DE102005057950B4 - Piezoaktor mit Ableitwiderstand - Google Patents

Piezoaktor mit Ableitwiderstand Download PDF

Info

Publication number
DE102005057950B4
DE102005057950B4 DE102005057950.7A DE102005057950A DE102005057950B4 DE 102005057950 B4 DE102005057950 B4 DE 102005057950B4 DE 102005057950 A DE102005057950 A DE 102005057950A DE 102005057950 B4 DE102005057950 B4 DE 102005057950B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layer
piezo actuator
electrodes
connection
electrical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE102005057950.7A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102005057950A1 (de
Inventor
Holger Rapp
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE102005057950.7A priority Critical patent/DE102005057950B4/de
Publication of DE102005057950A1 publication Critical patent/DE102005057950A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102005057950B4 publication Critical patent/DE102005057950B4/de
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/88Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • H10N30/883Further insulation means against electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure

Abstract

Piezoaktor mit einer Vielzahl von piezoaktiven Schichten (1; 1'), zwischen denen jeweils eine Schichtelektrode (4) angeordnet ist, wobei die Schichtelektroden (4) wechselseitig an die Oberfläche (6; 8; 9) des Piezoaktors geführt sind und dort mit einer ersten Anschlusselektrode (3) oder einer zweiten Anschlusselektrode (3') kontaktiert sind, so dass durch Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen den Anschlusselektroden (3; 3') eine elektrische Spannung zwischen jeweils zwei benachbarten Schichtelektroden (4) anlegbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Piezoaktor zumindest auf einem Teil seiner Oberfläche (6; 8; 9) mit einer Lackschicht (12) überzogen ist, die schwach elektrisch leitend ist, so, dass über die Lackschicht (12) eine hochohmige Verbindung zwischen den Anschlusselektroden (3; 3') hergestellt wird, wobei die Lackschicht (12) die Mantelfläche (6) nur teilweise bedeckt und zumindest mit einem Teil der Schichtelektroden (4) direkt in elektrischem Kontakt steht, ohne die Anschlusselektroden (3; 3') direkt miteinander zu verbinden, so dass eine elektrische Verbindung zwischen den Anschlusselektroden (3; 3') über die Schichtelektroden (4) zustande kommt.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor, wie er beispielsweise als Steller oder Sensor in Kraftstoffeinspritzsystemen verwendet werden kann.
  • Stand der Technik
  • Heute übliche Piezoaktoren, wie sie vorzugsweise zur Steuerung oder als Sensor in Kraftstoffeinspritzsystemen verwendet werden, sind als sogenannte Multilayer- oder Mehrschichtaktoren aufgebaut. Diese bestehen aus einer Vielzahl von Piezokeramikschichten mit einer definierten Dicke, zwischen denen jeweils eine metallische Schichtelektrode angeordnet ist. Die Schichtelektroden sind wechselseitig an die Oberfläche des Piezoaktors geführt und dort mit einer Außenelektrode kontaktiert. Dabei wechseln sich jeweils eine Plus- und eine Minus-Schichtelektrode ab, wobei zwei benachbarte Schichtelektroden eine Piezokeramikschicht definierter Dicke einschließen. Da es sich bei einem solchen Piezoaktor bezüglich seiner elektrischen Eigenschaften um ein kapazitives Bauteil handelt, verfügt dieser über die Fähigkeit, Ladungen auf seinen Schichtelektroden zu speichern und kann folglich eine elektrische Spannung zwischen den Schichtelektroden über einen längeren Zeitraum aufrecht erhalten. Über Kriechströme verfügt ein solche Piezoaktor natürlich über eine gewisse Selbstentladung, diese ist aber quantitativ nicht näher spezifiziert und in vielen Fällen äußerst gering.
