DE102005046118A1 - Piezoaktor mit Schutzwiderstand - Google Patents

Piezoaktor mit Schutzwiderstand Download PDF

Info

Publication number
DE102005046118A1
DE102005046118A1 DE102005046118A DE102005046118A DE102005046118A1 DE 102005046118 A1 DE102005046118 A1 DE 102005046118A1 DE 102005046118 A DE102005046118 A DE 102005046118A DE 102005046118 A DE102005046118 A DE 102005046118A DE 102005046118 A1 DE102005046118 A1 DE 102005046118A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
piezoelectric actuator
layer
electrode
electrodes
actuator according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102005046118A
Other languages
English (en)
Inventor
Thomas Pauer
Friedrich Boecking
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE102005046118A priority Critical patent/DE102005046118A1/de
Priority to US12/088,284 priority patent/US20100148628A1/en
Priority to PCT/EP2006/065325 priority patent/WO2007036392A1/de
Priority to EP06778246A priority patent/EP1932190A1/de
Priority to CN200680035694.6A priority patent/CN101273476A/zh
Publication of DE102005046118A1 publication Critical patent/DE102005046118A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/874Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices embedded within piezoelectric or electrostrictive material, e.g. via connections
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H10N30/503Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal or circular in top view
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/871Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)

Abstract

Piezoaktor mit einer Vielzahl von Piezolagen (3), zwischen denen jeweils eine Schichtelektrode (5; 6) angeordnet ist, wobei die Schichtelektroden (5; 6) abwechselnd mit jeweils einer Anschlusselektrode (8; 9; 8'; 9'; 8''; 9'') verbunden sind. Zwischen wenigstens einer Anschlusselektrode (8; 9; 8'; 9'; 8''; 9'') und den mit dieser Anschlusselektrode (8; 9; 8'; 9'; 8''; 9'') verbundenen Schichtelektroden (5; 6) ist ein Schutzwiderstand (16; 16'; 16'') vorgesehen (Fig. 2).

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor, wie er beispielsweise als Stelleinrichtung in Einspritzanlagen für Brennkraftmaschinen verwendbar ist.
  • Aus dem Stand der Technik sind keramische Piezoaktoren bekannt, bei denen der piezoelektrische Effekt zur Bewegung von Bauteilen ausgenutzt wird. So zeigt beispielsweise die Patentschrift DE 199 28 177 C2 einen Piezoaktor, der aus einem keramischen Piezokörper besteht. Der Piezokörper setzt sich zusammen aus einer Vielzahl von Piezolagen, zwischen denen jeweils eine Schichtelektrode angeordnet ist. Die Schichtelektroden sind hierbei wechselseitig mit einer Anschlusselektrode verbunden, so dass direkt benachbarte Schichtelektroden mit jeweils verschiedenen Anschlusselektroden verbunden sind. Wird eine elektrische Gleichspannung zwischen den beiden Anschlusselektroden angelegt, so entsteht zwischen den Schichtelektroden ein elektrisches Feld. Dies bewirkt, dass sich die Piezolagen in ihrer Dicke ändern, so dass sich insgesamt die Länge des Piezoaktors ändert. Dadurch kann der Piezoaktor je nach eingestellter Spannung als Stellglied, z.B. in Kraftstoffeinspritzanlagen, verwendet werden. Durch die Vielzahl von Schichtelektroden, die nur einen geringen Abstand aufweisen, kann ein sehr hohes elektrisches Feld angelegt werden, ohne dass eine übermäßig hohe elektrische Spannung verwendet werden muss. Dies erlaubt, mit einer relativ niedrigen Steuerspannung einen großen Hub des Piezoaktors zu bewirken.
  • Der geringe Abstand der Schichtelektroden voneinander, der meist im Bereich von 50 bis 100 μm liegt, stellt jedoch auch einen Schwachpunkt dieses Piezoaktor-Konzepts dar. Die Schichtelektroden bestehen aus einem Metall, beispielsweise Silber oder Silberpalladium, und dieses Metall weist eine gewisse Diffusions-Beweglichkeit innerhalb der keramischen Piezolagen auf. So kann es mit der Zeit vorkommen, dass sich zwischen zwei benachbarten Schichtelektroden durch Diffusion von metallischem Schichtelektrodenmaterial eine Leitungsbrücke entsteht und damit ein Kurzschluss zwischen den beiden Anschlusselektroden. Da die Anschlusselektroden normalerweise elektrisch gegeneinander isoliert sind, fließt jetzt ein sehr hoher Strom durch diese Leitungsbrücke, was einerseits einen Spannungsverlust bedeutet und andererseits zu einer starken Erwärmung in diesem Bereich führt. Diese Erwärmung führt zu einer Vergrößerung der Schädigung und kann letztendlich zu einer Zerstörung des Piezoaktors führen.
  • Vorteile der Erfindung
  • Der erfindungsgemäße Piezoaktor weist dem gegenüber den Vorteil auf, dass dieser auch beim Entstehen eines Kurzschlusses zwischen zwei Schichtelektroden nach wie vor arbeitet. Dies wird dadurch erreicht, dass zwischen wenigstens einer der Anschlusselektroden und den jeweiligen Schichtelektroden Schutzwiderstände vorgesehen sind. Diese sind so dimensioniert, dass dann, wenn eine Leitungsbrücke zwischen zwei Schichtelektroden entsteht, der jetzt fließende hohe Leckstrom den jeweiligen Schutzwiderstand durchschmelzen lässt. Dadurch wird die elektrische Verbindung zwischen der defekten Schichtelektrode und der betroffenen Anschlusselektrode unterbrochen, so dass die entsprechende Schichtelektrode nicht mehr mit der Anschlusselektrode verbunden ist und damit auch die dazwischen liegende Piezolage nicht mehr dem elektrischen Feld ausgesetzt ist, jedoch die restlichen Schichtelektroden nach wie vor funktionieren. Da bei Piezoaktoren, wie sie beispielsweise in Injektoren für direkteinspritzende Brennkraftmaschinen verwendet werden, einige hundert Piezolagen und damit auch Schichtelektroden vorgesehen sind, spielt dies für den Gesamthub des Piezoaktors praktisch keine Rolle, so dass dieser auch beim Ausfall einiger Schichten problemlos den Injektor steuern kann.
  • Durch die abhängigen Anspruche sind vorteilhafte Weiterbildungen des Gegenstandes der Erfindung möglich. In einer vorteilhaften Ausgestaltung ist der jeweilige Schutzwiderstand innerhalb der Schichtelektrode ausgebildet, so dass die Anschlusselektroden und die sonstige Geometrie des Piezoaktors nicht geändert werden muss. In vorteilhafter Wei se ist der Schutzwiderstand innerhalb der Schichtelektrode angeordnet und beispielsweise streifenförmig ausgebildet, wobei der Streifen relativ nahe an der Anschlusselektrode oder am Rand der Schichtelektrode zur Anschlusselektrode hin ausgebildet ist. Der Streifen besteht aus einem Material, das einen entsprechenden elektrischen Widerstand aufweist und so den Schutzwiderstand bildet. Es kann hierbei ein oder eine Mehrzahl von Streifen vorgesehen sein.
  • In vorteilhafter Weise kann der Schutzwiderstand durch eines körniges, piezoaktives Material gebildet werden, wobei die Körner mit einer Metallschicht überzogen sind. Die elektrische Leitung kommt innerhalb dieses körnigen, piezoaktiven Materials durch diese Metallbeschichtung zustande, wobei über die Schichtdicke der Metallschicht die Größe des Widerstands einstellbar ist. Übersteigt der Strom durch diesen Schutzwiderstand eine bestimmte Höhe, so schmilzt das Metall, mit dem die Körner beschichtet sind, und wird fließfähig, so dass der elektrische Widerstand letztendlich unterbrochen wird. Hierbei ist die Metallbeschichtung der Körner vorzugsweise aus demselben Material, aus dem auch die Schichtelektroden bestehen.
  • Der Schutzwiderstand innerhalb der Schichtelektrode kann auch durch Widerstandsbrücken gebildet werden, so dass in einem Streifen eine oder mehrere Widerstandsbrücken ausgebildet sind, die den Schutzwiderstand bilden. Über die Breite und Länge dieser Widerstandsbrücken kann ebenfalls der Schutzwiderstand eingestellt werden. Es ist auch möglich, die Schutzwiderstände dadurch zu bilden, dass zwischen den Anschlusselektroden und der Schichtelektrode metallische Widerstandsbrücken vorgesehen sind, deren Breite so gewählt wird, dass der elektrische Widerstand im gewünschten Bereich liegt. Eine solche Anordnung ist vor allem bei zylindrischen Piezoaktoren von Vorteil, bei denen die Anschlusselektroden im Inneren verlaufen. Hier können radial verlaufende, stegförmige Verbindungen zu den Schichtelektroden vorgesehen sein, die den Schutzwiderstand bilden.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung sind die Anschlusselektroden als wendelförmig gewundener Draht ausgeführt, welcher im Inneren des Piezoaktors eine Verbindung mit den Schichtelektroden herstellen. Hierbei kann der wendelförmig gewundene Draht einen solchen punktförmigen Kontakt zu den Schichtelektroden aufweisen, dass dadurch ein geeigneter Schutzwiderstand gebildet wird.
  • Zeichnung
  • In der Zeichnung sind verschiedene Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Piezoaktors dargestellt. Es zeigt
  • 1 einen Piezoaktor mit rechteckförmigem Querschnitt, wie aus dem Stand der Technik bekannt ist,
  • 2 ein Ersatzschaltbild für einen erfindungsgemäßen Piezoaktor, der entsprechende Schutzwiderstände aufweist,
  • 3a und 3b zeigen zwei benachbarte Schichtelektroden eines erfindungsgemäßen Piezoaktors mit rechteckförmigem Querschnitt,
  • 4a und 4b zeigen ebenfalls zwei benachbarte Schichtelektroden eines rechteckförmigen Piezoaktors, wobei die Schutzwiderstände hier verschieden ausgebildet sind,
  • 5 zeigt eine vergrößerte Darstellung eines Schutzwiderstands, wie er innerhalb der Schichtelektrode vorgesehen sein kann,
  • 6 ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem der Piezoaktor einen rechteckförmigen Querschnitt, jedoch zylindrischen Anschlusselektroden aufweist,
  • 7 einen Querschnitt durch einen Piezoaktor nach 6,
  • 8 einen zylindrischen Piezoaktor mit innen liegenden Anschlusselektroden,
  • 9a und 9b zeigen zwei Schichtelektroden des zylindrischen Piezoaktors nach 8,
  • 10 zeigt als weiteres Ausführungsbeispiel eine Schichtelektrode, wie sie in einem zylindrischen Piezoaktor verwendet werden kann,
  • 11 eine innen liegende Anschlusselektrode, wie sie in einem zylindrischen Piezoaktor verwendet werden kann,
  • 12 einen zylindrischen Piezoaktor mit zwei exemplarisch dargestellten Schichtelektroden und eine wendelförmige Anschlusselektrode, die für einen solchen Piezoaktor Verwendung findet,
  • 13 die wendelförmige Anschlusselektrode mit einer Beschichtung,
  • 14 einen Schnitt durch die Anschlusselektrode nach 13 entlang der Linie A-A und
  • 15 einen weiteren Querschnitt entsprechend der Darstellung nach 14, bei der entsprechende Schutzwiderstände vorgesehen sind.
  • Beschreibung der Ausführungsbeispiele
  • 1 zeigt einen Piezoaktor 1, wie er aus dem Stand der Technik bekannt ist und der einen rechteckförmigen Querschnitt aufweist, wobei die Kanten angeschrägt sind. Der Piezoaktor 1 weist eine Vielzahl von Piezolagen 3 auf, die aus einem piezoaktiven keramischen Material gefertigt sind. Zwischen den Piezolagen 3 ist jeweils eine metallische Schichtelektrode 5, 6 vorgesehen, wobei die jeweils benachbarten Schichtelektroden 5, 6 gegeneinander durch die dazwischen liegende Piezolagen 3 elektrisch isoliert sind. Eine Hälfte der Schichtelektroden 5 ist mit einer ersten Anschlusselektrode 8 verbunden, während die jeweils benachbarten Anschlusselektroden 6 mit einer zweiten Anschlusselektrode 9 verbunden sind. Die Anschlusselektroden 8, 9 sind hierbei auf die Oberfläche des Piezoaktors 1 aufgebracht und elektrisch leitend mit den jeweiligen Schichtelektroden 5, 6 verbunden. Die Anschlusselektroden 8, 9 weisen eine so große Flexibilität auf, dass trotz der Längenänderung des Piezoaktors l stets eine elektrische Verbindung zu den jeweiligen Schichtelektroden 5, 6 verbleibt. Die Anschlusselektroden 8, 9 sind mit elektrischen Anschlüssen 11, 12 verbunden, mit denen zwischen den Anschlusselektroden 8, 9 eine elektrische Spannung angelegt werden kann.
  • Durch das Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen den Anschlusselektroden 8, 9 entsteht ein elektrisches Feld zwischen den Schichtelektroden 5, 6, das die Piezolagen 3 durchsetzt. Je nach Höhe der elektrischen Spannung und damit des elektrischen Feldes, ändert sich die Dicke der Piezolagen 3 und damit die gesamte Länge des Piezoaktors 1. Dies erlaubt, mit dem Piezoaktor 1 sehr schnell und auch sehr präzise ein entsprechendes Stellglied zu bewegen.
  • Die Schichtelektroden 5, 6 bestehen aus einem Metall, z.B. Silber oder Silberpalladium, wobei dieses Metall eine gewisse Beweglichkeit innerhalb der Keramik aufweist, aus denen die Piezolagen 3 bestehen. Insbesondere bei längerem Betrieb des Piezoaktors 1 kann dies dazu führen, dass sich Metall aus den Schichtelektroden 5, 6 löst und eine Leitungsbrücke l4 zwischen zwei benachbarten Schichtelektroden 5, 6 bildet. Eine solche Leitungsbrücke 14 führt zu einem Kurzschluss zwischen zwei benachbarten Schichtelektroden 5, 6, so dass jetzt ein entsprechend hoher Strom durch die Leitungsbrücke 14 fließt. Dies führt lokal zu einer starken Erwärmung des Piezoaktors 1 und damit zu einem Aufschmelzen der metallischen Schichtelektroden 5, 6, was letztendlich zu einer Zerstörung des Piezoaktors 1 führt.
  • Um diese Zerstörung des Piezoaktors 1 abzuwenden, ist erfindungsgemäß vorgesehen, Schutzwiderstände 16 zwischen der Anschlusselektrode 5, 6 und der Piezolage 3 anzuordnen, die als Schmelzsicherung dienen. 2 zeigt hierzu ein Ersatzschaltbild, bei dem die Schichtelektroden 5, 6 und die Anschlusselektroden 8, 9 gezeigt sind. Zwischen der Anschlusselektrode 9 und den Schichtelektroden 6 ist jeweils ein Schutzwiderstand 16 vorgesehen, der so dimensioniert ist, dass er einerseits den Strom begrenzt, wenn zwischen zwei Schichtelektroden 5, 6 eine Leitungsbrücke 14 entsteht, andererseits bei anhaltend hohem Strom durch die Leitungsbrücke 14 durchschmilzt und so den elektrischen Kontakt zwischen der defekten Schichtelektrode 6 und der Anschlusselektrode 9 unterbricht. Dadurch wird auch die elektrische Verbindung zwischen der Leitungsbrücke 14 und der Anschlusselektrode 9 unterbrochen, so dass die defekten Schichtelektroden 5, 6 nicht mehr mit der Spannungsversorgung verbunden sind. Die dazwischen liegende Piezolage 3 weist aufgrund des fehlenden elektrischen Feldes keine Dickenänderung mehr auf, jedoch ist bei typischerweise 200 Piezolagen 3 der Ausfall einzelner Piezolagen für die Gesamtfunktion des Piezoaktors 1 ohne nennenswerte Bedeutung.
  • 3a zeigt eine erfindungsgemäße Schichtelektrode 6, in der der Schutzwiderstand 16 als Streifen innerhalb der Schichtelektrode 6 ausgebildet ist. 3b zeigt die benachbarte Schichtelektrode 5, die direkt ohne einen Schutzwiderstand mit der Anschlusselektrode 8 verbunden ist. Da der Schutzwiderstand 16 hier direkt in die Schichtelektrode 6 integriert ist, ergibt sich keine Änderung des Piezoaktors 1 hinsichtlich seiner geometrischen Abmessungen, so dass sowohl die Anschlusselektroden 8, 9 als auch die Einbauverhältnisse nicht geändert werden müssen.
  • 4a zeigt eine alternative Ausgestaltung der Schichtelektrode 6 mit Schutzwiderständen 16, die hier durch Widerstandsbrücken 116 gebildet werden. Diese bestehen nach wie vor aus dem körnigen piezoaktiven Material, wobei hier der Vorteil besteht, dass über die Breite der Widerstandsbrücken 116 eine zusätzliche Dimensionierungsmöglichkeit für dem Schutzwiderstand besteht. 4b zeigt in einer alternativen Ausgestaltung der Schichtelektrode nach 3a einen Schutzwiderstand 16, der hier am Rand der Schichtelektrode 6 ausgebildet ist, direkt mit der Anschlusselektrode 9 verbunden ist. Die Wirkungsweise des Schutzwiderstandes 16 ist hier jedoch identisch zu dem Schutzwiderstand, wie er in 3 gezeigt ist.
  • Der Schutzwiderstand 16, der als Streifen in der Schichtelektrode 6 vorgesehen ist, kann beispielsweise durch körniges piezoaktives Material gebildet werden, wie es 5 in einer Vergrößerung zeigt. Die einzelnen Körner 18 sind mit einer Metallbeschichtung 20 versehen, die den elektrisch leitenden Pfad innerhalb der Schichtelektrode 6 bildet. Kommt es jetzt zu einem übermäßig hohen Strom durch diese Metallbeschichtung 20, so schmilzt dieser auf und das Metall bewegt sich innerhalb des Schutzwiderstandes 16 so, dass dieser nach einer gewissen Zeit die Schichtelektrode 6 von der Anschlusselektrode 9 trennt.
  • 6 zeigt einen weiteren Piezoaktor 1, der ebenfalls einen rechteckförmigen Querschnitt aufweist. Die Anschlusselektroden 8', 9' sind hier als Metallröhrchen ausgebildet, die in eine halbkreisförmige Ausnehmung in den Piezoaktor 1 hineinragen. 7 zeigt einen Querschnitt durch den Piezoaktor nach 6, wobei eine Schichtelektrode 6 dargestellt ist. Die Anschlusselektrode 9' ist über Schutzwiderstände 16' mit der Schichtelektrode 6 verbunden, die durch stegförmige Verbindungen gebildet werden. Je nach Anzahl und Breite der die Schutzwiderstände 16' bildenden stegförmigen Verbindungen ergibt sich ein mehr oder weniger großer Schutzwiderstand zwischen der Anschlusselektrode 9' und der Schichtelektrode 6. Die Schichtelektrode 6 ist hier von der zweiten Anschlusselektrode 8' elektrisch getrennt, während die darüber bzw. darunter liegende Schichtelektrode 5 mit der Anschlusselektrode 8' in der bekannten Weise verbunden ist.
  • 8 zeigt einen Piezoaktor 1, der einen kreisförmigen Querschnitt aufweist. Im Piezoaktor 1 sind zwei Bohrungen 17, 19 ausgebildet, in denen jeweils eine Anschlusselektrode 82', 9'' angeordnet ist. Diese sind in bekannter Weise abwechselnd mit den Schichtelektroden 5, 6 verbunden, wobei der Schutzwiderstand 16'' hier dadurch gebildet ist, dass die Anschlusselektrode 9'' von einem Material mit einem entsprechenden elektrischen Widerstand umhüllt ist, durch das letztendlich der elektrische Kontakt zwischen der Anschlusselektrode 9'' und den Schichtelektroden 5 zustande kommt. 9a zeigt hierzu eine Schichtelektrode 6, die mit der Anschlusselektrode 9'' verbunden ist. Die Schichtelektrode 6 weist zwei Ausnehmungen 22, 23 auf, so dass keine elektrische Verbindung zwischen der Anschlusselektrode 8'' und der Schichtelektrode 6 entsteht. Durch das Material, das die Anschlusselektrode 9'' umgibt, wird ein Schutzwiderstand 16'' gebildet, über den die Schichtelektrode 6 mit der Anschlusselektrode 9'' verbinden ist. Das Material, das die Anschlusselektrode 9'' umgibt, kann beispielsweise ebenfalls eine Körnung aus metallbeschichteten Keramikkörnern sein, wie sie in 5 dargestellt ist. Es sind jedoch auch andere Materialien denkbar, die einen entsprechend hohen spezifischen Widerstand aufweisen.
  • 9b zeigt die darüber bzw. darunter liegende Schichtelektrode 5, die mit der Anschlusselektrode 8'' verbunden ist. Durch eine entsprechend groß dimensionierte Ausnehmung 23' ist diese nicht mit der Anschlusselektrode 9'' verbunden.
  • 10 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Schichtelektrode 6, wie sie in einem runden Piezoaktor vorgesehen sein kann. Der Schutzwiderstand 16' wird hier durch Widerstandsbrücken gebildet, die innerhalb der Schichtelektrode 6 vorgesehen sind und über die die elektrische Verbindung zur Anschlusselektrode 9'' gebildet ist. In diesem Fall entfällt die Umhüllung der Anschlusselektroden 9''. Die entsprechend darüber oder darunter liegende Schichtelektrode 5 ist mit der Anschlusselektrode 8'' verbunden und gegen die Anschlusselektrode 9'' isoliert.
  • 11 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem der Schutzwiderstand in die Anschlusselektroden 9'' integriert ist. Die Anschlusselektrode 9'' besteht hier aus einem metallischen Rohr 109, das von einer Metallbeschichtung 25 umgeben ist, welche radial nach außen weisende, stegartige Ausstülpungen aufweist, die den Schutzwiderstand 16' bilden. Zwischen den Schutzwiderständen 16' ist elektrisch isolierendes, vorzugsweise keramisches Material 27 vorgesehen, so dass das metallische Rohr 109 letztendlich über die Schutzwiderständen 16' mit der jeweiligen Schichtelektrode 5, 6 verbunden ist. Der kreisrunde Piezoaktor 1 kann hierbei also in der bekannten Art und Weise aufgebaut und mit den Anschlusselektroden 8, 9 verbunden werden, wobei lediglich eine der Anschlusselektroden durch eine Anschlusselektrode 9'' nach 11 ersetzt werden muss.
  • 12 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Piezoaktors 1 mit kreisrundem Querschnitt. Der Piezoaktor 1 weist zwei Bohrungen 17, 19 auf, die die Anschlusselektroden aufnehmen. Exemplarisch sind hier zwei Schichtelektroden 5, 6 dargestellt, die in bekannter Weise abwechselnd bis zur Wand der Bohrungen l7, 19 durchgezogen und so an dieser Stelle kontaktierbar sind. In die Bohrungen 17, 19 wird eine Federelektrode 30 eingebracht, die aus einem wendelförmig aufgewickelten Draht besteht. Um die Übergangswiderstände 16 zu bilden, wird die wendelförmige Federelektrode 30 mit einer Keramikschicht 32 überzogen, wie in 13 dargestellt. Im Querschnitt, wie er in 14 dargestellt ist, sieht man den Keramiküberzug 32, der allseitig die wendelförmige Fe derelektrode 30 umgibt. Um einen entsprechenden Übergangswiderstand, der als Schutzwiderstand 16 dient, zu bilden, wird der Keramiküberzug 32 mit einem flächenhaften Anschliff 34 abgetragen, so dass eine blanke Stelle der Breite D entsteht, wie in 15 dargestellt. Dadurch berührt die wendelförmige Federelektrode 30 die jeweiligen Schichtelektroden 5, 6 punktförmig, was bei entsprechender Dimensionierung einen Übergangswiderstand produziert, der als Schutzwiderstand 16 dient.
  • Die Schutzwiderstände 16 sollten vorzugsweise so dimensioniert sein, dass sie sich bei einem überhöhten Strom entsprechend erhitzen und Durchschmelzen, noch ehe der Strom, der bei einem Kurzschluss zwischen zwei Schichtelektroden 5, 6 fließt, zu einer Zerstörung des Piezoaktors 1 führt. Neben der Ausführung der Schutzwiderstände 16 innerhalb der Schichtelektroden 5, 6 durch eine gekörnte Keramikmasse, die metallisch überzogen ist, ist es beispielsweise auch möglich, die Schichtelektrode 5, 6 entsprechend in einem Bereich zu dotieren, um dort einen entsprechenden elektrischen Widerstand zu erhalten.

Claims (13)

  1. Piezoaktor mit einer Vielzahl von Piezolagen (3), zwischen denen jeweils eine Schichtelektrode (5; 6) angeordnet ist, wobei die Schichtelektroden (5; 6) abwechselnd mit jeweils einer Anschlusselektrode (8; 9; 8'; 9'; 8''; 9'') verbunden sind, da durch gekennzeichnet, dass zwischen wenigstens einer Anschlusselektrode (8; 9; 8'; 9'; 8''; 9'') und den mit dieser Anschlusselektrode (8; 9; 8'; 9'; 8''; 9'') verbundenen Schichtelektroden (5; 6) Schutzwiderstände (16; 16'; 16'') vorgesehen sind.
  2. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtelektroden (5; 6) durch eine Metallschicht zwischen jeweils zwei Piezolagen (3) gebildet wird.
  3. Piezoaktor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzwiderstand (16; 16'; 16'') innerhalb der Schichtelektrode (3) angeordnet ist.
  4. Piezoaktor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzwiderstand (16; 16'; 16'') wenigstens einen Streifen innerhalb der Schichtelektrode (3) bildet.
  5. Piezoaktor nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzwiderstand (16; 16'; 16'') durch körniges, piezoaktives Material gebildet wird, wobei die Körner mit einer Metallbeschichtung überzogen sind.
  6. Piezoaktor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallbeschichtung der Körner aus demselben Material besteht wie die metallischen Schichtelektroden (3).
  7. Piezoaktor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzwiderstand (16; 16'; 16'') durch ein oder mehrere Widerstandsbrücken (16') gebildet wird.
  8. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die metallischen Anschlusselektroden (8'; 9'; 8''; 9'') stabförmig ausgebildet sind.
  9. Piezoaktor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Anschlusselektrode (8'; 9'; 8''; 9'') durch im wesentlichen radial verlaufende, stegförmige Verbindungen mit den zugeordneten Schichtelektroden (5; 6) verbunden ist, wobei die stegförmigen Verbindungen die Schutzwiderstände (16; 16'; 16'') bilden.
  10. Piezoaktor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Anschlusselektrode (8'; 9'; 8''; 9'') im Inneren des Piezoaktors (1) verläuft.
  11. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Piezoaktor (1) wenigstens eine Federelektrode (30) als Anschlusselektrode aufweist, die als wendelförmig gewundener Draht ausgeführt ist und im Inneren des Piezoaktors (1) in einer Aufnahmebohrung (17; 19) angeordnet sind.
  12. Piezoaktor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzwiderstände (16) durch den punktförmigen Kontakt zwischen der Federelektrode (30) und den Schichtelektroden (5; 6) gebildet wird.
  13. Piezoaktor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzwiderstände (16; 16'; 16'') bei Überschreiten eines höchstzulässigen Stroms soweit erwärmt werden, dass sie durchschmelzen und dadurch den Stromfluss unterbrechen.
DE102005046118A 2005-09-27 2005-09-27 Piezoaktor mit Schutzwiderstand Withdrawn DE102005046118A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005046118A DE102005046118A1 (de) 2005-09-27 2005-09-27 Piezoaktor mit Schutzwiderstand
US12/088,284 US20100148628A1 (en) 2005-09-27 2006-08-15 Piezo actuator with protective resistor
PCT/EP2006/065325 WO2007036392A1 (de) 2005-09-27 2006-08-15 Piezoaktor mit schutzwiderstand
EP06778246A EP1932190A1 (de) 2005-09-27 2006-08-15 Piezoaktor mit schutzwiderstand
CN200680035694.6A CN101273476A (zh) 2005-09-27 2006-08-15 具有保护电阻的压电执行元件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005046118A DE102005046118A1 (de) 2005-09-27 2005-09-27 Piezoaktor mit Schutzwiderstand

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102005046118A1 true DE102005046118A1 (de) 2007-03-29

Family

ID=37401086

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102005046118A Withdrawn DE102005046118A1 (de) 2005-09-27 2005-09-27 Piezoaktor mit Schutzwiderstand

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20100148628A1 (de)
EP (1) EP1932190A1 (de)
CN (1) CN101273476A (de)
DE (1) DE102005046118A1 (de)
WO (1) WO2007036392A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008031641A1 (de) * 2008-07-04 2010-01-14 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
EP2755248A3 (de) * 2013-01-10 2017-09-13 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauteils

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007004874A1 (de) * 2006-10-02 2008-04-03 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor, bestehend aus übereinander gestapelten, elektrisch kontaktierten Piezoelementen
US8084614B2 (en) * 2007-04-06 2011-12-27 Neurocrine Biosciences, Inc. Gonadotropin-releasing hormone receptor antagonists and methods relating thereto
US8573750B2 (en) * 2008-10-30 2013-11-05 Fujifilm Corporation Short circuit protection for inkjet printhead

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61108182A (ja) * 1984-11-01 1986-05-26 Toshiba Corp 積層形圧電素子装置とその使用方法
US4803763A (en) * 1986-08-28 1989-02-14 Nippon Soken, Inc. Method of making a laminated piezoelectric transducer
DE4228297A1 (de) * 1992-08-26 1994-03-03 Siemens Ag Veränderbarer Hochstromwiderstand, insbes. zur Anwendung als Schutzelement in der Leistungsschalttechnik, und Schaltung unter Verwendung des Hochstromwiderstandes
JP2003086852A (ja) * 2001-09-14 2003-03-20 Toyota Motor Corp 圧電素子およびその製造方法
JP4554232B2 (ja) * 2004-02-17 2010-09-29 株式会社デンソー 圧電スタック及び圧電スタックの製造方法
EP1605527A1 (de) * 2004-06-07 2005-12-14 Delphi Technologies, Inc. Gesicherte aussenelektrode zu einem piezoelektrischen Vielschichtaktor und piezoelektrischer Vielschichtaktor mit demselben

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008031641A1 (de) * 2008-07-04 2010-01-14 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
DE102008031641B4 (de) * 2008-07-04 2017-11-09 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
EP2755248A3 (de) * 2013-01-10 2017-09-13 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauteils

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007036392A1 (de) 2007-04-05
US20100148628A1 (en) 2010-06-17
EP1932190A1 (de) 2008-06-18
CN101273476A (zh) 2008-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19931056B4 (de) Vielschichtvaristor niedriger Kapazität
EP2791482B1 (de) Stützstift für einen elektrisch beheizbaren wabenkörper
EP2614508A2 (de) Widerstandsbauelement und verfahren zur herstellung eines widerstandsbauelements
DE102016209012A1 (de) Heizeinrichtung
DE102005046118A1 (de) Piezoaktor mit Schutzwiderstand
EP1537610B1 (de) Piezoelektrischer aktor
DE102020215523B4 (de) Elektrodenanordnung, Ionisationsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Elektrodenanordnung
EP2043170A2 (de) Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
EP2456970A1 (de) Piezoaktor mit elektrischer kontaktierung
WO2014139696A1 (de) Elektronisches bauelement
EP2831967B1 (de) Überspannungsableiter
EP1332522B1 (de) Piezoaktor
DE102010021155B4 (de) Überspannungsableiter
DE3731967A1 (de) Spannungsmultipliziervaristor
DE10235011A1 (de) Elektrisches Vielschichtbauelement
DE2827456C2 (de) Gekapselte Blitzschutzvorrichtung
DE102005057950B4 (de) Piezoaktor mit Ableitwiderstand
EP2529422B1 (de) Piezoaktor mit einem mehrlagenaufbau von piezolagen
DE102018213789B4 (de) Stützvorrichtung und Überspannungsableiter
DE1640167A1 (de) Niederohmiger Widerstandsregler zur kontinuierlichen Regelung des elektrischen Stromes
DE102020127483A1 (de) Gassensor
EP1376624B1 (de) Elektrisches Bauelement mit Isolationszone
EP1714329A1 (de) Piezoaktor mit mindestens einem paar innenelektroden
DE102005033085A1 (de) Piezoaktor
EP1154442B1 (de) Variabler Widerstand und damit versehener Spannungsteiler, Leiterplatte und zahnärztliches Gerät

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee