそれぞれに形成されたメタライズ領域であることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチェータ。
- 前記基板は、実質的に平面状の層であることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電アクチェータ。
- 前記導体部材と前記1つ以上の電荷分配要素は、前記基板の前記面のそれぞれに形成されたメタライズ領域であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧電アクチェータ。
- 前記基板は、前記基板の前記第1及び第2面間に延在する複数の孔を備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電アクチェータ。
- 前記孔の各々は、それぞれ、前記電荷分配要素の1つに対応していることを特徴とする請求項5に記載の圧電アクチェータ。
- 前記ヒューズ手段は、前記導体部材から直角に離れるように延在する複数の導体アームを備え、前記導体アームの各々は、それぞれ、前記電荷分配要素の1つに対応していることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の圧電アクチェータ。
- 前記ヒューズ手段は、前記孔の各々によって受けられる導体片をさらに備え、前記導体片は、前記導体アームの各々を、それぞれ、前記電荷分配要素の1つに電気的に接続するようにされていることを特徴とする請求項7に記載の圧電アクチェータ。
- 前記導体部材は、バスバーであることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の圧電アクチェータ。
- 複数の圧電素子を備える積層体を有する圧電アクチェータと共に用いられる分配電極であって、前記圧電素子の各々は、前記圧電素子によって互いから電気的に隔離された正電極と負電極の対を有するような分配電極において、
互いに対向する第1及び第2面と、前記第1面に配置された導体部材と、前記第2面に配置された複数の電荷分配要素とを有する絶縁基板を備え、
前記導体部材は、使用時に、電源に電気的に接続可能であり、前記電荷分配要素は、前記積層体の前記正及び負の内部電極に電気的に接続可能であり、前記分配電極は、前記導体部材と前記電荷分配要素の各々との間に電気的接続をもたらすヒューズ手段をさらに備えていることを特徴とする分配電極。 - 前記ヒューズ手段は、前記導体部材から直角に延在する複数の導体アームを備え、前記導体アームの各々は、前記電荷分配要素の1つに対応していることを特徴とする請求項10に記載の分配電極。
- 前記基板は、前記基板の前記第1面から前記第2面に延在する複数の孔を備え、前記孔の各々は、前記電荷分配要素の1つに対応していることを特徴とする請求項10または11に記載の分配電極。
- 前記ヒューズ手段は、前記孔の各々によって受けられる導体片をさらに備えていることを特徴とする請求項12に記載の分配電極。
- 前記導体片は、メタライズされたリングの形態にあることを特徴とする請求項13に記載の分配電極。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP04253390A EP1605527A1 (en) | 2004-06-07 | 2004-06-07 | Fused external electrode to a piezoelectric multilayer actuator and piezoelectric multilayer actuator incorporating the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006013486A true JP2006013486A (ja) | 2006-01-12 |
JP3831782B2 JP3831782B2 (ja) | 2006-10-11 |
Family
ID=34930381
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005166441A Expired - Fee Related JP3831782B2 (ja) | 2004-06-07 | 2005-06-07 | 圧電アクチェータ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7268473B2 (ja) |
EP (1) | EP1605527A1 (ja) |
JP (1) | JP3831782B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013077616A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電アクチュエータおよびその製造方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004057795B4 (de) * | 2004-11-30 | 2006-12-28 | Siemens Ag | Kontaktierung von Vielschicht-Piezoaktoren bzw. -sensoren |
DE102005046118A1 (de) * | 2005-09-27 | 2007-03-29 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor mit Schutzwiderstand |
DE102007004874A1 (de) * | 2006-10-02 | 2008-04-03 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor, bestehend aus übereinander gestapelten, elektrisch kontaktierten Piezoelementen |
DE102007010263B3 (de) * | 2007-03-02 | 2008-04-10 | Siemens Ag | Vorrichtung zum Betreiben eines Piezoaktuators |
US8258677B2 (en) * | 2008-07-31 | 2012-09-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoelectric component with directly structured external contacting, method for manufacturing the component and use of said component |
US10726719B1 (en) * | 2019-02-05 | 2020-07-28 | International Business Machines Corporation | Piezoelectric power generation for roadways |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61108182A (ja) * | 1984-11-01 | 1986-05-26 | Toshiba Corp | 積層形圧電素子装置とその使用方法 |
JPS62165380A (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-21 | Nec Corp | 積層圧電素子 |
US4652848A (en) * | 1986-06-06 | 1987-03-24 | Northern Telecom Limited | Fusible link |
US4680670A (en) * | 1986-09-29 | 1987-07-14 | Avx Corporation | Fail safe ceramic capacitor |
JPH04166641A (ja) * | 1990-10-31 | 1992-06-12 | Toyota Motor Corp | 燃料噴射弁用電歪式アクチュエータの駆動回路 |
JPH04367288A (ja) * | 1991-06-14 | 1992-12-18 | Nec Corp | 圧電アクチュエータ |
JPH05160459A (ja) * | 1991-12-09 | 1993-06-25 | Hitachi Metals Ltd | 積層型変位素子 |
DE10327902A1 (de) * | 2002-07-19 | 2004-06-24 | Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering | Außenelektrode an einem piezokeramischen Vielschichtaktor |
-
2004
- 2004-06-07 EP EP04253390A patent/EP1605527A1/en not_active Withdrawn
-
2005
- 2005-06-06 US US11/146,256 patent/US7268473B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-06-07 JP JP2005166441A patent/JP3831782B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013077616A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電アクチュエータおよびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050269914A1 (en) | 2005-12-08 |
US7268473B2 (en) | 2007-09-11 |
EP1605527A1 (en) | 2005-12-14 |
JP3831782B2 (ja) | 2006-10-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060524 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
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|
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
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