  • Der Piezoaktor wird von einem geeigneten Steuergerät mit einer Spannung beaufschlagt, damit über den dadurch bewirkten Hub des Piezoaktors eine Steuerung des Einspritzventils oder der sonstigen Einspritzeinrichtung vorgenommen werden kann. Fällt das Steuergerät aus oder wird plötzlich die Verbindung des Steuergeräts zum Piezoaktor unterbrochen, bleibt der Piezoaktor geladen. Damit sich ein geladener Piezoaktor in einem definierten Zeitintervall sicher entlädt, wird dem Aktor derzeit ein sogenannter Ableitwiderstand parallel geschaltet. Dabei handelt es sich um ein separates Bauelement, welches außerhalb des Aktors, aber meist innerhalb des Injektors parallel zu den Anschlusselektroden des Aktors geschaltet wird. Ein typischer Widerstandswert für diesen Ableitwiderstand beträgt 180 kΩ. Bei einer Aktorkapazität von ca. 4,5 µF ergibt sich daraus eine Entladezeitkonstante des Aktors von etwa 0,8 s.
  • Aus der Offenlegungsschrift DE 101 47 666 A1 ist ein Piezoaktor bekannt, bei dem der Ableitwiderstand in den Piezoaktor integriert ist. Dazu wird zumindest eine Schichtelektrode hochohmig ausgebildet und mit beiden Anschlusselektroden verbunden. Bei einer entsprechenden Dimensionierung des Widerstands kann diese Schichtelektrode den externen Ableitwiderstand ersetzen.
  • Da der Piezoaktor beim Betreiben in sehr kurzen Zeitabständen geladen und wieder entladen wird, trägt der parallel geschaltete, hochohmige Ableitwiderstand bei der regulären Funktion des Aktors nichts zur Funktion bei. Aufgrund der notwendigen Verbindungs- und Isoliertechnik verursacht der Ableitwiderstand aber Kosten, die deutlich höher als die eigentlichen Bauteilkosten des Ableitwiderstands liegen. Außerdem muss auch die Qualität der elektrischen Verbindung sowie deren sichere Isolation nach außen überwacht werden, was ebenfalls Kosten verursacht. Wird der Ableitwiderstand hingegen einfach weggelassen, so bleibt die Spannung des Piezoaktors unter Umständen über längere Zeiträume erhalten und kann sich beispielsweise bei der Montage oder Demontage des Piezoinjektors unkontrolliert entladen.
  • Die Schichtelektroden des Piezoaktors sind flach ausgebildet, sodass sich zwischen zwei benachbarten Schichtelektroden jeweils ein nahezu homogenes elektrisches Feld ausbildet, welches die Dehnung der Keramik letztendlich bewirkt. Die Feldstärke dieses homogenen Felds zwischen zwei Schichtelektroden ergibt sich als der Quotient aus der zwischen den Schichtelektroden angelegten Spannung und dem Abstand zwischen zwei benachbarten Schichtelektroden, also der Schichtdicke der Keramik. Zum Schutz vor Verschmutzung und Beschädigung bei der Handhabung ist ein solcher Aktor an seinen Mantelflächen mit einer isolierenden Lackschicht versehen, was jedoch zu Problemen führen kann. Da sowohl der Lack als auch die Keramik bezüglich ihrer elektrischen Eigenschaften Isolatoren darstellen, können sich über einen längeren Zeitraum hinweg Oberflächenladungen auf der Oberfläche der Keramik oder des Lacks bilden, die dort weitgehend ortsfest bleiben. Dieses Feld, das innerhalb des Aktors zu einem inhomogenen elektrischen Feld führt, überlagert sich nun mit dem homogenen elektrischen Feld, das zwischen den Schichtelektroden durch die angelegte Spannung erzeugt wird, wodurch sich lokal eine nennenswerte Erhöhung der Feldstärke ergeben kann, die deutlich höher liegt als sie oben erwähnte Stärke des homogenen Felds. Da der Aktor zur Erreichung eines maximalen Hubs mit einer Spannung versorgt wird, die zu einem elektrischen Feld führt, das nahe der Überschlagsfeldstärke liegt, ergibt sich durch eine lokale Feldstärkeüberhöhung zum einen eine erhöhte mechanische Belastung des Aktors an dieser Stelle, zum anderen ein stark überhöhtes Risiko von elektrischen Überschlägen, die schließlich zu einem Totalausfall des Piezoaktors führen können.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Der erfindungsgemäße Piezoaktor mit den kennzeichnenden Merkmalen des Patentanspruchs 1 weist dem gegenüber den Vorteil auf, dass eine definierte Selbstentladung des Aktors sichergestellt ist, ohne dass ein Ableitwiderstand als separates Bauteil benötigt wird. Darüber hinaus weist der Piezoaktor den Vorteil auf, dass die beschriebenen Oberflächenladungen nicht auftreten und somit die damit verbundenen Nachteile nicht auftreten. Hierzu ist der Piezoaktor zumindest auf einem Teil seiner Oberfläche mit einer Lackschicht überzogen, die schwach elektrisch leitend ist und die in elektrischem Kontakt mit den beiden Anschlusselektroden steht, sodass eine hochohmige Verbindung zwischen den Anschlusselektroden hergestellt wird. Wird der spezifische Widerstand dieser Lackschicht entsprechend gewählt, ergibt sich eine definierte Entladung des Piezoaktors für den Fall, dass die Verbindung zum Steuergerät unterbrochen wird oder das Steuergerät ausfällt. Zum anderen werden Oberflächenladungen, die sich auf der Oberfläche des Piezoaktors oder des Lacks bilden können, durch die hochohmige, elektrisch leitende Lackschicht abgeführt.
  • Durch die abhängigen Ansprüche sind vorteilhafte Weiterbildungen des Gegenstands der Erfindung möglich. Neben der Entladung des Piezoaktors über die Anschlusselektroden, die wiederum in elektrischem Kontakt mit der Lackschicht stehen, ist es auch möglich, dass die Lackschicht direkt mit den Schichtelektroden elektrisch zu verbinden. Dadurch bleibt die elektrische Entladung sichergestellt, auch dann, wenn sich die Anschlusselektrode beispielsweise gelöst haben sollte. Als besonders vorteilhaft hat sich ein spezifischer Widerstand der Lackschicht von 105 bis 107 Ω·m herausgestellt, vorzugsweise etwa 106 Ω·m.
  • Zur Vermeidung von Oberflächenladungen ist es besonders vorteilhaft, wenn der gesamte Piezoaktor mit einer solchen Lackschicht bedeckt ist, die auch die Stirnfläche des Piezoaktors bedeckt. Somit kann an keiner Stelle der Oberfläche eine entsprechende Ladung entstehen.
  • Als besonders vorteilhaft hat sich eine Lackschichtdicke von weniger als 0,2 mm erwiesen, vorzugsweise 0,05 - 0,1 mm, da diese in der Regel ausreichend flexibel ist, um die Längenänderung des Piezoaktors mitzumachen, ohne dass Risse in der Lackschicht die Funktion als Ableitwiderstand beeinträchtigen.
  • Zeichnung
  • In der Zeichnung ist ein erfindungsgemäßer Piezoaktor dargestellt. Es zeigen:
    • 1 einen Piezoaktor mit den entsprechenden Anschlusselektroden, wie er aus dem Stand der Technik bekannt ist,
    • 2 einen erfindungsgemäßen Piezoaktor und
    • 3 denselben Aktor wie in 2 in einer Draufsicht.
  • Beschreibung des Ausführungsbeispiels
  • In 1 ist ein Piezoaktor mit den entsprechenden elektrischen Anschlüssen dargestellt, wie er aus dem Stand der Technik bekannt ist. Der Piezoaktor weist eine Reihe von Aktorschichten 1 auf, zwischen denen jeweils eine Schichtelektrode 4, 4' angeordnet ist. Die Schichtelektroden 4, 4' sind dabei wechselseitig an die Oberfläche des Piezoaktors geführt und dort mit jeweils einer Anschlusselektrode 3, 3' elektrisch verbunden. Dadurch lässt sich eine elektrische Spannung zwischen den Schichtelektroden 4, 4' über eine elektrische Spannung anlegen, die zwischen den Anschlusselektroden 3, 3' angelegt wird. Die Anschlusselektroden 3, 3' sind ihrerseits elektrischen Leitungen 5, 5' verbunden, die bis zu elektrischen Anschlüssen 7, 7' führen, die letztendlich mit einer entsprechenden Spannungsquelle, in einer Brennkraftmaschine vorzugsweise dem Steuergerät, verbunden sind. Zwischen den elektrischen Leitungen 5, 5' ist ein Ableitwiderstand 10 angeordnet, der eine hochohmige Verbindung parallel zum Piezoaktor zwischen den elektrischen Anschlüssen 7, 7' bzw. den elektrischen Leitungen 5, 5' herstellt. Ist das Steuergerät abgeschaltet oder ist die elektrische Verbindung zwischen den elektrischen Anschlüssen 7, 7' und der Spannungsquelle unterbrochen, so findet eine elektrische Entladung des Piezoaktors, der durch die Vielzahl von parallelen elektrisch leitenden Schichtelektroden 4, 4' eine Kapazität darstellt, über den Ableitwiderstand 10 statt in einer definierten Zeit statt.
  • Der Piezoaktor weist einen im wesentlichen quadratischen Querschnitt auf und weist darüber hinaus eine erste Stirnfläche 8 und eine zweite Stirnfläche 9 auf, zwischen denen durch das Anlegen der elektrischen Spannung zwischen den Schichtelektroden 4,4' eine Längenänderung stattfindet, sodass der Piezoaktor als Aktor oder als Sensor verwendbar ist, beispielsweise für den Einsatz in einer Einspritzanlage für selbstzündende Brennkraftmaschinen. Die vier Seitenflächen des Piezoaktors bilden eine Mantelfläche 6, die bei den bekannten Piezoaktoren mit einem elektrisch nicht leitfähigen Lack überzogen ist, um eine elektrische Isolierung nach außen zu erreichen.
  • 2 zeigt einen erfindungsgemäßen Piezoaktor, der sich von dem in 1 dargestellten Piezoaktor dadurch unterscheidet, dass zumindest ein Teil der Mantelfläche 6 mit einer elektrisch schwach leitenden Lackschicht 12 beschichtet ist. Die Lackschicht 12 steht in elektrischem Kontakt mit den Anschlusselektroden 3, 3', sodass eine hochohmige Verbindung zwischen den Anschlusselektroden 3, 3' zustande kommt. 3 zeigt hierzu eine Draufsicht des Piezoaktors nach 2, wobei die Lackschicht 12 zur Verdeutlichung übertrieben dick dargestellt ist.
  • Die Lackschicht 12 bedeckt vorzugsweise die gesamte Mantelfläche 6 und insbesondere die Anschlusselektroden 3, 3', sodass die hochohmige Verbindung über die gesamte Mantelfläche des Piezoaktors zustande kommt. Es kann jedoch auch vorgesehen sein, dass nur ein Teil der Mantelfläche 6 von der elektrisch leitfähigen Lackschicht bedeckt ist aber jedenfalls so viel, dass ein elektrischer Kontakt zwischen den Anschlusselektroden 3, 3' zustande kommt.
  • Ebenfalls kann es vorgesehen sein, dass die Lackschicht 12 die Mantelfläche 6 nur teilweise bedeckt, ohne dabei die Anschlusselektroden 3, 3' direkt miteinander zu verbinden. Die Lackschicht 12 verbindet in diesem Fall vielmehr die Anschlusselektroden 3, 3' jeweils mit wenigstens einer Schichtelektrode 4, 4', über die die elektrische Verbindung zwischen den Anschlusselektroden 3, 3' schließlich zustande kommt.
  • Es kann auch vorgesehen sein, dass die Lackschicht 12 neben der Mantelfläche 6 auch die Stirnflächen 8, 9 oder Teile davon bedeckt, um eine allseitige Isolierung des Piezoaktors zu erreichen. Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn Oberflächenladungen, die sich auf der Keramik bilden, abgeleitet werden sollen, um eine lokale Erhöhung der Feldstärke innerhalb des Piezoaktors zu verhindern. Andernfalls kann es durch diese Oberflächenladungen zusammen mit dem homogenen Feld, das zwischen den Schichtelektroden 4, 4' durch das Anlegen der Spannung an die elektrischen Anschlüsse 7, 7' entsteht, zu einer lokalen Feldüberhöhung kommen, was letztendlich zu einem elektrischen Überschlag und damit zur Zerstörung des Piezoaktors führen kann.
  • Der spezifische Widerstand der Lackschicht liegt vorzugsweise im Bereich von 105 bis 107 Ω·m. Als besonders vorteilhaft hat sich ein Widerstand von 106 Ω·m erwiesen. Bei einer Lackschichtdicke von etwa 0,1 mm ergibt sich so bei den üblichen Abmessungen eines Piezoaktors, wie er in Einspritzeinrichtungen verwendet wird, ein Ableitwiderstand in Höhe von etwa 180 kΩ. Die Dicke der Lackschicht hängt vom spezifischen Widerstand ab, beträgt aber im allgemeinen weniger als 0,2 mm, vorzugsweise von 0,05 bis 0,1 mm, da ansonsten die Gefahr besteht, dass die Lackschicht 12 durch die Bewegungen des Piezoaktors bricht und sich vom Piezoaktor löst.
  • Es kann auch vorgesehen sein, dass die leitfähige Lackschicht 12 von einem nicht elektrisch leitfähigen Schutzlack überstrichen ist, sodass zwei Lackschichten auf dem Piezoaktor ausgebildet sind, wobei die isolierende Lackschicht die elektrisch leitfähige Lackschicht 12 überdeckt.

Claims (4)

  1. Piezoaktor mit einer Vielzahl von piezoaktiven Schichten (1; 1'), zwischen denen jeweils eine Schichtelektrode (4) angeordnet ist, wobei die Schichtelektroden (4) wechselseitig an die Oberfläche (6; 8; 9) des Piezoaktors geführt sind und dort mit einer ersten Anschlusselektrode (3) oder einer zweiten Anschlusselektrode (3') kontaktiert sind, so dass durch Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen den Anschlusselektroden (3; 3') eine elektrische Spannung zwischen jeweils zwei benachbarten Schichtelektroden (4) anlegbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Piezoaktor zumindest auf einem Teil seiner Oberfläche (6; 8; 9) mit einer Lackschicht (12) überzogen ist, die schwach elektrisch leitend ist, so, dass über die Lackschicht (12) eine hochohmige Verbindung zwischen den Anschlusselektroden (3; 3') hergestellt wird, wobei die Lackschicht (12) die Mantelfläche (6) nur teilweise bedeckt und zumindest mit einem Teil der Schichtelektroden (4) direkt in elektrischem Kontakt steht, ohne die Anschlusselektroden (3; 3') direkt miteinander zu verbinden, so dass eine elektrische Verbindung zwischen den Anschlusselektroden (3; 3') über die Schichtelektroden (4) zustande kommt.
  2. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche des Piezoaktors eine erste Stirnfläche (8), eine zweite Stirnfläche (9) und eine Mantelfläche (6) aufweist, wobei die Schichtelektroden (4) in die Mantelfläche (6) münden und nur die Mantelfläche (6) mit der Lackschicht (12) bedeckt sind.
  3. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Lackschicht (12) einen spezifischen Widerstand von 105 bis 107 Ω·m aufweist, vorzugsweise etwa 106 Ω·m.
  4. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Lackschicht (12) eine Dicke von weniger als 0,2 mm aufweist, vorzugsweise 0,05 mm bis 0,1 mm.
DE102005057950.7A 2005-12-05 2005-12-05 Piezoaktor mit Ableitwiderstand Expired - Fee Related DE102005057950B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005057950.7A DE102005057950B4 (de) 2005-12-05 2005-12-05 Piezoaktor mit Ableitwiderstand

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005057950.7A DE102005057950B4 (de) 2005-12-05 2005-12-05 Piezoaktor mit Ableitwiderstand

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102005057950A1 DE102005057950A1 (de) 2007-06-06
DE102005057950B4 true DE102005057950B4 (de) 2020-02-06

Family

ID=38047679

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102005057950.7A Expired - Fee Related DE102005057950B4 (de) 2005-12-05 2005-12-05 Piezoaktor mit Ableitwiderstand

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102005057950B4 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009046736A1 (en) * 2007-10-08 2009-04-16 Siemens Aktiengesellschaft Piezo-electric crystal
DE102018108360A1 (de) 2018-04-09 2019-10-10 Vermes Microdispensing GmbH Dosiersystem mit piezokeramischem Aktor

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0248237B1 (de) * 1986-06-04 1989-09-20 Thermopal Dekorplatten Gmbh & Co. KG Leitfähige Verbundplatte sowie Verfahren zu deren Herstellung
DE4011867A1 (de) * 1990-04-12 1991-10-17 Herberts Gmbh Leitfaehige, strahlenhaertbare lacke
DE10147666A1 (de) * 2001-09-27 2003-04-10 Bosch Gmbh Robert Piezoelement
EP1587152A2 (de) * 2004-04-15 2005-10-19 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung mit piezoelektrischem Aktor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0248237B1 (de) * 1986-06-04 1989-09-20 Thermopal Dekorplatten Gmbh & Co. KG Leitfähige Verbundplatte sowie Verfahren zu deren Herstellung
DE4011867A1 (de) * 1990-04-12 1991-10-17 Herberts Gmbh Leitfaehige, strahlenhaertbare lacke
DE10147666A1 (de) * 2001-09-27 2003-04-10 Bosch Gmbh Robert Piezoelement
EP1587152A2 (de) * 2004-04-15 2005-10-19 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung mit piezoelektrischem Aktor

Also Published As

Publication number Publication date
DE102005057950A1 (de) 2007-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1082567A1 (de) Piezoelektrischer aktor
DE202006020436U1 (de) Überspannungsableiter mit Käfig-Design
EP1994573B1 (de) Elektrisches vielschichtbauelement
DE4109567C2 (de) Einrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks mit Hilfe eines Laserstrahls
EP1537610B1 (de) Piezoelektrischer aktor
WO2006089818A1 (de) Aktormodul mit einem piezoaktor
DE102005057950B4 (de) Piezoaktor mit Ableitwiderstand
EP2132796A1 (de) Piezoelektrisches bauteil mit sicherheitsschicht und verfahren zu dessen herstellung
DE102009034099A1 (de) Piezoaktor mit elektrischer Kontaktierung
EP2740163B1 (de) Vollaktiver piezostack mit passivierung
DE102006025820A1 (de) Piezoelektrischer Aktor mit einer Ummantelung aus einem Verbundwerkstoff
EP0938753B1 (de) Piezoelektrischer aktor mit einem elektrischen anschluss
DE102005046118A1 (de) Piezoaktor mit Schutzwiderstand
EP1273016A1 (de) Baugruppe mit überspannungsableiter für eine hochspannungsanlage
EP2798679B1 (de) Piezostack mit passivierung und verfahren zur passivierung eines piezostacks
DE102013226179A1 (de) Vorrichtung zur Erhöhung der Sicherheit beim Gebrauch von Batteriesystemen
DE102011120595A1 (de) Piezoelement
DE102009020238B4 (de) Piezoaktor mit elektrischen Kontaktierungsstiften und Verfahren zum Kontaktieren eines Piezoaktors
DE102009058907B4 (de) Piezoaktor und Verfahren zum Betreiben eines Piezoaktors, insbesondere in mobilen technischen Einrichtungen
DE102010061946A1 (de) Piezoelektrisches Aktormodul und Brennstoffeinspritzventil
WO2005076377A1 (de) Piezoaktor mit mindestens einem paar innenelektroden
DE102022121726A1 (de) Elektrisches Verbindungselement
DE102011013823B4 (de) Piezoelektrisches Aktuatorbauelement mit Überspannungsschutz und Verfahren zur Herstellung eines derartigen piezoelektrischen Aktuatorbautelements
DE102019206018A1 (de) Elektromechanischer Aktor mit keramischer Isolierung, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verfahren zur Ansteuerung eines solchen Aktors
DE102010055007A1 (de) Piezoelementstapel

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20120823

R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee